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【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及多线切割,特别涉及一种多线切割方法、装置、设备及系统。
技术介绍
1、半导体、蓝宝石和太阳能领域对材料多采用一种多线切割方式。通过将被切割工件粘结在进给机构之上,推动工件向一组平行钢线阵列,完成工件的切割过程。
2、现有切割系统基于工程人员经验,预设各个切割节点的目标温度,从而在加工过程中设备根据预设的温度曲线进行加工控制。而实际操作过程中因外界环境变化以及被加工件长度和材质等各种因素的影响,因加工产生的热量和物理形变并不稳定,预设温度曲线无法有效预测工件的实际温度,无法精准地控制各单元的物理形变,从而导致切割出的工件平坦度较差甚至超出预期规格。
技术实现思路
1、为了解决上述技术问题,本专利技术提供一种多线切割方法、装置、设备及系统,能够解决现有技术中无法精准地控制各单元的物理形变,从而导致切割出的工件平坦度较差甚至超出预期规格的问题。
2、为了解决上述技术问题,本专利技术采用如下技术方案:
3、一种多线切割方法,包括:
4、实时获取多线切割过程中被切割工件以及切割设备中的至少一个设备单元的温度;
5、根据所获取的温度,对目标部件进行温度调节,所述目标部件包括:所述设备单元和/或所述被切割工件,所述目标部件满足:在第一时刻的第一温度与第二时刻的第二温度之间的温度差大于预设阈值,所述第一时刻位于所述第二时刻之前,且与所述第二时刻之间间隔预设时长;
6、其中,所述设备单元包括:砂浆喷淋单元、主轴、夹
7、进一步地,在所述目标部件的数目为多个时,所述根据至少一个所述设备单元的第一温度和第二温度,对目标部件进行温度调节,包括:
8、根据所述目标部件的优先级的从高到低,对多个所述目标部件进行温度调节;和/或,
9、根据所述目标部件的膨胀系数的从高到低,对多个所述目标部件进行温度调节;
10、其中,所述砂浆喷淋单元、所述被切割工件、所述主轴以及所述夹紧单元的优先级高于所述设备机架、所述基座、所述钢线以及所述工件板的优先级。
11、进一步地,所述根据至少一个所述设备单元的第一温度和第二温度,对目标部件进行温度调节,包括:
12、通过形变平衡公式对所述目标部件进行温度调节;
13、所述形变平衡公式为:
14、
15、其中,i为所述第二温度大于所述第一温度的第一目标部件;αi为所述第一目标部件的膨胀系数;ti为所述第二温度;ti0为所述第一温度;k为所述第二温度小于所述第一温度的第二目标部件;αk为所述第二目标部件的膨胀系数;tk为所述第二温度;tk0为所述第一温度。
16、进一步地,所述根据所述目标部件的优先级,对所述目标部件进行温度调节,包括:
17、按照优先级的从高到低对多个所述目标部件进行排序;
18、按照排序对多个所述目标部件依次进行温度调节,直至所述目标部件均满足所述形变平衡公式。
19、进一步地,所述根据所述目标部件的膨胀系数,对所述目标部件进行温度调节,包括:
20、按照膨胀系数从大至小对多个所述目标部件进行排序;
21、按照排序对多个所述目标部件依次进行温度调节,直至所述目标部件均满足所述形变平衡公式。
22、本专利技术实施例还提供了一种多线切割装置,包括:
23、获取模块,用于实时获取多线切割过程中被切割工件以及切割设备中的至少一个设备单元的温度;
24、调节模块,用于根据所获取的温度,对目标部件进行温度调节,所述目标部件包括:所述设备单元和/或所述被切割工件,所述目标部件满足:在第一时刻的第一温度与第二时刻的第二温度之间的温度差大于预设阈值,所述第一时刻位于所述第二时刻之前,且与所述第二时刻之间间隔预设时长;
25、其中,所述设备单元包括:砂浆喷淋单元、主轴、夹紧单元、设备机架、基座、钢线以及工件板。
26、进一步地,所述调节模块还用于:
27、根据所述目标部件的优先级的从高到低,对多个所述目标部件进行温度调节;和/或,
28、根据所述目标部件的膨胀系数的从高到低,对多个所述目标部件进行温度调节;
29、其中,所述砂浆喷淋单元、所述被切割工件、所述主轴以及所述夹紧单元的优先级高于所述设备机架、所述基座、所述钢线以及所述工件板的优先级。
