System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 气体感测装置制造方法及图纸_技高网
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气体感测装置制造方法及图纸

技术编号:41093365 阅读:3 留言:0更新日期:2024-04-25 13:52
提供了一种气体感测装置。该气体感测装置包括测试室,其形成在主体中且包括一对微镜。一对微镜中的一个设置在主体的第一表面上,且一对微镜中的另一个设置在主体的第二表面上,从而形成光学腔。光入口被布置为将光耦合到光学腔中,并且光出口被布置为接收来自光学腔的光。气体入口配置为允许来自检测器外部的气体进入测试室。还提供了一种包括气体感测装置、发光系统和光检测系统的气体检测器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】


技术介绍


技术实现思路

【技术保护点】

1.一种气体感测装置,包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述光学腔的光学精细度为至少10000、或至少50000、或至少100000、或至少250000、或至少500000。

3.根据权利要求1或2所述的装置,其中所述一对微镜中的一个或两个微镜是弯曲的。

4.根据权利要求1所述的装置,其中所述主体包括第一部件和第二部件,在所述第一部件和所述第二部件之间形成有所述测试室,并且其中所述第一表面是所述第一部件的表面,并且所述第二表面是所述第二部件的表面。

5.根据权利要求4所述的装置,其中所述第一部件是第一基板,所述第二部件是第二基板,并且其中所述主体还包括分隔所述第一基板和所述第二基板的间隔结构。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置,其中所述测试室包括多对微镜,每对微镜中的一个设置在所述第一表面上,并且每对微镜中的另一个设置在所述第二表面上,其中每对微镜形成各自的光学腔;

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述光入口布置为将光耦合到所述光学腔的子集中,所述光学腔的所述子集包括基于待由所述气体感测装置检测的一种或多种目标气体种类而选择的一个或者多个光学腔。

8.根据权利要求6所述的装置,其中所述光出口布置为接收来自所述光学腔的子集的光,所述光学腔的所述子集包括基于待由所述气体感测装置检测的一种或多种目标气体种类而选择的一个或者多个光学腔。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的装置,其中所述测试室包括用于待由所述气体感测装置检测的一种或多种目标气体种类中的每一种的多对微镜。

10.根据权利要求9所述的装置,其中所述测试室包括用于所述一种或多种目标气体种类中的每一种的2对或更多对、或5对或更多对或10对或更多对的微镜。

11.根据权利要求6至10中任一项所述的装置,其中所述气体感测装置配置为检测2种或更多种、或5种或更多种、或10种或更多种的目标气体种类。

12.根据任一前述权利要求所述的装置,还包括参考室,所述参考室形成在所述主体中的,所述参考室包括:

13.根据权利要求12所述的装置,其中所述主体包括第一部件和第二部件,其中在所述第一部件和所述第二部件之间形成有所述参考室。

14.根据权利要求12或13所述的装置,其中所述参考室可填充有一种或多种参考气体种类。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的装置,其中所述参考室包括与所述测试室中的每对微镜对应的一对微镜。

16.根据权利要求15所述的装置,其中所述测试室和所述参考室中对应的多对微镜的共振频率基本相等。

17.根据任一前述权利要求所述的装置,还包括光学腔调谐系统,所述光学腔调谐系统配置为改变一个或多个所述光学腔的共振频率。

18.根据权利要求17所述的装置,其中所述光学腔调谐系统配置为改变所述微镜和/或所述主体的温度,以便改变一个或多个所述光学腔的所述共振频率。

19.根据权利要求17或18所述的装置,其中所述微镜和/或所述主体包括压电材料,并且其中所述光学腔调谐系统配置为将压电控制信号施加到压电材料上,以便改变一个或多个所述光学腔的所述共振频率。

20.根据权利要求17至19中任一项所述的装置,其中所述光学腔调谐系统布置为监测一个或多个所述光学腔的所述共振频率,并基于所监测的共振频率来改变一个或多个所述光学腔的所述共振频率。

