下载导光机构及应用该导光机构的激光退火装置的技术资料

文档序号:40921237

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本技术公开了一种导光机构,包括:第一导光机构,所述第一导光机构包括第一导轨以及设置在所述第一导轨上的第一导光组件和第二导光组件,所述第一导轨底部向上凹陷形成沟槽。通过沟槽的设计有效减轻了导光机构的重量,本技术还提供了一种应用该导光机构的激光...
该专利属于瑶光半导体(浙江)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过瑶光半导体(浙江)有限公司授权不得商用。

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