【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种可用于精密工程领域部件，更具体地是一种面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台。
技术介绍
1、随着微纳米技术在航空宇航、生物科学、集成电路(i c)技术等领域的深入应用，柔顺机构因其精度高、重复性好等优点得到了广泛的应用。近年来出现了许多应用，如微纳制造、精密操纵和精密定位平台，都依赖于挠性构件的挠度。这反过来又对柔顺机构的设计提出了挑战。近年来许多围绕平面微纳定位机构的研究已经取得了非常多的成果，但对于空间/转动机构的研究相对不足。
2、在专利cn112563179 b中公开了一种挠曲式压电微纳晶圆偏摆台，包括压电驱动式微位移模块、陶瓷吸盘固定座、陶瓷吸盘和晶圆，所述压电驱动式微位移模块包括基体和安装在基体顶部的铰链主体，铰链主体内置有叠堆式压电陶瓷、挠曲式放大结构与双平行铰链结构，叠堆式压电陶瓷的位移端通过一级位移输入端与挠曲式放大结构输入端相连，挠曲式放大结构与双平行铰链结构通过一级位移输出端连接，二级位移输出端与输出端转接治具通过螺丝进行刚性连接，转接治具顶部固定有柱塞端部和柱塞弹性端，陶瓷吸盘固定座...
【技术保护点】
1.一种面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，包括柔顺偏摆定位机构、压电驱动器、线圈磁组和磁轭；
2.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，前后两个桥式位移放大机构对称设置，左右两个桥式位移放大机构对称设置。
3.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，所述的工作台为一个圆形工作台，在圆形工作台上设置有多个通孔，在每个通孔内安装有线圈磁组，在每个线圈磁组的顶部设置有磁轭。
4.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，在每个桥式位移放大机...
【技术特征摘要】
1.一种面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，包括柔顺偏摆定位机构、压电驱动器、线圈磁组和磁轭；
2.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，前后两个桥式位移放大机构对称设置，左右两个桥式位移放大机构对称设置。
3.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，所述的工作台为一个圆形工作台，在圆形工作台上设置有多个通孔，在每个通孔内安装有线圈磁组，在每个线圈磁组的顶部设置有磁轭。
4.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，在每个桥式位移放大机构内水平安装有压电驱动器。
5.如权利要求1所述的面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台，其特征在于，所述的压电驱动器通过预紧螺钉与桥...
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