基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法及测量支座技术

本发明专利技术公开了一种基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法及测量支座，测量方法包括以下步骤：S1、安装好检棒，以使检棒的轴线与主轴的轴线同轴；S2、采用三点法误差分离技术校核检棒的圆度轮廓；S3、将三个位移传感器沿XYZ三个方向安装，测量主轴径向跳动信号和轴向跳动信号；S4、将校核出的检棒圆度轮廓信号从主轴径向跳动信号中减掉，以消除检棒圆度轮廓对主轴测量结果的影响，从而，更准确地评估主轴径向回转误差；S5、基于步骤S3检测得到的轴向跳动信号，计算主轴的轴向回转误差。本发明专利技术所提出的三点法误差分离技术可以消除检棒圆度轮廓对主轴测量结果的影响，且测量检棒圆度轮廓的操作简便，可通过一次安装即可完成检棒圆度轮廓的校核，测量过程无需重新安装检棒，减少了操作步骤，避免测量过程冗长。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及测量技术，具体涉及一种基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法。

技术介绍

1、主轴是机床最关键的核心功能部件之一，几乎存在于所有类型的机床中，精度对机床的加工精度具有决定性作用。在车床中，所加工零件的形貌误差由主轴误差直接映射而来。美国preciteck公司研制单点金刚石车床x，所配置的主轴误差小于15纳米。

2、在其他机电系统中，主轴精度也常常对系统性能具有决定性影响。例如，计算硬盘的存储密度由磁道宽度决定，但是，为确保硬盘的读/写准确率，硬盘主轴误差需比磁道宽度低一个数量级；2006年，典型磁环宽度约为200纳米，这意味着硬盘主轴误差需低于20纳米。圆度仪的测量精度主要依赖于转台回转精度；当前，最精密的圆度仪，talyrond 595h的主轴误差仅10纳米。在制造业强国，10纳米级精度的主轴已实现商业化，并正向纳米级迈进。

3、2006年，国际标准化技术委员会iso/tc 39/sc 2首次发布主轴测量的国际标准：iso 230-7,geometric accuracy of axes of rotation；本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：步骤S4包括以下具体步骤：

3.根据权利要求1所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：步骤S5包括以下具体步骤：

4.根据权利要求1所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：所述测量支座包括底部、中部和顶部，所述底部、中部和顶部依次连接并采用螺栓固定；所述顶部的下面设有多个第一固定槽，所述中部的上面和下面分别设有多个第二固定槽和第三固定槽，所述底部的上面设有...

【技术特征摘要】

1.基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：步骤s4包括以下具体步骤：

3.根据权利要求1所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：步骤s5包括以下具体步骤：

4.根据权利要求1所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：所述测量支座包括底部、中部和顶部，所述底部、中部和顶部依次连接并采用螺栓固定；所述顶部的下面设有多个第一固定槽，所述中部的上面和下面分别设有多个第二固定槽和第三固定槽，所述底部的上面设有多个第四固定槽；所述第一固定槽和相应的第二固定槽形成多个第一径向固定孔；所述第三固定槽和相应的第四固定槽形成第二径向固定孔；所述底部、中部和顶部的中间均设有被检棒伸入的检测孔；当所述底部、中部和顶部连接在一起时，所有的检测孔的轴线位于同一直线上；所述底部设有轴向固定孔；所述轴向固定孔的轴线与检测孔的轴线位于同一直线上；所述第一径向固定孔、第二径向固定孔和轴向固定孔均与检测孔相通。

5.根据权利要求4所述的基于三点法误差分离技术的超精密主轴测量方法，其特征在于：所有第一径向固定孔位于同一平面，且所有第一径向固定孔的轴线相交于检测孔的轴线上；所有第二径向固定孔位于同一平面，且所有第一径向固定孔的轴线相...

【专利技术属性】
技术研发人员：史生宇，刘志广，黄铉程，冯彦洪，郑逸彤，覃海航，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：