风阀组件及测试设备制造技术

技术编号:40909254 阅读:4 留言:0更新日期:2024-04-18 14:38
本申请涉及一种风阀组件,安装于循环风道处,风阀组件包括安装板、第一挡板及第二挡板。安装板贯穿开设有第一开口和第二开口,第一开口和第二开口均连通循环风道与循环风道的外部。第一挡板和第二挡板,均活动连接于安装板,且第一挡板可受控地打开或关闭第一开口,第二挡板可受控地打开或关闭第二开口。在需要进行换气时,控制第一挡板和第二挡板分别打开第一开口和第二开口,以将循环风道与外部连通。同时第一挡板和第二挡板中的至少一者将第一开口和第二开口之间的循环风道分隔开来,使得外部气体进入循环风道,内部气体集中排出以便收集和处理。实现对循环风道及测试腔的气体进行更换,避免异味气体扩散至车间内。本申请还涉及一种测试设备。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及测试设备,特别是涉及一种风阀组件及测试设备


技术介绍

1、在芯片老化测试的过程中,为了保证风冷效果,整个老化测试腔为密封环境。芯片升温老化过程中,芯片会释放出异味气体。随着跑机时间延长,异味气体会在循环风道内大量积压。同时,在跑机完成后,测试腔被打开,异味气体会扩散至车间内,影响车间内的气体环境。


技术实现思路

1、基于此,有必要针对现有的老化测试产生的异味气体会扩散至车间的问题,提供一种能够将异味气体集中排出以便收集和处理的风阀组件及测试设备。

2、第一方面,本申请公开一种风阀组件,安装于循环风道处,所述风阀组件包括:

3、安装板,贯穿开设有第一开口和第二开口,所述第一开口和第二开口均连通所述循环风道与所述循环风道的外部,所述第一开口和所述第二开口的其中一者用于排气,其中另一者用于进气;及

4、第一挡板和第二挡板,均活动连接于所述安装板,且所述第一挡板可受控地打开或关闭所述第一开口,所述第二挡板可受控地打开或关闭所述第二开口;

5、其中,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者活动的过程中能够分隔或导通所述第一开口和所述第二开口之间的循环风道,且当所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者分隔所述第一开口和所述第二开口之间的循环风道时,对应的开口被打开。

6、采用上述的风阀组件,在需要进行换气时,控制第一挡板和第二挡板分别打开第一开口和第二开口,以将循环风道与外部连通。同时第一挡板和第二挡板中的至少一者将第一开口和第二开口之间的循环风道分隔开来,使得外部气体从第一开口和第二开口的其中一个进入循环风道,内部气体从第一开口和第二开口的其中另一者排出。如此,可实现对循环风道及测试腔的气体进行更换,将异味气体集中排出以便收集和处理,避免异味气体扩散至车间内,保护车间内的气体环境。

7、在其中一个实施例中,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者以转动方式活动,且所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者转动的过程中能够分隔或导通所述第一开口和所述第二开口之间的循环风道。

8、在其中一个实施例中,所述风阀组件还包括支撑结构及旋转轴,所述支撑结构设置于所述安装板,所述旋转轴可转动地支撑于所述支撑结构上,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者与所述旋转轴固定连接。

9、在其中一个实施例中,所述风阀组件还包括旋转驱动件,所述旋转驱动件设置于所述安装板,且与所述旋转轴传动连接。

10、在其中一个实施例中,所述第一挡板和所述第二挡板相对固定,以使第一挡板和第二挡板同时打开或关闭对应的开口。

11、在其中一个实施例中,所述风阀组件还包括密封结构,所述密封结构设置于所述第一挡板和所述第二挡板,或者所述密封结构设置于所述第一开口处和所述第二开口处;

12、当所述第一挡板和所述第二挡板分别关闭所诉第一开口和所述第二开口时,所述密封结构夹持于所述第一挡板和所述安装板以及所述第二挡板和所述安装板之间。

13、在其中一个实施例中,所述风阀组件还包括控温器,所述控温器设置于所述安装板,用于调节进气的温度。

14、在其中一个实施例中,所述控温器为换热器,所述换热器能够吸入排气,以利用排气与进气的温度差对进气进行非直接接触下的换热。

15、在其中一个实施例中,所述风阀组件还包括转接管道,所述转接管道安装于所述安装板,且所述转接管道开设有第一连通通道和第二连通通道,所述第一连通通道与所述第一开口连通,所述第二连通通道与所述第二开口连通,所述第一连通通道和所述第二连通通道的其中一者用于排气,其中另一者用于进气。

16、第二方面,本申请还公开一种测试设备,包括循环风道及上述的风阀组件。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种风阀组件,安装于循环风道处,其特征在于,所述风阀组件包括:

2.根据权利要求1所述风阀组件,其特征在于,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者以转动方式活动,且所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者转动的过程中能够分隔或导通所述第一开口和所述第二开口之间的循环风道。

3.根据权利要求2所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括支撑结构及旋转轴,所述支撑结构设置于所述安装板,所述旋转轴可转动地支撑于所述支撑结构上,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者与所述旋转轴固定连接。

4.根据权利要求3所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括旋转驱动件,所述旋转驱动件设置于所述安装板,且与所述旋转轴传动连接。

5.根据权利要求1所述的风阀组件,其特征在于,所述第一挡板和所述第二挡板相对固定,以使所述第一挡板和所述第二挡板同时打开或关闭对应的开口。

6.根据权利要求1-5任一项所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括密封结构,所述密封结构设置于所述第一挡板和所述第二挡板,或者所述密封结构设置于所述第一开口处和所述第二开口处;

7.根据权利要求1-5任一项所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括控温器,所述控温器设置于所述安装板,用于调节进气的温度。

8.根据权利要求7所述的风阀组件,其特征在于,所述控温器为换热器,所述换热器能够吸入排气,以利用排气与进气的温度差对进气进行非直接接触下的换热。

9.根据权利要求1-5任一项所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括转接管道,所述转接管道安装于所述安装板,且所述转接管道开设有第一连通通道和第二连通通道,所述第一连通通道与所述第一开口连通,所述第二连通通道与所述第二开口连通,所述第一连通通道和所述第二连通通道的其中一者用于排气,其中另一者用于进气。

10.一种测试设备,其特征在于,包括循环风道及权利要求1-9任一项所述的风阀组件。

...

【技术特征摘要】

1.一种风阀组件,安装于循环风道处,其特征在于,所述风阀组件包括:

2.根据权利要求1所述风阀组件,其特征在于,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者以转动方式活动,且所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者转动的过程中能够分隔或导通所述第一开口和所述第二开口之间的循环风道。

3.根据权利要求2所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括支撑结构及旋转轴,所述支撑结构设置于所述安装板,所述旋转轴可转动地支撑于所述支撑结构上,所述第一挡板和所述第二挡板中的至少一者与所述旋转轴固定连接。

4.根据权利要求3所述的风阀组件,其特征在于,所述风阀组件还包括旋转驱动件,所述旋转驱动件设置于所述安装板,且与所述旋转轴传动连接。

5.根据权利要求1所述的风阀组件,其特征在于,所述第一挡板和所述第二挡板相对固定,以使所述第一挡板和所述第二挡板同时打开或关闭对应的开口。

6.根据权利要求1-5任一项所述的风阀组...

【专利技术属性】
技术研发人员:姚金广祁鹏鹏徐传松
申请(专利权)人:杭州长川科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1