【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体集成电路领域，尤其涉及导光机构及应用该导光机构的激光退火装置
技术介绍
1、激光退火装置涉及部件繁多，整体工艺复杂，重量也极重，不利于搬运运输，设备轻量化是不断追求的一个目标，现有设备还有极大的提升空间，导光机构属于激光传输系统中的一个模块，导光机构的轻量化设计还有待提高。
技术实现思路
1、本技术的第一方面公开了一种激光整形装置，包括：第一导光机构，所述第一导光机构包括第一导轨以及设置在所述第一导轨上的第一导光组件和第二导光组件，所述第一导轨底部向上凹陷形成沟槽。
2、可选的，所述第一导光组件包括第一导光支架底座，第一高度调节装置，第一导光支架本体，所述第一导光支架底座可滑动的安装在所述第一导轨上，第一高度调节装置固定安装在所述第一导光支架底座上。
3、可选的，所述第一导光支架底座侧部设有底座安装孔，所述底座安装孔安装有水平限位装置，所述水平限位装置用于将所述第一导光组件可解除的固定安装在所述第一导轨上。
4、可选的，所述第一导光支架底座一侧设有卡爪，所述卡爪与所述第一导轨配合可用于防止第一导光组件从第一导轨上松脱。
5、可选的，所述第一导光支架底座相对所述卡爪的另一侧向下延伸设有连接板，所述连接板设有所述底座安装孔。
6、可选的，所述第一导轨沿着所述竖直方向设有通孔，所述通孔为圆形通孔或者长条形通孔。
7、可选的，所述沟槽沿着第一导轨长度方向贯通。
8、可选的，所述沟槽设有至少两
9、可选的，所述沟槽设有偶数个，且关于所述通孔的中轴线对称设置。
10、本技术的第二方面公开了一种激光退火装置，所述激光退火装置包括上述任一导光机构。
11、有益效果：本技术的导光机构设有第一导轨，在第一导轨的底部设有沟槽，所述沟槽有效减轻了第一导轨的重量，进而减轻了导光机构的重量。
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1.一种导光机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光组件包括第一导光支架底座，第一高度调节装置，第一导光支架本体，所述第一导光支架底座可滑动的安装在所述第一导轨上，所述第一高度调节装置固定安装在所述第一导光支架底座上。
3.如权利要求2所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光支架底座一侧设有卡爪，所述卡爪与所述第一导轨配合可用于防止第一导光组件从第一导轨上松脱。
4.如权利要求2所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光支架底座侧部设有底座安装孔，所述底座安装孔安装有水平限位装置，所述水平限位装置用于将所述第一导光组件可解除的固定安装在所述第一导轨上。
5.如权利要求3所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光支架底座相对所述卡爪的另一侧向下延伸设有连接板，所述连接板设有底座安装孔。
6.如权利要求1所述的导光机构，其特征在于，所述第一导轨沿着竖直方向设有通孔，所述通孔为圆形通孔或者长条形通孔。
7.如权利要求5所述的导光机构，其特征在于，所述沟槽沿着第一导轨长度方向贯通
8.如权利要求5所述的导光机构，其特征在于，所述沟槽设有至少两个。
9.如权利要求6所述的导光机构，其特征在于，所述沟槽设有偶数个，且关于所述通孔的中轴线对称设置。
10.一种激光退火装置，其特征在于：包括如权利要求1-9任一所述的导光机构。
...【技术特征摘要】
1.一种导光机构，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光组件包括第一导光支架底座，第一高度调节装置，第一导光支架本体，所述第一导光支架底座可滑动的安装在所述第一导轨上，所述第一高度调节装置固定安装在所述第一导光支架底座上。
3.如权利要求2所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光支架底座一侧设有卡爪，所述卡爪与所述第一导轨配合可用于防止第一导光组件从第一导轨上松脱。
4.如权利要求2所述的导光机构，其特征在于，所述第一导光支架底座侧部设有底座安装孔，所述底座安装孔安装有水平限位装置，所述水平限位装置用于将所述第一导光组件可解除的固定安装在所述第一导轨上。
【专利技术属性】
技术研发人员：王涛，
申请(专利权)人：瑶光半导体浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：
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