晶圆检测用辅助输送装置制造方法及图纸

本技术涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及晶圆检测用辅助输送装置。其技术方案包括：箱体、驱动机构和限位机构，驱动机构包括伺服电机，伺服电机输出端固定安装有联动杆，联动杆一侧活动安装有弹簧套座，弹簧套座一端通过支杆固定安装有安装座，安装座内部固定安装有两组振动电机，且安装座底部固定安装有清理板。本技术通过伺服电机通电运行带动联动杆进行旋转，通过进行旋转的联动杆可带动安装座进行弧形位置移动至箱体顶部，再通过控制器控制振动电机通电运行产生振动力并传递至清理板内部，并通过振动的清理板直接与晶圆表面进行接触，可便于对晶圆进行自动清理作业，实现了对提高晶圆检测精准度的功能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆生产，尤其涉及晶圆检测用辅助输送装置。

技术介绍

1、晶圆生产又称为晶圆加工，在晶圆进行生产时需要使用到输送装置对晶圆进行输送作业，便于后续对晶圆进行检测作业，通过输送装置具有的高自动化效果可便于不间断的输送晶圆作业，在日常的使用中需要晶圆检测用辅助输送装置对晶圆进行输送作业，但是在实际使用时类似结构的输送装置时还存在诸多缺陷，如：不具有提高后续晶圆检测精准度的功能，需要借助外界设备对晶圆表面进行清理作业，增加了操作人员的工作量，也降低了对晶圆进行检测的数据精准度，同时不具有自动纠偏晶圆输送位置的功能，操作人员借助外界设备对晶圆进行移动作业，容易导致晶圆受损的问题，增加了晶圆的受损率，降低了输送晶圆的完整度，所以需要设计晶圆检测用辅助输送装置。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供晶圆检测用辅助输送装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：晶圆检测用辅助输送装置，包括箱体、驱动机构和限位机构，所述箱体正面一侧活动安装有驱动机构，所述驱动机构本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.晶圆检测用辅助输送装置，包括箱体(1)、驱动机构(2)和限位机构(3)，其特征在于：所述箱体(1)正面一侧活动安装有驱动机构(2)，所述驱动机构(2)包括伺服电机(201)，所述伺服电机(201)输出端固定安装有联动杆(202)，所述联动杆(202)一侧活动安装有弹簧套座(203)，所述弹簧套座(203)一端通过支杆固定安装有安装座(204)，所述安装座(204)内部固定安装有两组振动电机(205)，且安装座(204)底部固定安装有清理板(206)，所述箱体(1)顶部一侧固定安装有限位机构(3)，所述限位机构(3)包括安装箱(301)，所述安装箱(301)内部转动安装有螺杆(302)...

【技术特征摘要】

1.晶圆检测用辅助输送装置，包括箱体(1)、驱动机构(2)和限位机构(3)，其特征在于：所述箱体(1)正面一侧活动安装有驱动机构(2)，所述驱动机构(2)包括伺服电机(201)，所述伺服电机(201)输出端固定安装有联动杆(202)，所述联动杆(202)一侧活动安装有弹簧套座(203)，所述弹簧套座(203)一端通过支杆固定安装有安装座(204)，所述安装座(204)内部固定安装有两组振动电机(205)，且安装座(204)底部固定安装有清理板(206)，所述箱体(1)顶部一侧固定安装有限位机构(3)，所述限位机构(3)包括安装箱(301)，所述安装箱(301)内部转动安装有螺杆(302)，所述螺杆(302)外侧通过螺套(303)固定安装有电动杆(304)，且电动杆(304)输出端固定安装吸盘座(305)，且吸盘座(305)顶部一侧固定安装有第一电磁阀管(306)。

2.根据权利要求1所述的晶圆检测用辅助输送装置，其特征在于：所述箱体(1)内侧等距安装有多组辊体(101)，辊体(101)外侧套接安装有输送带(102)，且箱体(1)正面一侧固定安装有与辊体(101)一端固定连接的怠速电机(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱伟，张智良，
申请(专利权)人：苏州鑫睿微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：