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一种面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台制造技术
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文档序号:41087125
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本发明属于精密工程领域,具体公开了一种面向复杂载荷偏摆角刚度可调的微定位台,包括柔顺偏摆定位机构、压电驱动器、线圈磁组和磁轭;柔顺偏摆定位机构包括工作台、桥式位移放大机构、回转缺口柔性铰链、中心承柱结构和基底板,在基底板上表面的前、后、左、...
该专利属于山东大学所有,仅供学习研究参考,未经过山东大学授权不得商用。
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