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本发明公开一种适用于立式TEOS设备的尾气排放装置，包括：真空管道、干泵、三通管和冷阱过滤器，所述三通管的第一端口用于连接立式TEOS设备工艺腔体的排气口，三通管的第二端口用于连接冷阱过滤器的输入端，所述三通管的第三端口设置可拆卸的盲板，以...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十八研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十八研究所授权不得商用。

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