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本技术属于半导体加工技术领域，公开了一种全自动硅片转动装置，包括机架，机架上安装有平台，平台上设有第一直线移动机构，第一直线移动机构的自由端上设有第二直线移动机构；第二直线移动机构的自由端上设有升降旋转机构，升降旋转机构上设有视觉机构和抓取...
该专利属于四川鸿源鼎芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川鸿源鼎芯科技有限公司授权不得商用。

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