30、本专利技术实施例还提供了一种多线切割设备,包括:收发器、处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序或指令;所述处理器执行所述程序或指令时实现如上所述的多线切割方法。
31、本专利技术实施例还提供了一种多线切割系统,包括:
32、多线切割设备、温度采集单元、控制单元以及冷却系统;
33、所述温度采集单元用于采集所述多线切割设备中各个设备单元的温度;
34、所述控制单元用于根据所述温度采集单元采集的温度通过所述冷却系统对所述设备单元和/或被切割工件的温度进行调节;
35、其中,所述多线切割设备用于对所述被切割工件进行切割,包括砂浆喷淋单元、主轴、夹紧单元、设备机架、基座、钢线以及工件板;
36、所述夹紧单元与所述工件板用于固定所述被切割工件。
37、进一步地,所述冷却系统,包括:
38、多个比例阀,用于对所述比例阀对应的部件进行冷却调节;
39、其中,所述砂浆喷淋单元、所述主轴、所述夹紧单元分别对应不同的所述比例阀;所述设备机架、所述基座、所述钢线以及所述工件板对应同一个所述比例阀。
40、本专利技术的有益效果是:
41、本专利技术实施例的多线切割方法,通过实时获取多线切割过程中被切割工件以及切割设备中的至少一个设备单元的温度,能够根据获取到的温度对目标部件进行温度调节,从而使得所述多线切割设备中不同的设备单元与被切割工件整体形成形变量的平衡,确保了切尔轨迹的平稳性以及被切割工件平坦度的稳定性。解决了现有技术中无法精准地控制各单元的物理形变,从而导致切割出的工件平坦度较差甚至超出预期规格的问题。
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1.一种多线切割方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的多线切割方法,其特征在于,在所述目标部件的数目为多个时,所述根据至少一个所述设备单元的第一温度和第二温度,对目标部件进行温度调节,包括:
3.根据权利要求2所述的多线切割方法,其特征在于,所述根据至少一个所述设备单元的第一温度和第二温度,对目标部件进行温度调节,包括:
4.根据权利要求3所述的多线切割方法,其特征在于,所述根据所述目标部件的优先级,对所述目标部件进行温度调节,包括:
5.根据权利要求3所述的多线切割方法,其特征在于,所述根据所述目标部件的膨胀系数,对所述目标部件进行温度调节,包括:
6.一种多线切割装置,其特征在于,包括:
7.根据权利要求6所述的多线切割装置,其特征在于,所述调节模块还用于:
8.一种多线切割设备,包括:收发器、处理器、存储器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的程序或指令;其特征在于,所述处理器执行所述程序或指令时实现如权利要求1-5任一项所述的多线切割方法。
9.一种多线切割系
10.根据权利要求9所述的多线切割系统,其特征在于,所述冷却系统,包括:
...【技术特征摘要】
1.一种多线切割方法,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的多线切割方法,其特征在于,在所述目标部件的数目为多个时,所述根据至少一个所述设备单元的第一温度和第二温度,对目标部件进行温度调节,包括:
3.根据权利要求2所述的多线切割方法,其特征在于,所述根据至少一个所述设备单元的第一温度和第二温度,对目标部件进行温度调节,包括:
4.根据权利要求3所述的多线切割方法,其特征在于,所述根据所述目标部件的优先级,对所述目标部件进行温度调节,包括:
5.根据权利要求3所述的多线切割方法,其特征在于,所...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈光林,
申请(专利权)人:西安奕斯伟材料科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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