【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于pzt压电薄膜性能调控，更具体地，涉及一种利用衬底电极调控柔性pzt薄膜性能的方法。
技术介绍
1、压电材料能够将微小机械形变转化为电信号，从而实现力信号与电信号之间的转化，在材料科学和工程领域获得了广泛的关注。在这些压电材料中，锆钛酸铅(pzt)因其突出的压电性能，在多种领域包括传感器、执行器、能量收集设备等方向的广泛应用，因此在近年对于压电材料研究中被广泛关注。在pzt薄膜的各项性能中，其压电性能在其实际应用中尤为重要，近年来，研究人员一直在不断探索增强pzt材料性能的方法。
2、衬底作为薄膜材料与电极附着的基底，需有有很好的机械性能，且不会对其上生长的pzt薄膜性能产生不良影响，同时要有良好的介电性能，所以通过改变衬底类型也可以对pzt薄膜压电性能进行调控，例如目前比较广泛应用于pzt薄膜材料的两种衬底：si与云母(mica)。si作为一种无机材料，有很好的介电性能和稳定性，并且机械性能好，能为薄膜材料提供坚实的基础，所以作为衬底广泛运用于早期压电材料。近年来，云母作为生长pzt薄膜的优良衬底而受到广泛关...
【技术保护点】
1.一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于：
6.根据权利要求5所述的一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，其特征在于：
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【技术特征摘要】
1.一种利用衬底电极调控柔性pzt薄膜性能的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种利用衬底电极调控柔性pzt薄膜性能的方法，其特征在于：
3.根据权利要求2所述的一种利用衬底电极调控柔性pzt薄膜性能的方法，其特征在于：
4.根据权利要求3所述的一种利用衬底电极调控柔性pzt薄膜性能的方法，其特征在于：
5.根据权利要求4所述的一种利用衬底电极调控柔性pzt薄膜性能的方法，其特征在于：
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【专利技术属性】
技术研发人员：袁燕岭，高岭，李耐心，赵一明，张静波，尹维波，胡琦，郑小宇，赵学，靳义波，穆勇，苑建涛，公泓鑫，吴明，
申请(专利权)人：国网冀北电力有限公司唐山供电公司，
类型：发明
国别省市：
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