【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体生产设备领域，具体地说是涉及一体式超声波剥料机。
技术介绍
1、目前，在芯片的剥料过程中，首先需要通过解胶和去边框的步骤后才能通过剥料机完成剥料，在解胶、去边框和剥料的过程中，均需要安排相应的工人进行操作。
2、解胶主要是通过uv解胶机完成，其需要工人根据产品调控运行参数，并通过工人进行物料的放料与收料。去边框主要是依靠人工去除，去除方式则是工人利用平口铲刀对边框进行铲除。剥料是通过剥料机进行，其需要工人根据产品调控运行参数，同时也需要通过工人进行物料的放料与收料。另外，上述步骤不仅需要占用相应的生产空间，同时还需要配备相应的人员与设备完成物料的转场运输。故而，现有的芯片拨料过程不仅会占用较多的生产空间，还将消耗大量的人力资源，不利于企业的发展与行业的进步。
技术实现思路
1、针对现有技术之不足，本申请提供了一体式超声波剥料机，有机的将解胶、去边框和剥料的设备进行了集成，不仅降低了生产空间的占用率，在加工过程中无需进行转场运输，还能有效的降低人力资源的消耗，进一步降低了企业的生产成本，很好的促进了企业与行业的发展进步。
2、一体式超声波剥料机，包括下机架，扣于下机架上侧的上机罩，设置在下机架上的铁环上料模块，设置在下机架上且与铁环上料模块相邻的uv解胶模块，设置在下机架上且位于uv解胶模块后方的一体式剥料模块，设置在下机架上且位于一体式剥料模块中部的翻转模块，以及设置在下机架上且位于一体式剥料模块下方后部的芯片下料模块和铁环下料模块；所述下机
3、进一步的，所述铁环上料模块由z轴模组，设置在z轴模组侧面的升降平台，设置在升降平台上的料框，以及一端固定在z轴模组底部、另一端固定在升降平台底部的拖链组成。
4、再进一步的，所述uv解胶模块由轨道，设置在轨道上侧且内置运动部件沿轨道往复运动遮光盖，设置在遮光盖内且向下照射的条形uv光源，以及设置在遮光盖上的盒盖气缸组成；所述盒盖气缸与运动部件相连。
5、更进一步的，所述一体式剥料模块由x轴模块，与x轴模块相平行的封闭辅助滑轨，由前至后依次架设在x轴模块和封闭辅助滑轨上的一号取料手臂、去边框y轴模块、剥料y轴模块，设置在去边框y轴模块上的去边框z轴模块，设置在去边框z轴模块上的二号取料手臂和去边框单元，设置在剥料y轴模块上的剥料z轴模块，以及设置在剥料z轴模块上的三号取料手臂和超声波剥料单元组成。
6、作为优选，所述去边框单元由固定件，设置在固定件上的槽型光电，设置在槽型光电中的抽气管，设置在抽气管底端的聚风罩，设置在抽气管上的旋转控制部，以及设置在固定件上的去边框头组成；所述抽气管的顶端外接有抽气泵。
7、作为优选，所述旋转控制部由设置在固定件上的角度转向电机，设置在角度转向电机输出轴上的同步轮，以及同时套于同步轮与抽气管上的同步带组成；去边框头由倾斜固定在抽气管上的旋转电机，设置在旋转电机输出轴上的联轴器，以及设置在联轴器上的伞型铲刀组成。
8、作为优选，所述伞型铲刀由侧面贯穿聚风罩，该伞型铲刀的最低平面与聚风罩的最低面相平行，且伞型铲刀的最低平面低于聚风罩的最低面。
9、作为优选，所述翻转模块设置在去边框单元下方；所述翻转模块由两端分别通过轴承固定的旋转板，对称设置在旋转板两端且自带夹爪的两个夹爪气缸，设置在旋转板左右两侧的两个定位气缸，以及与旋转板任意一端的转轴相连的旋转气缸组成。
10、作为优选，所述芯片下料模块设置在超声波剥料单元下方；所述芯片下料模块由一组滑轨，设置在滑轨上且可沿滑轨滑动的抽屉放置台，设置在抽屉放置台下侧面且伸缩杆贯穿抽屉放置台的升降气缸，以及固定在升降气缸的伸缩杆上的接料盆组成；所述滑轨的一端位于超声波剥料单元下方、另一端延伸至上机罩的内侧面。
11、作为优选，所述铁环下料模块与芯片下料模块相邻设置，且位于芯片下料模块的后方；所述铁环下料模块由下料仓，对称设置在下料仓前侧壁外侧顶端和后侧壁外侧顶端的两个伸缩气缸，一端固定在伸缩气缸的伸缩杆上、另一端贯穿下料仓的前侧壁或后侧壁后伸入下料仓的接料滑道，设置在下料仓右侧壁顶端的到料感应光电，以及设置在下料仓左侧壁的满料检测对射光电组成；所述下料仓的右侧壁设置有一个与满料检测对射光电相匹配的观察孔。
12、与现有技术相比，本申请实施例具有如下有益效果：
