【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及了晶圆存储，尤其涉及一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库。
技术介绍
1、在半导体行业中，晶圆是其的一个重要组成部分，晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
2、由于晶圆在存储的过程中容易被污染，需要对晶圆存储库的洁净度进行控制，现有技术中的堆垛结构在运行的过程中，会因为摩擦产生大量的颗粒物，影响晶圆的存储环境，晶圆的污染几率高。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种高洁净半导体晶圆光罩存储库用堆垛机构，能够显著降低运行过程中对晶圆的污染，提高晶圆存储的安全性和可靠性。
2、本专利技术涉及的一种堆垛机粉尘清理结构，包括堆垛机，所述堆垛机包括移动板和连接在所述移动板上方的堆垛机本体，所述移动板的两端连接有滑块，所述滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动，所述导向槽的侧面开设有第一净化通道，所述第一净化通道的出风口连接有第一抽风机，所述第一抽风机的出风口与清洁腔连通，所述清洁腔底部设置有将清洁腔中的气体抽出的第二抽风机，所述第二抽风机用于将清洁腔中的气体抽送至所述存储库的底部；
3、2个导向槽沿所述存储库的中轴线对称设置，所述导向槽沿所述堆垛机本体的移动方向延伸，若干个所述第一净化通道依次开设在所述导向槽的侧面并通过所述出风口与所述清洁腔连通；
4、所述堆垛机本体包括水平
5、进一步地，所述垂直运动模组与所述水平运动模组连接，所述堆垛机本体还包括至少两个寻址编码器，其中至少一所述寻址编码器用于检测水平运动模组的位置，其中至少一所述寻址编码器用于检测垂直运动模组的位置。
6、进一步地，所述堆垛机本体的顶部连接有承载盘，晶圆盒放置在承载盘中进行运输，所述承载盘的上方或侧面连接有用于检测承载盘上的晶圆盒的视觉识别模块。
7、进一步地，所述承载盘的上表面开设有安装槽，在安装槽内设置有与晶圆盒接触以检测晶圆盒的到位情况的机械式到位传感器。
8、进一步地，所述视觉识别模块通过连接架与所述堆垛机本体连接，所述连接架包括第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆，所述第三连接杆通过所述第二连接杆与第一连接杆连接，所述第一连接杆与所述堆垛机本体连接，所述视觉识别模块与所述第三连接杆连接。
9、进一步地，所述第一连接杆的数量为2根，2根所述第一连接杆相互平行，所述第一连接杆的端部与第一连接块固定，所述第二连接杆的数量为2根，2根所述第二连接杆相互平行，第二连接杆的一端与所述第一连接块固定，第二连接杆的另一端与所述第二连接块固定，所述第一连接杆与所述第二连接杆垂直，所述第二连接杆与所述第三连接杆垂直。
10、进一步地，所述承载盘上镀设有防滑镀层。
11、本专利技术还涉及一种高洁净半导体晶圆光罩存储库，包括上述堆垛机粉尘清理机构，其特征在于，还包括连接在存储库上端的ffu，所述ffu的出风口与所述存储库内的存储腔连通，所述存储库内对称设置有料架，两排所述料架之间形成供堆垛机运动的行走通道，所述堆垛机用于将晶圆转移到所述料架上或将晶圆从所述料架上转移出去。
12、本专利技术的有益之处在于：导向槽的侧面开设有第一净化通道，所述第一净化通道的出风口连接有第一抽风机，当堆垛机和导轨摩擦产生微粒后，能够通过第一抽风机及时排出并将其输送到清洁腔中，然后第二抽风机将颗粒物抽出存储库，能够显著降低堆垛机运行过程中对晶圆造成的污染，进而提高晶圆保存的安全性。
13、为让本专利技术的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：包括堆垛机，所述堆垛机包括移动板和连接在所述移动板上方的堆垛机本体，所述移动板的两端连接有滑块，所述滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动，所述导向槽的侧面开设有第一净化通道，所述第一净化通道的出风口连接有第一抽风机，所述第一抽风机的出风口与清洁腔连通，所述清洁腔底部设置有将清洁腔中的气体抽出的第二抽风机，所述第二抽风机用于将清洁腔中的气体抽送至所述存储库的底部；
2.根据权利要求1所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述垂直运动模组与所述水平运动模组连接，所述堆垛机本体还包括至少两个寻址编码器，其中至少一所述寻址编码器用于检测水平运动模组的位置，其中至少一所述寻址编码器用于检测垂直运动模组的位置。
3.根据权利要求1所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述堆垛机本体的顶部连接有承载盘，晶圆盒放置在承载盘中进行运输，所述承载盘的上方或侧面连接有用于检测承载盘上的晶圆盒的视觉识别模块。
4.根据权利要求3所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述承载盘的上表面开设有安装槽，在安装槽内设置有与晶圆盒接触以检测晶圆
5.根据权利要求4所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述视觉识别模块通过连接架与所述堆垛机本体连接，所述连接架包括第一连接杆、第二连接杆和第三连接杆，所述第三连接杆通过所述第二连接杆与第一连接杆连接，所述第一连接杆与所述堆垛机本体连接，所述视觉识别模块与所述第三连接杆连接。
6.根据权利要求5所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述第一连接杆的数量为2根，2根所述第一连接杆相互平行，所述第一连接杆的端部与第一连接块固定，所述第二连接杆的数量为2根，2根所述第二连接杆相互平行，第二连接杆的一端与所述第一连接块固定，第二连接杆的另一端与所述第二连接块固定，所述第一连接杆与所述第二连接杆垂直，所述第二连接杆与所述第三连接杆垂直。
7.根据权利要求3所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述承载盘上镀设有防滑镀层。
8.一种高洁净半导体晶圆光罩存储库，包括权利要求1-8任一项所述的堆垛机粉尘清理机构，其特征在于，还包括连接在存储库上端的FFU，所述FFU的出风口与所述存储库内的存储腔连通，所述存储库内对称设置有料架，两排所述料架之间形成供堆垛机运动的行走通道，所述堆垛机用于将晶圆转移到所述料架上或将晶圆从所述料架上转移出去。
...【技术特征摘要】
1.一种堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：包括堆垛机，所述堆垛机包括移动板和连接在所述移动板上方的堆垛机本体，所述移动板的两端连接有滑块，所述滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动，所述导向槽的侧面开设有第一净化通道，所述第一净化通道的出风口连接有第一抽风机，所述第一抽风机的出风口与清洁腔连通，所述清洁腔底部设置有将清洁腔中的气体抽出的第二抽风机，所述第二抽风机用于将清洁腔中的气体抽送至所述存储库的底部；
2.根据权利要求1所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述垂直运动模组与所述水平运动模组连接，所述堆垛机本体还包括至少两个寻址编码器，其中至少一所述寻址编码器用于检测水平运动模组的位置，其中至少一所述寻址编码器用于检测垂直运动模组的位置。
3.根据权利要求1所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述堆垛机本体的顶部连接有承载盘，晶圆盒放置在承载盘中进行运输，所述承载盘的上方或侧面连接有用于检测承载盘上的晶圆盒的视觉识别模块。
4.根据权利要求3所述的堆垛机粉尘清理结构，其特征在于：所述承载盘的上表面开设有安装槽，在安装槽内设置有与晶圆盒接触以检测晶圆盒的到位情况的机械式到位传感器。
5.根据权利要求4...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘明，黄益民，
申请(专利权)人：唯实先端智能科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：
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