【技术实现步骤摘要】
本申请涉及检测设备，特别是涉及一种样品台和x射线衍射设备。
技术介绍
1、x射线衍射(x-ray diffraction，xrd)设备是一种应用广泛的晶体结构分析设备，在半导体领域广泛应用。其可以实现单晶及多晶物质的结构、组分、质量分析。对待分析样品的形貌要求不限于粉末、薄膜、厚膜及其他样品尺寸。
2、目前，xrd设备的样品台主多用于xrd反射衍射特性的测定，对于测试样品的透射特性具有一定的局限性。而且，xrd设备中还存在由于样品台设计过于笨重，导致样品和探测器的移动角度受限的问题，在进行材料探索时，若待探测晶面超出探测器允许移动的范围，则无法实现该材料的检测。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请实施例为解决
技术介绍
中存在的至少一个问题而提供一种样品台和x射线衍射设备。
2、本公开第一方面实施例提供了一种样品台，所述样品台包括：
3、支座；
4、样品架，所述样品架包括至少两个外径不同的样品环，至少两个所述样品环依次套接，至少一个所述样品环连接...
【技术保护点】
1.一种样品台，其特征在于，所述样品台包括：
2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品环均为圆环，至少两个所述样品环的圆心重合。
3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品环具有第一空腔，所述安装位为形成在所述样品环上的吸附孔，所述吸附孔与所述第一空腔连通。
4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，所述样品台还包括：
5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述样品环能够绕所述第二连接轴的轴线转动。
6.根据权利要求1至5任一项所述的样品台，其特征在于，相邻两个所述样品环之间具有
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【技术特征摘要】
1.一种样品台，其特征在于，所述样品台包括：
2.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品环均为圆环，至少两个所述样品环的圆心重合。
3.根据权利要求1所述的样品台，其特征在于，所述样品环具有第一空腔，所述安装位为形成在所述样品环上的吸附孔，所述吸附孔与所述第一空腔连通。
4.根据权利要求3所述的样品台，其特征在于，所述样品台还包括：
5.根据权利要求4所述的样品台，其特征在于，所述样品环能够绕所述第二连接轴的轴线转动。
6.根据权利要求1至5任一项所述的样品台，其特征在于，相邻两个所述样品环之间具有间隔。...
【专利技术属性】
技术研发人员：董海云，杨露瑶，倪健，
申请(专利权)人：埃特曼半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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