一种具有耐高温功能的石英舟托及其耐高温方法技术

技术编号:40949634 阅读:25 留言:0更新日期:2024-04-18 20:24
本发明专利技术涉及石英舟托技术领域,且公开了一种具有耐高温功能的石英舟托及其耐高温方法,包括托架,所述托架的表面固定连接有石英舟,所述石英舟的内壁底部固定连接有凹孔板,所述托架的端部固定连接有支架,所述支架的内壁转动连接有滚球,所述托架的表面固定连接有稳定弹杆。本发明专利技术两个托架通过稳定弹杆相互的连接,将石英舟设置在两个托架相互靠近的一端从而提高石英舟在工作时的稳定性,托架进入至扩散炉的内部后对石英舟进行支撑固定,使得扩散炉内部的热量可以充分的进入至石英舟的内部对硅片进行加工,在石英舟的外端设置有挤压部件,利用挤压部件对上石英舟的外端进行挤压,避免石英舟受到高温崩裂。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及石英舟托,具体为一种具有耐高温功能的石英舟托及其耐高温方法


技术介绍

1、在光伏电池的制备过程中,在工艺炉(比如扩散炉或者沉积炉)中需要有承载硅片的舟体,并由推拉舟托起承载硅片的舟体将硅片送入工艺炉内,现有技术中石英舟是一种常用的载片工具,多个石英舟放置在石英舟托上,通过石英舟托送入工艺炉内,在工艺过程中工艺气体和硅片表面的接触越充分,工艺效果越是显著;

2、硅片通过石英舟托放置入扩散炉的内部后,石英舟托长期在炉内进行使用,时间久了之后石英舟托会因为高温和负重发生扭曲裂痕,石英舟托在炉内发生断裂后,石英舟托承载的硅片便会掉落至炉内导致硅片的损坏,且损坏的石英舟托容易卡在炉内导致扩散炉需要进行清理,造成硅片原料的浪费。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种具有耐高温功能的石英舟托及其耐高温方法,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为解决上述技术问题,本专利技术是通过以下技术方案实现的:

3、本专利技术为一种具有耐高温功能的石英舟托及其耐高温方法,包本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有耐高温功能的石英舟托,包括托架(1),所述托架(1)的表面固定连接有石英舟(3),所述石英舟(3)的内壁底部固定连接有凹孔板(4),所述托架(1)的端部固定连接有支架(5),所述支架(5)的内壁转动连接有滚球(6),所述托架(1)的表面固定连接有稳定弹杆(2),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种具有耐高温功能的石英舟托,其特征在于:所述托架(1)的数量设置有两个,所述石英舟(3)位于两个托架(1)相互靠近的一端,所述稳定弹杆(2)的端部贯穿托架(1)且延伸至托架(1)的外端,所述稳定弹杆(2)位于石英舟(3)的上方,所述石英舟(3)的底部设置有多个...

【技术特征摘要】

1.一种具有耐高温功能的石英舟托,包括托架(1),所述托架(1)的表面固定连接有石英舟(3),所述石英舟(3)的内壁底部固定连接有凹孔板(4),所述托架(1)的端部固定连接有支架(5),所述支架(5)的内壁转动连接有滚球(6),所述托架(1)的表面固定连接有稳定弹杆(2),其特征在于,还包括:

2.根据权利要求1所述的一种具有耐高温功能的石英舟托,其特征在于:所述托架(1)的数量设置有两个,所述石英舟(3)位于两个托架(1)相互靠近的一端,所述稳定弹杆(2)的端部贯穿托架(1)且延伸至托架(1)的外端,所述稳定弹杆(2)位于石英舟(3)的上方,所述石英舟(3)的底部设置有多个凹孔板(4)。

3.根据权利要求1所述的一种具有耐高温功能的石英舟托,其特征在于:所述挤压部件(7)包括弹性直角杆(19),所述弹性直角杆(19)与圆面块(14)的表面固定连接,所述弹性直角杆(19)远离圆面块(14)的一端铰接有半圆块(18),所述半圆块(18)的表面固定连接有挤压板(17),所述挤压板(17)远离半圆块(18)的一端固定连接有接触板(16);

4.根据权利要求3所述的一种具有耐高温功能的石英舟托,其特征在于:所述弹性杆(12)远离圆孔杆(13)的一端与半圆块(18)的表面铰接,所述接触板(16)远离挤压板(17)的一端与石英舟(3)的外表面接触,所述接触板(16)的数量设置有两个,两个所述接触板(16)以石英舟(3)为中心对称设置...

【专利技术属性】
技术研发人员:叶国闽张永明宋贤潘其明
申请(专利权)人:浙江富同石英新材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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