【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体工艺设备，具体涉及一种适用于立式teos设备的尾气排放装置。
技术介绍
1、立式炉teos工艺设备的尾气排放装置是立式炉设备的关键部分，直接关系到晶圆片沉膜均匀性和颗粒度。立式炉teos工艺中，时常出现颗粒度超标的现象，因此，亟需设计一种尾气排放装置，利用尾气排放装置收集工艺产生的颗粒，从而减少晶圆片的颗粒度。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种结构紧凑、密封性好且颗粒过滤性强的适用于立式teos设备的尾气排放装置。
2、为解决上述技术问题，本专利技术采用以下技术方案：
3、一种适用于立式teos设备的尾气排放装置，包括：真空管道、干泵、三通管和冷阱过滤器，所述三通管的第一端口用于连接立式teos设备工艺腔体的排气口，三通管的第二端口用于连接冷阱过滤器的输入端，所述三通管的第三端口设置可拆卸的盲板，以用于检修或清洁管道；所述冷阱过滤器的输出端通过真空管道连接至干泵，在干泵的驱动下，立式teos设备中的工艺尾气经三通管流入冷阱过滤器中进行过滤，过滤后的气体经真空管道流入干泵，最终由干泵排出。
4、作为本专利技术的进一步改进，所述冷阱过滤器包括：盖板、滤芯和外壳，所述外壳底部设置输入口，以用于连接三通管，所述盖板可拆卸设置在外壳顶部，所述滤芯堆叠在外壳内部，用于过滤立式teos设备排出的尾气；外壳侧部上方设有输出口，所述输出口用于连接真空管道。
5、作为本专利技术的进一步改进，所
6、作为本专利技术的进一步改进，所述外壳顶部还设有多个定位销，所述定位销穿过盖板连接至过滤片顶部，以用于实现过滤片固定在外壳内部。
7、作为本专利技术的进一步改进，所述三通管和冷阱过滤器之间设有过渡管道，所述过渡管道侧部设有两个不同量程的真空计，所述真空计用于检测尾气排放装置内的真空度。
8、作为本专利技术的进一步改进，所述过渡管道侧部还设有排气管道，所述排气管道用于调节尾气排放装置内的气压。
9、作为本专利技术的进一步改进，所述排气管道的输出端并联设置两个支路，两个支路上分别设有第一控制阀和第二控制阀，以用于控制支路的通断。
10、作为本专利技术的进一步改进，所述真空管道包括真空主管道和真空辅管道，真空主管道的输入端与冷阱过滤器的输出口连接，真空主管道的输出端与干泵的输入端连接；所述真空辅管道的输入端与冷阱过滤器的输出口连接，真空辅管道的输出端与真空主管道连接，所述真空辅管道用于预抽真空。
11、作为本专利技术的进一步改进，所述真空主管道的输入端与冷阱过滤器的输出口之间设有第四控制阀，当进行预抽真空时，第四控制阀处于关闭状态；所述真空辅管道上设有第三控制阀，当进行预抽真空时，第三控制阀处于开启状态；所述第三控制阀与第四控制阀的运行状态相反。
12、作为本专利技术的进一步改进，所述第三控制阀采用气动角阀，所述第一控制阀、第二控制阀和第四控制阀均采用隔膜阀。
13、与现有技术相比，本专利技术的优点在于：
14、本专利技术的适用于立式teos设备的尾气排放装置，通过真空管道、干泵、三通管和冷阱过滤器组成了尾气排放装置的主体结构，利用三通管的第一端口连接立式teos设备工艺腔体的排气口，利用三通管的第二端口连接冷阱过滤器的输入端，三通管的第三端口则是设置了可拆卸的盲板，以用于检修或清洁管道，既满足了尾气排放装置的密封性需求，又确保了尾气排放的顺畅性；通过将冷阱过滤器的输出端通过真空管道连接至干泵，在干泵的驱动下，立式teos设备中的工艺尾气先经过三通管流入冷阱过滤器中进行过滤，以去除尾气中夹杂的颗粒，过滤后的纯净气体经过真空管道流入干泵，最终由干泵排出，本专利技术的尾气排放装置具有结构完整、密封性好、颗粒过滤性强等有点，能够确保晶圆片上的颗粒数量较少，提高了晶圆片的合格率，从而提高了晶圆片加工质量。
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1.一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，包括：真空管道、干泵（2）、三通管（8）和冷阱过滤器（11），所述三通管（8）的第一端口用于连接立式TEOS设备工艺腔体的排气口，三通管（8）的第二端口用于连接冷阱过滤器（11）的输入端，所述三通管（8）的第三端口设置可拆卸的盲板，以用于检修或清洁管道；所述冷阱过滤器（11）的输出端通过真空管道连接至干泵（2），在干泵（2）的驱动下，立式TEOS设备中的工艺尾气经三通管（8）流入冷阱过滤器（11）中进行过滤，过滤后的气体经真空管道流入干泵（2），最终由干泵（2）排出。