13、本技术有机的将解胶、去边框和剥料的设备进行了集成，不仅降低了生产空间的占用率，在加工过程中无需进行转场运输，还能有效的降低人力资源的消耗，进一步降低了企业的生产成本，很好的促进了企业与行业的发展进步。
14、本申请的一部分附加特性可以在下面的描述中进行说明。通过对以下描述和相应附图的检查或者对实施例的生产或操作的了解，本申请的一部分附加特性对于本领域技术人员是明显的。本申请披露的特性可以通过对以下描述的具体实施例的各种方法、手段和组合的实践或使用得以实现和达到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一体式超声波剥料机，其特征在于，包括下机架(7)，扣于下机架(7)上侧的上机罩(8)，设置在下机架(7)上的铁环上料模块(1)，设置在下机架(7)上且与铁环上料模块(1)相邻的UV解胶模块(2)，设置在下机架(7)上且位于UV解胶模块(2)后方的一体式剥料模块(4)，设置在下机架(7)上且位于一体式剥料模块(4)中部的翻转模块(3)，以及设置在下机架(7)上且位于一体式剥料模块(4)下方后部的芯片下料模块(5)和铁环下料模块(6)；所述下机架(7)内还设置有与UV解胶模块(2)、翻转模块(3)、一体式剥料模块(4)、芯片下料模块(5)、铁环下料模块(6)电连接的控制器。
2.根据权利要求1所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述铁环上料模块(1)由Z轴模组(101)，设置在Z轴模组(101)侧面的升降平台(103)，设置在升降平台(103)上的料框(102)，以及一端固定在Z轴模组(101)底部、另一端固定在升降平台(103)底部的拖链(104)组成。
3.根据权利要求2所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述UV解胶模块(2)由轨道(204)，设
4.根据权利要求3所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述一体式剥料模块(4)由X轴模块(401)，与X轴模块(401)相平行的封闭辅助滑轨(402)，由前至后依次架设在X轴模块(401)和封闭辅助滑轨(402)上的一号取料手臂(407)、去边框Y轴模块(403)、剥料Y轴模块(405)，设置在去边框Y轴模块(403)上的去边框Z轴模块(404)，设置在去边框Z轴模块(404)上的二号取料手臂(408)和去边框单元(409)，设置在剥料Y轴模块(405)上的剥料Z轴模块(406)，以及设置在剥料Z轴模块(406)上的三号取料手臂(410)和超声波剥料单元(411)组成。
5.根据权利要求4所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述去边框单元(409)由固定件(409-1)，设置在固定件(409-1)上的槽型光电(409-3)，设置在槽型光电(409-3)中的抽气管(409-6)，设置在抽气管(409-6)底端的聚风罩(409-10)，设置在抽气管(409-6)上的旋转控制部，以及设置在固定件(409-1)上的去边框头组成；所述抽气管(409-6)的顶端外接有抽气泵。
6.根据权利要求5所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述旋转控制部由设置在固定件(409-1)上的角度转向电机(409-2)，设置在角度转向电机(409-2)输出轴上的同步轮(409-5)，以及同时套于同步轮(409-5)与抽气管(409-6)上的同步带(409-4)组成；去边框头由倾斜固定在抽气管(409-6)上的旋转电机(409-7)，设置在旋转电机(409-7)输出轴上的联轴器(409-8)，以及设置在联轴器(409-8)上的伞型铲刀(409-9)组成。
7.根据权利要求6所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述伞型铲刀(409-9)由侧面贯穿聚风罩(409-10)，该伞型铲刀(409-9)的最低平面与聚风罩(409-10)的最低面相平行，且伞型铲刀(409-9)的最低平面低于聚风罩(409-10)的最低面。
