【技术实现步骤摘要】
本技术属于加热设备，尤其涉及新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置。
技术介绍
1、通常化学品在线加热器在半导体设备中应用，只有流体加热部分；加热器内部的红外灯管的启动停止由工艺设备机器即上位机驱动，一般使用大功率固态继电器，scr（晶闸管）作为控制部件；由设备内部提供安装功率部件及辅助电气部件的空间，电源线缆及常规的过温监测信号线从工艺设备内部连接到在线加热器上接线端；温度传感器（pt100）则独立于化学品在线加热器，直接从化学品槽体连接到控制槽体温度的温度控制器或中央控制器的温度单元。
2、现有的控制器控温时的稳定性差，波动性大，不利于化学品在工艺中的使用。
技术实现思路
1、本技术实施例的目的在于提供新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，旨在解决现有的控制器控温时的稳定性差，波动性大，不利于化学品在工艺中的使用的问题。
2、本技术实施例是这样实现的，一种新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，所述装置包括：中央控制器、功率调节单元和电源组件，所述中央控制器同时与功率调节单元和电源组件电性连接，所述功率调节单元与加热器单元电性连接。
3、优选的，所述中央控制器包括运行温度采样单元、保护温度采样单元、急停信号输入单元、无液空烧保护单元、液温过温保护单元、框体过温保护单元和漏液检知信号单元。
4、优选的，所述电源组件包括ac电源输入单元和辅助电源单元，所述辅助电源单元与中央控制器电性连接，所述ac电源输入单元同时与辅助电源单元和中央
5、优选的，所述中央控制器还连接有触摸屏。
6、优选的，所述中央控制器通过通信接口与外部设备进行数据交互。
7、本技术实施例提供的一种新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，能够满足随着工艺的调整，可以更加便捷的升级不同功率等级的在线加热器，不需要串行或并行多台低功率在线加热器，节省成本并降低安全风险，扩展性强；在应用功能上优化，增加安全保护，增加通信功能，节省工艺设备端的空间；控制器本体作模块化设计，集成度高，现场放置空间可调整；功能划分清晰，控制器与加热器之间，控制器与工艺设备之间的连接更加便捷，现场布线少。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述装置包括：中央控制器、功率调节单元和电源组件，所述中央控制器同时与功率调节单元和电源组件电性连接，所述功率调节单元与加热器单元电性连接。
2.根据权利要求1所述的新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述中央控制器包括运行温度采样单元、保护温度采样单元、急停信号输入单元、无液空烧保护单元、液温过温保护单元、框体过温保护单元和漏液检知信号单元。
3.根据权利要求2所述的新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述电源组件包括AC电源输入单元和辅助电源单元，所述辅助电源单元与中央控制器电性连接，所述AC电源输入单元同时与辅助电源单元和功率调节单元电性连接。
4.根据权利要求1所述的新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述中央控制器还连接有触摸屏。
5.根据权利要求1所述的新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述中央控制器通过通信接口与外部设备进行数据交互。
【技术特征摘要】
1.一种新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述装置包括：中央控制器、功率调节单元和电源组件，所述中央控制器同时与功率调节单元和电源组件电性连接，所述功率调节单元与加热器单元电性连接。
2.根据权利要求1所述的新型高腐蚀性化学品在线石英加热器用装置，其特征在于，所述中央控制器包括运行温度采样单元、保护温度采样单元、急停信号输入单元、无液空烧保护单元、液温过温保护单元、框体过温保护单元和漏液检知信号单元。
3.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员：董锐，张海峰，楚兆俊，
申请(专利权)人：上海矽皓精密设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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