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本技术涉及晶圆生产技术领域，尤其涉及晶圆检测用辅助输送装置。其技术方案包括：箱体、驱动机构和限位机构，驱动机构包括伺服电机，伺服电机输出端固定安装有联动杆，联动杆一侧活动安装有弹簧套座，弹簧套座一端通过支杆固定安装有安装座，安装座内部固定安...
该专利属于苏州鑫睿微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州鑫睿微电子设备有限公司授权不得商用。

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