8.根据权利要求7所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述翻转模块(3)设置在去边框单元(409)下方；所述翻转模块(3)由两端分别通过轴承固定的旋转板，对称设置在旋转板两端且自带夹爪的两个夹爪气缸(302)，设置在旋转板左右两侧的两个定位气缸(303)，以及与旋转板任意一端的转轴相连的旋转气缸(301)组成。
9.根据权利要求8所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述芯片下料模块(5)设置在超声波剥料单元(411)下方；所述芯片下料模块(5)由一组滑轨(502)，设置在滑轨(502)上且可沿滑轨(502)滑动的抽屉放置台(503)，设置在抽屉放置台(503)下侧面且伸缩杆贯穿抽屉放置台(503)的升降气缸(501)，以及固定在升降气缸(501)的伸缩杆上的接料盆(504)组成；所述滑轨(502)的一端位于超声波剥料单元(411)下方、另一端延伸至上机罩(8)的内侧面。
10.根据权利要求9所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述铁环下料模块(6)与芯片下料模块(5)相邻设置，且位于芯片下料模块(5)的后方；所述铁环下料模块(6)由下料仓(605)...
【技术特征摘要】
1.一体式超声波剥料机，其特征在于，包括下机架(7)，扣于下机架(7)上侧的上机罩(8)，设置在下机架(7)上的铁环上料模块(1)，设置在下机架(7)上且与铁环上料模块(1)相邻的uv解胶模块(2)，设置在下机架(7)上且位于uv解胶模块(2)后方的一体式剥料模块(4)，设置在下机架(7)上且位于一体式剥料模块(4)中部的翻转模块(3)，以及设置在下机架(7)上且位于一体式剥料模块(4)下方后部的芯片下料模块(5)和铁环下料模块(6)；所述下机架(7)内还设置有与uv解胶模块(2)、翻转模块(3)、一体式剥料模块(4)、芯片下料模块(5)、铁环下料模块(6)电连接的控制器。
2.根据权利要求1所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述铁环上料模块(1)由z轴模组(101)，设置在z轴模组(101)侧面的升降平台(103)，设置在升降平台(103)上的料框(102)，以及一端固定在z轴模组(101)底部、另一端固定在升降平台(103)底部的拖链(104)组成。
3.根据权利要求2所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述uv解胶模块(2)由轨道(204)，设置在轨道(204)上侧且内置运动部件沿轨道(204)往复运动遮光盖(202)，设置在遮光盖(202)内且向下照射的条形uv光源(203)，以及设置在遮光盖(202)上的盒盖气缸(201)组成；所述盒盖气缸(201)与运动部件相连。
4.根据权利要求3所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述一体式剥料模块(4)由x轴模块(401)，与x轴模块(401)相平行的封闭辅助滑轨(402)，由前至后依次架设在x轴模块(401)和封闭辅助滑轨(402)上的一号取料手臂(407)、去边框y轴模块(403)、剥料y轴模块(405)，设置在去边框y轴模块(403)上的去边框z轴模块(404)，设置在去边框z轴模块(404)上的二号取料手臂(408)和去边框单元(409)，设置在剥料y轴模块(405)上的剥料z轴模块(406)，以及设置在剥料z轴模块(406)上的三号取料手臂(410)和超声波剥料单元(411)组成。
5.根据权利要求4所述的一体式超声波剥料机，其特征在于，所述去边框单元(409)由固定件(409-1)，设置在固定件(409-1)上的槽型光电(409-3)，设置在槽型光电(409-3)中的抽气管(409-6)，设置在抽气管(409-6)底端的聚风罩(409-10)，设置在抽气管(409-6)上的旋转控制部，以及设置在固定件(409-1)上的去边框头组成；所述抽气管(409...
【专利技术属性】
技术研发人员：舒海波，周浦欣，
申请(专利权)人：成都华卓半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。