【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，特别是涉及一种传输设备。
技术介绍
1、在半导体领域的真空环境中，常常需要将晶圆从一个真空区域传输到另一个真空区域。在实践中，市面上多采用齿轮耦合的机械臂对晶圆进行传输，而耦合的齿轮可以使得机械臂被精细控制而发生运动。
2、考虑到晶圆传输在真空环境下的特殊性，齿轮耦合结构本身也存在一些弊端，例如：在机械带动过程中，齿轮啮合运动会产生一定的挤压摩擦，摩擦力会导致齿轮的磨损进而缩短了齿轮的使用寿命，挤压力最终还会传递到齿轮的中轴导致中轴产生累积形变，在累积形变积累到一定程度之后，齿轮耦合效果变差；以及，耦合的齿轮在机械带动过程中会产生反复的挤压、放松，也会造成齿轮表面被吸附的气体分子释放，而在真空环境下，气体分子的释放会导致晶圆所在的真空环境的真空度变差。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例为解决
技术介绍
中存在的至少一个问题而提供一种传输设备。
2、本申请实施例提供了一种传输设备，包括驱动侧、非接触式磁耦合组件和传输侧；
3、所述传输侧包括置物盘和两传动杆组，所述传动杆组包括主动连杆和从动连杆，两个所述主动连杆的一端枢接并被配置为绕同一轴线转动，另一端各枢接一所述从动连杆，两个所述从动连杆的另一端与所述置物盘均枢接；
4、所述驱动侧被配置为向所述磁耦合组件同步输出两个驱动力，两个所述驱动力同向或反向；
5、所述磁耦合组件被配置为传递两个所述驱动力至两个所述主动连杆，以使两个所述主动连杆绕所述轴线同向转动
6、在一可选实施方式中，所述磁耦合组件还被配置为隔离所述驱动侧与所述传输侧的工作环境。
7、在一可选实施方式中，各个所述主动连杆中两个枢接轴线的距离相同，各个所述从动连杆中两个枢接轴线的距离相同。
8、在一可选实施方式中，所述磁耦合组件包括：
9、两个沿所述轴线分布的磁耦合元件，所述磁耦合元件的旋转轴线与所述轴线共线，所述磁耦合元件包括内磁转子，两个所述内磁转子各固定连接一所述主动连杆。
10、在一可选实施方式中，所述传输侧还包括：
11、竖直设置的固定轴，所述固定轴的中心轴线为所述轴线；
12、一主动连杆的一端向下延伸形成一内套筒，所述内套筒套设在所述固定轴上，且所述内套筒的底端与靠下的磁耦合元件固连；
13、另一主动连杆的一端向下延伸形成一外套筒，所述外套筒套设在所述内套筒上，且所述外套筒的底端与靠上的磁耦合元件固连；
14、其中，所述固定轴与所述内套筒通过轴承枢接，所述内套筒与所述外套筒通过轴承枢接。
15、在一可选实施方式中，所述磁耦合元件还包括与所述内磁转子磁耦合的外磁转子，所述外磁转子与所述内磁转子面对面耦合或同轴耦合；或者，所述枢接为轴承枢接。
16、在一可选实施方式中，所述驱动侧包括驱动组件，所述驱动组件包括驱动电机和两个传动系，两个所述传动系布置相同且传递相同的负荷，
17、两个所述传动系的输入端均与所述驱动电机的输出端啮合，输出端各啮合一所述磁耦合元件，所述传动系包括蜗轮蜗杆传动机构，两个所述蜗轮蜗杆传动机构中蜗杆旋向相异。
18、在一可选实施方式中，所述磁耦合元件还包括第三齿轮和嵌设在所述第三齿轮中的外磁转子；
19、所述传动系包括第一齿轮、蜗轮蜗杆传动机构和第二齿轮，
20、所述第一齿轮与所述蜗轮蜗杆传动机构中的蜗杆共轴，并与所述驱动电机输出轴上的齿轮外啮合，
21、所述第二齿轮与所述蜗轮蜗杆传动机构中的蜗轮共轴，并与所述第三齿轮外啮合。
22、在一可选实施方式中，所述驱动侧还包括：
23、圆环状的轨道，所述轨道上滑动组设有所述驱动组件；
24、所述驱动组件被配置为可沿所述轨道移动以使两个所述第二齿轮推动两个所述第三齿轮同向转动。
25、本申请实施例所提供的传输设备，在传输设备的传输侧使用枢接的主动连杆、从动连杆的转动来对可供放置晶圆的置物盘的位置进行控制，两个主动连杆和两个从动连杆类似于置物盘的两个蛙腿，若两个主动连杆反向转动，则置物盘远离或靠近主动连杆转动的轴线，即置物盘上的晶圆可以向外伸出或向内回缩，若两个主动连杆同向转动，则置物盘上的晶圆可以绕主动连杆转动的轴线转动，在两个主动连杆的同向运动和反向运动结合下，置物盘上的晶圆可以到达设定区域中的任意位置，进而实现了晶圆从某一位置到另一位置的传输，取代真空中传输侧的齿轮机械臂结构，可以减少齿轮结构在运动中的挤压摩擦，更适用在真空环境中。
26、本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种传输设备，其特征在于，包括驱动侧、非接触式磁耦合组件和传输侧；
2.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述磁耦合组件还被配置为隔离所述驱动侧与所述传输侧的工作环境。
3.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，各个所述主动连杆中两个枢接轴线的距离相同，各个所述从动连杆中两个枢接轴线的距离相同。
4.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述磁耦合组件包括：
5.根据权利要求4所述的传输设备，其特征在于，所述传输侧还包括：
6.根据权利要求4所述的传输设备，其特征在于，所述磁耦合元件还包括与所述内磁转子磁耦合的外磁转子，所述外磁转子与所述内磁转子面对面耦合或同轴耦合；或者，所述枢接为轴承枢接。
7.根据权利要求4所述的传输设备，其特征在于，所述驱动侧包括驱动组件，所述驱动组件包括驱动电机和两个传动系，两个所述传动系布置相同且传递相同的负荷，
8.根据权利要求7所述的传输设备，其特征在于，所述磁耦合元件还包括第三齿轮和嵌设在所述第三齿轮中的外磁转子；
9.根据权利要求
...【技术特征摘要】
1.一种传输设备，其特征在于，包括驱动侧、非接触式磁耦合组件和传输侧；
2.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述磁耦合组件还被配置为隔离所述驱动侧与所述传输侧的工作环境。
3.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，各个所述主动连杆中两个枢接轴线的距离相同，各个所述从动连杆中两个枢接轴线的距离相同。
4.根据权利要求1所述的传输设备，其特征在于，所述磁耦合组件包括：
5.根据权利要求4所述的传输设备，其特征在于，所述传输侧还包括：
6.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：楼厦，王旭光，董海云，倪健，
申请(专利权)人：埃特曼半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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