2.根据权利要求1所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述冷阱过滤器（11）包括：盖板（112）、滤芯和外壳（116），所述外壳（116）底部设置输入口（114），以用于连接三通管（8），所述盖板（112）可拆卸设置在外壳（116）顶部，所述滤芯堆叠在外壳（116）内部，用于过滤立式TEOS设备排出的尾气；外壳（116）侧部上方设有输出口，所述输出口用于连接真空管道。
3.根据权利要求2所述的适用于立式TEOS设备
4.根据权利要求3所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述外壳（116）顶部还设有多个定位销（115），所述定位销（115）穿过盖板（112）连接至过滤片（113）顶部，以用于实现过滤片（113）固定在外壳（116）内部。
5.根据权利要求2所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述三通管（8）和冷阱过滤器（11）之间设有过渡管道（9），所述过渡管道（9）侧部设有两个不同量程的真空计（10），所述真空计（10）用于检测尾气排放装置内的真空度。
6.根据权利要求5所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述过渡管道（9）侧部还设有排气管道（3），所述排气管道（3）用于调节尾气排放装置内的气压。
7.根据权利要求6所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述排气管道（3）的输出端并联设置两个支路，两个支路上分别设有第一控制阀（4）和第二控制阀（5），以用于控制支路的通断。
8.根据权利要求7所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述真空管道包括真空主管道（1）和真空辅管道（6），真空主管道（1）的输入端与冷阱过滤器（11）的输出口连接，真空主管道（1）的输出端与干泵（2）的输入端连接；所述真空辅管道（6）的输入端与冷阱过滤器（11）的输出口连接，真空辅管道（6）的输出端与真空主管道（1）连接，所述真空辅管道用于预抽真空。
9.根据权利要求8所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述真空主管道（1）的输入端与冷阱过滤器（11）的输出口之间设有第四控制阀（12），当进行预抽真空时，第四控制阀（12）处于关闭状态；所述真空辅管道（6）上设有第三控制阀（7），当进行预抽真空时，第三控制阀（7）处于开启状态；所述第三控制阀（7）与第四控制阀（12）的运行状态相反。
10.根据权利要求9所述的适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，其特征在于，所述第三控制阀（7）采用气动角阀，所述第一控制阀（4）、第二控制阀（5）和第四控制阀（12）均采用隔膜阀。
...【技术特征摘要】
1.一种适用于立式teos设备的尾气排放装置，其特征在于，包括：真空管道、干泵（2）、三通管（8）和冷阱过滤器（11），所述三通管（8）的第一端口用于连接立式teos设备工艺腔体的排气口，三通管（8）的第二端口用于连接冷阱过滤器（11）的输入端，所述三通管（8）的第三端口设置可拆卸的盲板，以用于检修或清洁管道；所述冷阱过滤器（11）的输出端通过真空管道连接至干泵（2），在干泵（2）的驱动下，立式teos设备中的工艺尾气经三通管（8）流入冷阱过滤器（11）中进行过滤，过滤后的气体经真空管道流入干泵（2），最终由干泵（2）排出。
2.根据权利要求1所述的适用于立式teos设备的尾气排放装置，其特征在于，所述冷阱过滤器（11）包括：盖板（112）、滤芯和外壳（116），所述外壳（116）底部设置输入口（114），以用于连接三通管（8），所述盖板（112）可拆卸设置在外壳（116）顶部，所述滤芯堆叠在外壳（116）内部，用于过滤立式teos设备排出的尾气；外壳（116）侧部上方设有输出口，所述输出口用于连接真空管道。
3.根据权利要求2所述的适用于立式teos设备的尾气排放装置，其特征在于，所述滤芯由126片过滤片（113）堆叠组成，且滤芯采用内外双层结构。
4.根据权利要求3所述的适用于立式teos设备的尾气排放装置，其特征在于，所述外壳（116）顶部还设有多个定位销（115），所述定位销（115）穿过盖板（112）连接至过滤片（113）顶部，以用于实现过滤片（113）固定在外壳（116）内部。
5.根据权利要求2所述的适用于立式teos设备的尾气排放装置，其特征在于，所述三通管（8）和冷阱过滤器（11）...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄升，赵瓛，王成宇，谢辉，陈维杰，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：
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