【技术实现步骤摘要】
本技术属于光刻机，具体涉及一种升降调平装置。
技术介绍
1、光刻机作为集成电路的核心制造装备，其生产过程中的制造精度是保障芯片成品率的关键。光刻机工件台调平系统是光刻机的重要组成部件，其调平精度将直接影响到芯片成品率。目前，国内光刻机目前配置的调平机构，大多采用传统的半球碗调平技术，由于凸凹两个半球碗相对运动摩擦力大，磨损快，不能保证调平的一致性。
技术实现思路
1、本技术旨在至少在一定程度上解决上述技术问题。为此，本技术目的在于提供一种用于光刻机的升降调平装置。
2、本技术所采用的技术方案为：
3、一种升降调平装置，包括底座，底座上均布有三个升降单元，每个升降单元的一侧设有一根拉杆，拉杆的下端安装在底座上，升降单元的上端与浮动板的下端接触，浮动板与拉簧的上端相连，拉簧的下端与拉杆的上端相连；底座的中心设有定位筒，定位筒的上端与弹簧片相连，弹簧片与浮动板相连。
4、优选地，所述定位筒的上端安装有压板，弹簧片位于定位筒的上端和压板之间，固定螺丝依次穿设于压板、弹簧片和定位筒。所述弹簧片为圆形结构或圆环形结构，定位筒与弹簧片的中心部分相连，弹簧片的边沿与浮动板相连。
5、优选地，所述浮动板的侧面设有固定销，拉簧的上端套设在固定销上。所述拉杆的上端设有固定孔，拉簧的下端安装在固定孔内。
6、优选地，所述浮动板上设有过渡盘，过渡盘上安装有工件盘。
7、本技术的有益效果为：
8、本技术所提供的升降调平装置，采
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1.一种升降调平装置，其特征在于：包括底座(1)，底座(1)上均布有三个升降单元(2)，每个升降单元(2)的一侧设有一根拉杆(3)，拉杆(3)的下端安装在底座(1)上，升降单元(2)的上端与浮动板(4)的下端接触，浮动板(4)与拉簧(5)的上端相连，拉簧(5)的下端与拉杆(3)的上端相连；底座(1)的中心设有定位筒(6)，定位筒(6)的上端与弹簧片(7)相连，弹簧片(7)与浮动板(4)相连。
2.根据权利要求1所述的升降调平装置，其特征在于：所述定位筒(6)的上端安装有压板(8)，弹簧片(7)位于定位筒(6)的上端和压板(8)之间，固定螺丝依次穿设于压板(8)、弹簧片(7)和定位筒(6)。
3.根据权利要求2所述的升降调平装置，其特征在于：所述弹簧片(7)为圆形结构或圆环形结构，定位筒(6)与弹簧片(7)的中心部分相连，弹簧片(7)的边沿与浮动板(4)相连。
4.根据权利要求1所述的升降调平装置，其特征在于：所述浮动板(4)的侧面设有固定销(9)，拉簧(5)的上端套设在固定销(9)上。
5.根据权利要求1或4所述的升降调平装置，其特
6.根据权利要求1所述的升降调平装置，其特征在于：所述浮动板(4)上设有过渡盘(10)，过渡盘(10)上安装有工件盘(11)。
7.根据权利要求1所述的升降调平装置，其特征在于：三个升降单元(2)圆周均布于定位筒(6)的外围。
8.根据权利要求1所述的升降调平装置，其特征在于：所述升降单元(2)包括伺服电机。
...【技术特征摘要】
1.一种升降调平装置，其特征在于：包括底座(1)，底座(1)上均布有三个升降单元(2)，每个升降单元(2)的一侧设有一根拉杆(3)，拉杆(3)的下端安装在底座(1)上，升降单元(2)的上端与浮动板(4)的下端接触，浮动板(4)与拉簧(5)的上端相连，拉簧(5)的下端与拉杆(3)的上端相连；底座(1)的中心设有定位筒(6)，定位筒(6)的上端与弹簧片(7)相连，弹簧片(7)与浮动板(4)相连。
2.根据权利要求1所述的升降调平装置，其特征在于：所述定位筒(6)的上端安装有压板(8)，弹簧片(7)位于定位筒(6)的上端和压板(8)之间，固定螺丝依次穿设于压板(8)、弹簧片(7)和定位筒(6)。
3.根据权利要求2所述的升降调平装置，其特征在于：所述弹簧片(7)为圆形结构或圆环形结...
【专利技术属性】
技术研发人员：张其文，扶小莲，刘阳波，陈正洪，
申请(专利权)人：四川鸿源鼎芯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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