下载一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库的技术资料

文档序号:40983607

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及的一种堆垛机粉尘清理机构及高洁净晶圆存储库,包括堆垛机,堆垛机包括移动板和连接在移动板上方的堆垛机本体,移动板的两端连接有滑块,滑块沿设置在导向槽内的滑轨滑动,导向槽的侧面开设有第一净化通道,第一净化通道的出风口连接有第一抽风机,...
该专利属于唯实先端智能科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过唯实先端智能科技(苏州)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。