【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
1、本公开大体上涉及用于测试装置(例如半导体)的电测试装备的领域。
2、测试这些类型的装置通常在特定的温度下进行。然而，在测试期间可能难以按照期望控制装置的温度。例如，在一些例子中，测试期间的几摄氏度的变化可能会导致结果不准确。
3、装置在测试期间可能会产生热量。这种热量可被称为“自热”。装置可经提供有薄加热器，其被接通以加热装置。然而，当装置开始产生热量时，薄加热器可能会断电或关断。例如，随着装置产生的热量不断增加，薄加热器会逐渐关断。为了在特定温度下测试装置，可向装置提供具有液氮的空气及/或经压缩的干燥空气。通过控制空气的流动，例如通过手动打开及关闭空气通道，可以改变向装置提供的空气的流动。
技术实现思路
1、一个实施例涉及一种用于控制温度控制系统中的温度的方法。所述方法包含提供温度控制系统，其包含：控制器；第一接触器组合件，其具有第一通道系统、多个第一接触件，所述第一接触件中的每一者包含安置在所述第一通道系统内的一部分，及第一排出阀或第一入口阀中的一或多者；以及第二接触器组合件，其具有第二通道系统、多个第二接触件，所述第二接触件中的每一者包含安置在所述第二通道系统内的一部分，及第二排出阀或第二入口阀中的一或多者。所述方法还包含通过所述第一接触器组合件接收处于第一温度的流体。所述方法还包含通过所述第二接触器组合件接收处于所述第一温度的所述流体。所述方法还包含通过所述控制器确定所述第一通道系统内的所述第一接触件的温度。所述方法还包含通过所述控制
2、另一实施例涉及一种温度控制系统。所述温度控制系统包含测试装置、接触器组合件及控制器。所述测试装置包含多个接触器接收位置。所述接触器组合件经定位在所述接触器接收位置中的一者内。所述接触器组合件包含通道系统、多个接触件、传感器、第一端口及第一排出阀或入口阀中的至少一者。所述通道系统经配置以接收流体。所述接触件中的每一者包含安置在所述通道系统内的一部分。所述传感器经配置以提供信号。所述第一端口经配置以提供来自所述接触器组合件的所述流体。所述第一排出阀与所述第一端口流体连通。所述第一排出阀可在打开位置与关闭位置之间操作。所述第一排出阀在所述打开位置中促进来自所述接触器组合件的流动，且在所述关闭位置中禁止来自所述接触器组合件的流动。所述入口阀可在打开位置与关闭位置之间操作。所述入口阀在所述打开位置中促进到所述传感器的流动，且在所述关闭位置中禁止到所述传感器的流动。所述控制器经配置以接收与目标装置的测试相关联的设定点温度。所述控制器还经配置以基于所述信号确定所述接触件的温度。所述控制器还经配置以将所述温度与所述设定点温度进行比较。所述控制器还经配置以基于所述温度与所述设定点温度之间的所述比较将所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者朝向所述打开位置或所述关闭位置中的一者重新定位。
3、如本文更详细地描述的，所述温度控制系统经配置以被控制，以便通过控制通过所述接触器组合件中的一或多者的流体的流动来使一或多个接触器组合件的接触件被加热或冷却。例如，通过第一接触器组合件的流体的流动可基于第二接触器组合件的接触件的温度及/或所述第一接触器组合件的接触件的温度。结果，所述温度控制系统的吞吐量可能大于不以这些方式控制流动的其它系统。
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1.一种用于控制温度控制系统中的温度的方法，所述方法包括；
2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括通过所述控制器接收第一信号；
3.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包括通过所述控制器基于所述第二接触件的所述温度与所述设定点温度的所述比较使所述第一排出阀或所述第一入口阀中的所述一或多者重新定位。
5.根据权利要求4所述的方法，其进一步包括通过所述控制器接收第二信号；
6.根据权利要求1所述的方法，其中提供所述温度控制系统进一步包括提供多个额外接触器组合件，所述额外接触器组合件中的每一者包括额外通道系统、多个额外接触件，所述额外接触件中的每一者包含安置在所述额外通道系统内的一部分，及额外排出阀或额外入口阀中的一或多者。
7.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括通过所述控制器基于所述第一接触件的所述温度与所述设定点温度的所述比较使所述第二排出阀或所述第二入口阀中的所述一或多者重新定位。
9.一
10.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时，所述控制器经配置以当所述温度小于所述设定点温度时使所述第一排出阀朝向所述打开位置重新定位。
11.根据权利要求10所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时，所述控制器经配置以当所述温度大于所述设定点温度时使所述第一排出阀朝向所述关闭位置重新定位。
12.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时，所述控制器经配置以当所述温度大于所述设定点温度时使所述第一排出阀朝向所述打开位置重新定位。
13.根据权利要求12所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时，所述控制器经配置以当所述温度小于所述设定点温度时使所述第一排出阀朝向所述关闭位置重新定位。
14.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述入口阀时，所述控制器经配置以当所述温度小于所述设定点温度时使所述入口阀朝向所述打开位置重新定位。
15.根据权利要求14所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述入口阀时，所述控制器经配置以当所述温度大于所述设定点温度时使所述入口阀朝向所述关闭位置重新定位。
16.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述入口阀时，所述控制器经配置以当所述温度小于所述设定点温度时使所述入口阀朝向所述关闭位置重新定位。
17.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时：
18.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中所述传感器安置在所述通道系统内。
19.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中所述阀是双压电晶片阀或蝶形阀。
20.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中所述传感器是电阻温度装置或热电偶。
21.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中所述传感器是电阻温度装置或热电偶。
22.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中所述传感器被包含在所述测试装置中。
...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种用于控制温度控制系统中的温度的方法，所述方法包括；
2.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括通过所述控制器接收第一信号；
3.根据权利要求2所述的方法，其进一步包括：
4.根据权利要求3所述的方法，其进一步包括通过所述控制器基于所述第二接触件的所述温度与所述设定点温度的所述比较使所述第一排出阀或所述第一入口阀中的所述一或多者重新定位。
5.根据权利要求4所述的方法，其进一步包括通过所述控制器接收第二信号；
6.根据权利要求1所述的方法，其中提供所述温度控制系统进一步包括提供多个额外接触器组合件，所述额外接触器组合件中的每一者包括额外通道系统、多个额外接触件，所述额外接触件中的每一者包含安置在所述额外通道系统内的一部分，及额外排出阀或额外入口阀中的一或多者。
7.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括：
8.根据权利要求1所述的方法，其进一步包括通过所述控制器基于所述第一接触件的所述温度与所述设定点温度的所述比较使所述第二排出阀或所述第二入口阀中的所述一或多者重新定位。
9.一种温度控制系统，其包括：
10.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时，所述控制器经配置以当所述温度小于所述设定点温度时使所述第一排出阀朝向所述打开位置重新定位。
11.根据权利要求10所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中的所述至少一者是所述第一排出阀时，所述控制器经配置以当所述温度大于所述设定点温度时使所述第一排出阀朝向所述关闭位置重新定位。
12.根据权利要求9所述的温度控制系统，其中，当所述第一排出阀或所述入口阀中...
【专利技术属性】
技术研发人员：杰里·伊霍尔·图斯塔尼乌斯凯杰，S·韦策尔，
申请(专利权)人：三角设计公司，
类型：发明
国别省市：
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