【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体加工，具体涉及一种全自动硅片转动装置。
技术介绍
1、硅片作为半导体行业最为基础的材料，其加工工序多且复杂，在进行硅片加工的过程中，需要将硅片转动一定角度后进行下一步操作，若是通过人工来实现，则效率低下，虽然现有技术已经有通过视觉机构识别硅片的技术，但一般是用在光刻机上，目前没有配套视觉识别使用的硅片转动装置。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题。为此，本技术目的在于提供一种全自动硅片转动装置。
2、本技术所采用的技术方案为：
3、一种全自动硅片转动装置，包括机架，机架上安装有平台，平台上设有第一直线移动机构，第一直线移动机构的自由端上设有第二直线移动机构，第一直线移动机构和第二直线移动机构互相垂直设置；第二直线移动机构的自由端上设有升降旋转机构，升降旋转机构上设有视觉机构和抓取机构，平台上设有第一工件盘和第二工件盘，第一工件盘和第二工件盘均设于抓取机构的下方。
4、优选地，所述升降旋转机构包括安装轴、用于驱动安...
【技术保护点】
1.一种全自动硅片转动装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上安装有平台(2)，平台(2)上设有第一直线移动机构(3)，第一直线移动机构(3)的自由端上设有第二直线移动机构(4)，第一直线移动机构(3)和第二直线移动机构(4)互相垂直设置；第二直线移动机构(4)的自由端上设有升降旋转机构(5)，升降旋转机构(5)上设有视觉机构(6)和抓取机构(7)，平台(2)上设有第一工件盘(8)和第二工件盘(9)，第一工件盘(8)和第二工件盘(9)均设于抓取机构(7)的下方。
2.根据权利要求1所述的全自动硅片转动装置，其特征在于：所述升降旋转机构(5)包括安装轴...
【技术特征摘要】
1.一种全自动硅片转动装置，其特征在于：包括机架(1)，机架(1)上安装有平台(2)，平台(2)上设有第一直线移动机构(3)，第一直线移动机构(3)的自由端上设有第二直线移动机构(4)，第一直线移动机构(3)和第二直线移动机构(4)互相垂直设置；第二直线移动机构(4)的自由端上设有升降旋转机构(5)，升降旋转机构(5)上设有视觉机构(6)和抓取机构(7)，平台(2)上设有第一工件盘(8)和第二工件盘(9)，第一工件盘(8)和第二工件盘(9)均设于抓取机构(7)的下方。
2.根据权利要求1所述的全自动硅片转动装置，其特征在于：所述升降旋转机构(5)包括安装轴(10)、用于驱动安...
【专利技术属性】
技术研发人员：张其文，扶小莲，刘阳波，陈正洪，
申请(专利权)人：四川鸿源鼎芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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