21.根据任一前述权利要求所述的装置,其中所述一个或多个光学腔配置为在可见至近红外电磁范围内具有共振。

22.一种气体检测器,包括:

23.根据权利要求22所述的气体检测器,其中,所述发光系统包括光源和光纤,所述光纤布置为将来自所述光源的光耦合到所述光入口中。

24.根据权利要求22或23所述的气体检测器,其中,所述光检测系统包括一个或多个光电二极管和一根或多根光纤,所述一根或多根光纤布置为将来自所述光出口的光耦合到一个或多个所述光电二极管上。

25.根据权利要求24所述的气体检测器,其中所述发光系统和/或光检测系统被结合到所述气体感测装置中。

26.根据权利要求22至25中任一项所述的气体检测器,还包括气体检测系统,其中所述气体检测系统配置为接收表示来自所述光检测系统的光的强度的信号,并且确定在所述气体感测装置中吸收的来自光源的光的比例。

27.根据权利要求26所述的气体检测器,其中所述检测系统配置为基于在所述气体感测装置中吸收的光中吸收的光的所述比例来确定在所述测试室中是否存在一种或多种目标气体。

28.根据...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种气体感测装置,包括:

2.根据权利要求1所述的装置,其中所述光学腔的光学精细度为至少10000、或至少50000、或至少100000、或至少250000、或至少500000。

3.根据权利要求1或2所述的装置,其中所述一对微镜中的一个或两个微镜是弯曲的。

4.根据权利要求1所述的装置,其中所述主体包括第一部件和第二部件,在所述第一部件和所述第二部件之间形成有所述测试室,并且其中所述第一表面是所述第一部件的表面,并且所述第二表面是所述第二部件的表面。

5.根据权利要求4所述的装置,其中所述第一部件是第一基板,所述第二部件是第二基板,并且其中所述主体还包括分隔所述第一基板和所述第二基板的间隔结构。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的装置,其中所述测试室包括多对微镜,每对微镜中的一个设置在所述第一表面上,并且每对微镜中的另一个设置在所述第二表面上,其中每对微镜形成各自的光学腔;

7.根据权利要求6所述的装置,其中所述光入口布置为将光耦合到所述光学腔的子集中,所述光学腔的所述子集包括基于待由所述气体感测装置检测的一种或多种目标气体种类而选择的一个或者多个光学腔。

8.根据权利要求6所述的装置,其中所述光出口布置为接收来自所述光学腔的子集的光,所述光学腔的所述子集包括基于待由所述气体感测装置检测的一种或多种目标气体种类而选择的一个或者多个光学腔。

9.根据权利要求6至8中任一项所述的装置,其中所述测试室包括用于待由所述气体感测装置检测的一种或多种目标气体种类中的每一种的多对微镜。

10.根据权利要求9所述的装置,其中所述测试室包括用于所述一种或多种目标气体种类中的每一种的2对或更多对、或5对或更多对或10对或更多对的微镜。

11.根据权利要求6至10中任一项所述的装置,其中所述气体感测装置配置为检测2种或更多种、或5种或更多种、或10种或更多种的目标气体种类。

12.根据任一前述权利要求所述的装置,还包括参考室,所述参考室形成在所述主体中的,所述参考室包括:

13.根据权利要求12所述的装置,其中所述主体包括第一部件和第二部件,其中在所述第一部件和所述第二部件之间形成有所述参考室。

14.根据权利要求12或13所述的装置,其中所述参考室可填充有一种或多种参考气体种类。

15.根据权利要求12至14中任一项所述的装置,其中所述参考室包括与所述测试室中的每对微镜对应的一对微镜。

16.根据权利要求15所述的装置,其中所述测试室和所述参考室中对应的多对微镜的共振...

【专利技术属性】
技术研发人员:S·普茨M·特拉普科
申请(专利权)人:维也纳大学
类型:发明
国别省市:

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