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本发明公开了一种利用衬底电极调控柔性PZT薄膜性能的方法，涉及PZT压电薄膜性能调控领域；而本发明包括通过调控底电极类型可以实现制备不同类型的PZT薄膜，提供了一种对于柔性PZT薄膜在衬底和材料选择时的技术方法和规范流程，并通过此技术方法，...
该专利属于国网冀北电力有限公司唐山供电公司所有，仅供学习研究参考，未经过国网冀北电力有限公司唐山供电公司授权不得商用。

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