【技术实现步骤摘要】
本技术属于加热管，尤其涉及化学品在线浸没式石英加热管。
技术介绍
1、现代半导体晶圆生产过程中湿法清洗工艺的化学应用设备在工艺槽体配置，化学品种类选择，最佳清洗效果的温度设定，都需要根据现场需求进行调整。一些特殊的化学品变现出强酸性或者强碱性，比如磷酸，sc1（氨水和双氧水混合液）而温度控制系统是有滞后性特点的控制系统，带有强酸性和强碱性的化学品在达到工艺温度之前，会先对设备管道系统造成早期的影响。
2、经研究发现部分特殊酸液不能快速升温，特殊酸液不能直接升温，管道及加热器布置复杂，对设备及工艺的影响大。
技术实现思路
1、本技术实施例的目的在于提供化学品在线浸没式石英加热管，旨在解决
技术介绍
中存在的问题。
2、本技术实施例是这样实现的，化学品在线浸没式石英加热管，包括：
3、槽体，所述槽体固定连接有加热管，所述加热管的加热区位于所述槽体液位以下；
4、插头，所述插头与所述加热管插接，所述插头电连接有电源，所述插头连通有气泵。
5、作为本技术进一步的方案，所述加热管包括z型管、加热灯丝、电源线一、插座和固定头，所述z型管与所述槽体固定连接，所述z型管与所述加热灯丝固定连接，所述加热灯丝与所述电源线固定连接，所述电源线与所述插座固定连接，所述插座与所述固定头固定连接，所述固定头与所述z型管固定连接，所述插座与所述插头插接。
6、作为本技术进一步的方案，所述插座固定连接有导气管一，所述插头包括连接头、电源线二和导气
7、作为本技术进一步的方案，所述导气管一和导气管二均采用1/4英寸pfa管制成。
8、作为本技术进一步的方案，所述z型管采用半导体级高纯石英管制成，所述z型管壁厚2mm，所述固定头采用耐高温陶瓷制成。
9、作为本技术进一步的方案，所述固定头固定连接有密封圈。
10、作为本技术进一步的方案，所述电源线一固定连接有陶瓷环若干。
11、作为本技术进一步的方案，所述陶瓷环长10mm，内径3.5mm，外径5mm。
12、作为本技术进一步的方案，所述槽体固定连接有安装座一，所述安装座一通过螺丝装配式连接有安装座二，所述安装座一和安装座二均为u型。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果是：加热管的加热区位于所述槽体液位以下，有利于充分利用加热管的热量，气泵通过插头将惰性气体氮气冲入加热管中，防止了金属线路的氧化，延长加热管的使用寿命，加热管在槽体内为化学液体加热，通过加热管间接为化学液体加热，具有加热效果好、加热速度快和加热管使用寿命长的优点。
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1.化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，所述加热管包括Z型管、加热灯丝、电源线一、插座和固定头，所述Z型管与所述槽体固定连接，所述Z型管与所述加热灯丝固定连接，所述加热灯丝与所述电源线固定连接，所述电源线与所述插座固定连接，所述插座与所述固定头固定连接，所述固定头与所述Z型管固定连接，所述插座与所述插头插接。
3.根据权利要求2所述的化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，所述插座固定连接有导气管一，所述插头包括连接头、电源线二和导气管二，所述连接头与所述插座插接，所述连接头与所述电源线二固定连接，所述电源线二电连接有电源，所述连接头与所述导气管二固定连接，所述导气管二连通有气泵。
4.根据权利要求3所述的化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，所述导气管一和导气管二均采用1/4英寸PFA管制成。
5.根据权利要求2所述的化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，所述Z型管采用半导体级高纯石英管制成，所述Z型管壁厚2mm，所述固定头采用耐高温陶瓷制成。
...【技术特征摘要】
1.化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，所述加热管包括z型管、加热灯丝、电源线一、插座和固定头，所述z型管与所述槽体固定连接，所述z型管与所述加热灯丝固定连接，所述加热灯丝与所述电源线固定连接，所述电源线与所述插座固定连接，所述插座与所述固定头固定连接，所述固定头与所述z型管固定连接，所述插座与所述插头插接。
3.根据权利要求2所述的化学品在线浸没式石英加热管，其特征在于，所述插座固定连接有导气管一，所述插头包括连接头、电源线二和导气管二，所述连接头与所述插座插接，所述连接头与所述电源线二固定连接，所述电源线二电连接有电源，所述连接头与所述导气管二固定连接，所述导气管二连通有气泵。
4.根据权利要求3所述的化学品在线浸没式石英加热管，其...
【专利技术属性】
技术研发人员：董锐，张海峰，王军，
申请(专利权)人：上海矽皓精密设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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