【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种激光加工精度校检装置，属于激光加工系统。
技术介绍
1、现有topcon硼掺杂激光加工主要是采用激光振镜加工的方式，即激光器产生激光光束通过外光路系统扩束整形后经高速振镜及f-theta场镜聚焦于产品表面进行激光扫描加工。这个过程中，各环节的精准度及稳定性决定了最终产品的加工精度及精度稳定性。如激光器光衰出光点偏移、外光路系统中的光学器件及其安装机件微变形或松动、振镜系统温漂及box校正精度，或产品加工载台运动精度超误差等因素都会导致产品加工精度发生偏差甚至造成不良。
2、而在现有加工系统正常生产中，只能通过首检及抽检等手段来确认整个激光加工系统的精度及稳定性，无法进行自动校检，生产品质和生产效率都不能满足精益生产的要求。
3、因此，寻找一种激光加工精度校检装置，能够检验产品加工载台定位精度和激光加工系统精度，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、针对上述现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种装置激光加工精度校检装置，通过该激光加工精度校检装置实现检验产品加工载台定位精度和激光加工系统精度之目的。
2、根据本技术的实施方案，提供第一种方案为：一种激光加工精度校检装置，包括激光加工单元和ccd视觉定位系统，所述ccd视觉定位系统的视觉成像反射光路与所述激光加工单元的激光振镜扫描光路同轴。
3、进一步地，所述激光加工精度校检装置还包括能够反射激光并且能够透射可见光的透反镜，所述ccd视觉定位系统的视觉成像
4、进一步地，可见光经所述透反镜透射到达所述ccd视觉定位系统。
5、进一步地，所述激光加工单元包括激光器、外光路和振镜场镜，所述激光器射出的激光经所述外光路到达所述振镜场镜。
6、进一步地，所述振镜场镜的视觉成像反射光线经所述透反镜透射到达所述ccd视觉定位系统，所述激光器射出的激光经所述外光路射出，经所述透反镜反射至所述振镜场镜。
7、进一步地，所述激光加工单元还包括光束整形镜组，所述激光器射出的激光经所述外光路射出，经所述透反镜反射至所述光束整形镜组，最终到达所述振镜场镜。
8、进一步地，所述激光加工精度校检装置还包括产品加工载台，所述产品加工载台上设有ccd视觉标记点。
9、进一步地，至少有一个ccd视觉标记点位于所述产品加工载台的中心，至少有一个ccd视觉标记点位于所述产品加工载台的边缘。
10、进一步地，所述激光加工精度校检装置还包括电机和ccd视觉标记点成像光源，所述电机与所述产品加工载台连接。
11、进一步地，所述ccd视觉标记点成像光源采用背光源或侧光源或同轴光源。
12、进一步地，所述ccd视觉标记点成像光源采用背光源，安装在产品加工载台的下方。
13、进一步地，所述激光加工精度校检装置还包括ccd视觉定位系统安装座和ccd视觉定位系统调节座，所述ccd视觉定位系统安装座安装在所述激光加工单元上，所述ccd视觉定位系统调节座安装在所述ccd视觉定位系统安装座上，所述ccd视觉定位系统安装在所述ccd视觉定位系统调节座上。
14、根据本技术的实施方案，提供第二种方案为：一种激光加工系统，包括如上述中任一项所述的激光加工精度校检装置。
15、与现有技术相比，本申请提供的技术方案，提出了一种激光加工精度校检装置，将ccd视觉定位系统的视觉成像反射光路与激光加工单元的激光振镜扫描光路同轴设置，可以检验产品加工载台定位精度和激光加工系统精度，使得生产品质和生产效率都能够满足精益生产的要求。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种激光加工精度校检装置，其特征在于，包括激光加工单元和CCD视觉定位系统，所述CCD视觉定位系统的视觉成像反射光路与所述激光加工单元的激光振镜扫描光路同轴；
2.根据权利要求1所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工单元包括激光器、外光路和振镜场镜，所述激光器射出的激光经所述外光路到达所述振镜场镜。
3.根据权利要求2所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述振镜场镜的视觉成像反射光线经所述透反镜透射到达所述CCD视觉定位系统，所述激光器射出的激光经所述外光路射出，经所述透反镜反射至所述振镜场镜。
4.根据权利要求2所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工单元还包括光束整形镜组，所述激光器射出的激光经所述外光路射出，经所述透反镜反射至所述光束整形镜组，最终到达所述振镜场镜。
5.根据权利要求1所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工精度校检装置还包括产品加工载台，所述产品加工载台上设有CCD视觉标记点。
6.根据权利要求5所述激光加工精度校检装置，其特征在于，至少有一个CCD视觉标记点
7.根据权利要求5所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工精度校检装置还包括电机和CCD视觉标记点成像光源，所述电机与所述产品加工载台连接。
8.根据权利要求1所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工精度校检装置还包括CCD视觉定位系统安装座和CCD视觉定位系统调节座，所述CCD视觉定位系统安装座安装在所述激光加工单元上，所述CCD视觉定位系统调节座安装在所述CCD视觉定位系统安装座上，所述CCD视觉定位系统安装在所述CCD视觉定位系统调节座上。
9.一种激光加工系统，其特征在于：包括如权利要求1至8中任一项所述的激光加工精度校检装置。
...【技术特征摘要】
1.一种激光加工精度校检装置，其特征在于，包括激光加工单元和ccd视觉定位系统，所述ccd视觉定位系统的视觉成像反射光路与所述激光加工单元的激光振镜扫描光路同轴；
2.根据权利要求1所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工单元包括激光器、外光路和振镜场镜，所述激光器射出的激光经所述外光路到达所述振镜场镜。
3.根据权利要求2所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述振镜场镜的视觉成像反射光线经所述透反镜透射到达所述ccd视觉定位系统，所述激光器射出的激光经所述外光路射出，经所述透反镜反射至所述振镜场镜。
4.根据权利要求2所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工单元还包括光束整形镜组，所述激光器射出的激光经所述外光路射出，经所述透反镜反射至所述光束整形镜组，最终到达所述振镜场镜。
5.根据权利要求1所述激光加工精度校检装置，其特征在于，所述激光加工精度校检装置...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵彦君，叶树铃，
申请(专利权)人：深圳市青虹激光科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。