【技术实现步骤摘要】
本技术属于溅射靶材，尤其涉及一种带背板的组合式溅射靶材组件。
技术介绍
1、溅射靶材主要是由靶坯、背板等部分构成主要应用于电子及信息产业，如集成电路、信息存储、液晶显示屏、激光存储器、电子控制器件等；亦可应用于玻璃镀膜领域；还可以应用于耐磨材料、高温耐蚀、高档装饰用品等行业，靶坯属于高速离子束流轰击的目标材料，是核心部分，在溅射镀膜的过程中，靶坯被离子撞击后，表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成电子薄膜，因为高纯度金属强度较低。
2、可是溅射靶材需要安装在专用的机台内完成溅射过程，机台内部为高电压、高真空环境，所以超高纯金属的溅射靶坯需要与背板通过不同的焊接工艺进行接合，背板主要起到了固定溅射靶材的作用，以及良好的导电、导热性能，上述技术存在的问题是：溅射靶材与背板组装的过程中需要通过焊接或螺纹连接结构进行固定，其组装过程较为繁琐，且不便于使用者快速的溅射靶材与背板进行组装固定，因此降低了溅射靶材的组装便捷性。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种可以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的带背板的组合式溅射靶材组件。
2、本技术是这样实现的，一种带背板的组合式溅射靶材组件，包括溅射靶材、背板和两个连接块，所述背板位于溅射靶材的后侧，两个连接块分别位于溅射靶材的顶部和底部，所述连接块的表面与背板的内腔接触，所述背板内腔的顶部和底部均开设有放置槽；
3、所述放置槽的内腔设置有与溅射靶材配合使用的定位机构；
4、
5、为了提高溅射靶材的组装便捷性，优选地定位机构包括两个定位杆，所述定位杆的顶部固定连接有挤压块，两个定位杆相反的一侧均固定连接有弹簧，所述弹簧靠近放置槽内壁的一侧与放置槽的内壁固定连接，通过设置定位机构，定位杆起到了可以通过背板与连接块的相互配合达到使溅射靶材快速与背板进行固定的作用。
6、为了提高定位机构的移动效果，优选地传动机构包括活动块，所述活动块顶部的左右两侧均与挤压块的表面接触，所述活动块的前侧固定连接有传动杆，所述活动块的顶部固定连接有拉簧，通过设置传动机构，活动块起到了可以通过与挤压块的相互配合达到快速带动定位杆进行移动的作用，避免了在需要将溅射靶材拆除时无法使溅射靶材脱离固定状态的情况。
7、为了提高传动机构的移动稳定性，优选地活动块的内腔活动连接有限位块，所述限位块的后侧固定连接有支撑杆，所述支撑杆的底部与放置槽的内壁固定连接，所述拉簧的顶部与限位块的内腔固定连接，通过设置限位块和支撑杆，支撑杆起到了可以通过限位块辅助活动块按照一定的活动轨迹进行稳定移动的作用，避免了活动块在移动时出现晃动的问题。
8、为了提高定位机构的移动稳定性，优选地挤压块的顶部固定连接有插接杆，两个插接杆的表面套设有插接块，所述插接块的顶部与放置槽的内壁固定连接，通过设置插接杆和插接块，插接块起到了可以通过插接杆对挤压块和定位杆进行导向移动的作用。
9、为了提高定位杆的对接效果，优选地背板内腔的左右两侧均开设有连接孔，所述连接块的左右两侧均开设有定位槽，两个定位杆相对的一侧均穿过连接孔并延伸至定位槽的内腔，通过设置连接孔和定位槽，连接孔起到了可以使定位杆快速的与定位槽进行对接的作用。
10、为了提高传动杆的移动效果，优选地背板前侧的顶部和底部均开设有活动孔，所述传动杆的前侧穿过活动孔并延伸至背板的前侧，通过设置活动孔，活动孔避免了传动杆在移动时与固定块的内壁接触从而产生摩擦的情况。
11、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
12、本技术通过设置溅射靶材、背板、连接块、放置槽、定位机构和传动机构，将溅射板材与背板进行贴合，在对接的过程中需要使连接块插入背板的内腔，在对接完成后，松开传动杆，拉簧的拉力进行收缩，会快速的带动活动块进行复位，活动块在复位的过程中会使挤压块失去受力的状态，在挤压块失去受力后，弹簧的弹力回弹，会快速的带动定位杆插入定位槽的内腔，在插入定位槽的内腔后即可通过背板与连接块的相互配合达到使溅射靶材快速与背板进行固定的作用，从而完成了对溅射靶材的快速组装。
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1.一种带背板的组合式溅射靶材组件，包括溅射靶材(1)、背板(2)和两个连接块(3)，其特征在于：所述背板(2)位于溅射靶材(1)的后侧，两个连接块(3)分别位于溅射靶材(1)的顶部和底部，所述连接块(3)的表面与背板(2)的内腔接触，所述背板(2)内腔的顶部和底部均开设有放置槽(4)；
2.如权利要求1所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述定位机构(5)包括两个定位杆(501)，所述定位杆(501)的顶部固定连接有挤压块(502)，两个定位杆(501)相反的一侧均固定连接有弹簧(503)，所述弹簧(503)靠近放置槽(4)内壁的一侧与放置槽(4)的内壁固定连接。
3.如权利要求2所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述传动机构(6)包括活动块(601)，所述活动块(601)顶部的左右两侧均与挤压块(502)的表面接触，所述活动块(601)的前侧固定连接有传动杆(602)，所述活动块(601)的顶部固定连接有拉簧(603)。
4.如权利要求3所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述活动块(601)的内
5.如权利要求2所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述挤压块(502)的顶部固定连接有插接杆(9)，两个插接杆(9)的表面套设有插接块(10)，所述插接块(10)的顶部与放置槽(4)的内壁固定连接。
6.如权利要求2所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述背板(2)内腔的左右两侧均开设有连接孔(11)，所述连接块(3)的左右两侧均开设有定位槽(12)，两个定位杆(501)相对的一侧均穿过连接孔(11)并延伸至定位槽(12)的内腔。
7.如权利要求3所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述背板(2)前侧的顶部和底部均开设有活动孔(13)，所述传动杆(602)的前侧穿过活动孔(13)并延伸至背板(2)的前侧。
...【技术特征摘要】
1.一种带背板的组合式溅射靶材组件，包括溅射靶材(1)、背板(2)和两个连接块(3)，其特征在于：所述背板(2)位于溅射靶材(1)的后侧，两个连接块(3)分别位于溅射靶材(1)的顶部和底部，所述连接块(3)的表面与背板(2)的内腔接触，所述背板(2)内腔的顶部和底部均开设有放置槽(4)；
2.如权利要求1所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述定位机构(5)包括两个定位杆(501)，所述定位杆(501)的顶部固定连接有挤压块(502)，两个定位杆(501)相反的一侧均固定连接有弹簧(503)，所述弹簧(503)靠近放置槽(4)内壁的一侧与放置槽(4)的内壁固定连接。
3.如权利要求2所述的一种带背板的组合式溅射靶材组件，其特征在于：所述传动机构(6)包括活动块(601)，所述活动块(601)顶部的左右两侧均与挤压块(502)的表面接触，所述活动块(601)的前侧固定连接有传动杆(602)，所述活动块(601)的顶部固定连接有拉簧(603)。
4.如权利要求3所述的一种带背...
【专利技术属性】
技术研发人员：何午琳，
申请(专利权)人：惠州市拓普金属材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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