耐高温立式石英舟制造技术

本技术公开了耐高温立式石英舟，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。本技术的耐高温立式石英舟，结构强度高，可以拆卸更换破损部件，能够在长期高温负重条件下减少变形，太高了使用寿命，能够适应不同规格硅片产品生产使用，能够对其中的硅片等形成良好的保护。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于石英舟，具体涉及耐高温立式石英舟。

技术介绍

1、立式石英舟主要用作硅片的容器，可以方便硅片的存储、搬运、退火等操作。石英舟由石英玻璃制成，可以承受硅片退火过程中的高温。现有的立式石英舟结构简单，一般包括三根支撑杆以及位于支撑杆两端的两块侧板。现有的立式石英舟存在容易磕碰损坏的问题，使用寿面短。加上支撑杆与侧板一体连接，一旦部分损坏，就要更换整个石英舟，导致生产实业需要消耗大量的石英舟，推搞了生产成本。同时，现有的石英舟只能放置一种规格的硅片。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：耐高温立式石英舟，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。

2、作为上述技术方案的优选，所述侧支撑杆上和底支撑杆上分别设有刻槽，侧支撑杆上的刻槽与底支撑杆上的刻槽相对应。

3、作为上述技术方案的优选，所述左支撑板上和右支撑板上分别设有供侧支撑杆或者底支撑杆插入的插孔。

4、作为上述技术方案的优选，所述支撑杆分为有一根底支撑杆和两根侧支撑杆。

5、作为上述技术方案的优选，每根所述支撑杆对应一组插孔组，一组插孔组中包括有若干个朝左支撑板中部依次排列的插孔，支撑杆的一端插入对应插孔组中的其中一个插孔中。

6、作为上述技术方案的优选，所述支撑杆的端部设有卡槽，支撑杆插入插孔中后左支撑板或者右支撑板卡入卡槽中。

7、作为上述技术方案的优选，所述左支撑板的两侧边上、左支撑板的底边上、右支撑板的两侧边上、右支撑板的底边上分别设有若干槽口，槽口内宽外窄设置，所述连接杆的横截面形状与槽口的形状相匹配。

8、作为上述技术方案的优选，所述左支撑板的中部、右支撑板的中部分别设有减重孔。

9、作为上述技术方案的优选，所述左支撑板的上边、右支撑板的上边分别设有若干定位凸起，所述左支撑板的下边、右支撑板的下边分别设有若干定位槽，定位槽与定位凸起相对应，定位槽的直径大于定位凸起的直径。

10、本技术的有益效果是：本技术的耐高温立式石英舟，结构强度高，可以拆卸更换破损部件，能够在长期高温负重条件下减少变形，太高了使用寿命，能够适应不同规格硅片产品生产使用，能够对其中的硅片等形成良好的保护。

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【技术保护点】

1.耐高温立式石英舟，其特征在于，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。

2.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述侧支撑杆上和底支撑杆上分别设有刻槽，侧支撑杆上的刻槽与底支撑杆上的刻槽相对应。

3.如权利要求2所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板上和右支撑板上分别设有供侧支撑杆或者底支撑杆插入的插孔。

4.如权利要求3所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述支撑杆分为有一根底支撑杆和两根侧支撑杆。

5.如权利要求4所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，每根所述支撑杆对应一组插孔组，一组插孔组中包括有若干个朝左支撑板中部依次排列的插孔，支撑杆的一端插入对应插孔组中的其中一个插孔中。

6.如权利要求5所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述支撑杆的端部设有卡槽，支撑杆插入插孔中后左支撑板或者右支撑板卡入卡槽中。

7.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板的两侧边上、左支撑板的底边上、右支撑板的两侧边上、右支撑板的底边上分别设有若干槽口，槽口内宽外窄设置，所述连接杆的横截面形状与槽口的形状相匹配。

8.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板的中部、右支撑板的中部分别设有减重孔。

9.如权利要求8所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板的上边、右支撑板的上边分别设有若干定位凸起，所述左支撑板的下边、右支撑板的下边分别设有若干定位槽，定位槽与定位凸起相对应，定位槽的直径大于定位凸起的直径。

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【技术特征摘要】

1.耐高温立式石英舟，其特征在于，包括有左支撑板、右支撑板，左支撑板和右支撑板之间设有若干连接杆和若干支撑杆，所述支撑杆分为有至少一根底支撑杆和至少两根侧支撑杆，侧支撑杆的高度高于底支撑杆的高度，侧支撑杆分别位于底支撑杆的两侧，侧支撑杆和底支撑杆围成放置槽，所述连接杆分别位于放置槽的两侧以及放置槽的下方。

2.如权利要求1所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述侧支撑杆上和底支撑杆上分别设有刻槽，侧支撑杆上的刻槽与底支撑杆上的刻槽相对应。

3.如权利要求2所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述左支撑板上和右支撑板上分别设有供侧支撑杆或者底支撑杆插入的插孔。

4.如权利要求3所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，所述支撑杆分为有一根底支撑杆和两根侧支撑杆。

5.如权利要求4所述的耐高温立式石英舟，其特征在于，每根所述支撑杆对应一组插孔组，一组插孔组...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴彬彬，刘向，单阿琳，程晶晶，方明，
申请(专利权)人：浙江富同石英新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：