【技术实现步骤摘要】
本申请涉及图形扫描填充，特别是涉及一种电子束扫描的控制方法、装置、设备、介质和程序产品。
技术介绍
1、随着曝光技术的高速发展，越来越多的矢量图形扫描填充算法应用在电子束曝光机中。
2、目前，主要由上位机根据矢量图形扫描填充算法根据版图生成扫描填充文件，再将扫描填充文件传输到波形发生器，由波形发生器根据扫描填充文件进行扫描。
3、但是，采用上述方式需要同时占用上位机和波形发生器的计算、传输和存储资源，尤其是在版图规模较大或者扫描填充文件较大时，容易出现曝光的工作效率过低的问题。
技术实现思路
1、基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种电子束扫描的控制方法、装置、设备、介质和程序产品。
2、第一方面，本申请提供了一种电子束扫描的控制方法。该方法包括：
3、基于目标版图获取扫描数据序列；扫描数据序列由多个预设图形的描述数据按照扫描时序组成；
4、根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列；扫描填充信号序列包括与各预设图形对应的扫描填充信号；
5、根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。
6、在其中一个实施例中，上述根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列，包括：
7、对于扫描数据序列的各预设图形，根据描述数据确定多个扫描行的行信息；
8、根据描述数据和各扫描行的行信息，确定各扫描行中扫描点的点信息；
9、根据描述数据中的扫描停留时长和点信息进行扫描点填充处理，
10、在其中一个实施例中，上述根据描述数据中的扫描停留时长和点信息进行扫描点填充处理，得到预设图形对应的扫描填充信号，包括：
11、根据扫描数据中的扫描停留时长和预设单位时长，确定各扫描点的时长计数；
12、根据点信息对各扫描点进行时长计数的填充处理，得到预设图形对应的扫描填充信号。
13、在其中一个实施例中，上述根据点信息对各扫描点进行时长计数的填充处理，得到预设图形对应的扫描填充信号，包括：
14、对于各扫描行，根据点信息对扫描行中的各扫描点进行时长计数的填充处理；
15、若已填充处理的扫描点数量与扫描行中的总扫描点数量匹配，则进行下一扫描行的填充处理；
16、若已填充的扫描行数量与总扫描行数量匹配，则得到预设图形对应的扫描填充信号。
17、在其中一个实施例中，上述根据描述数据确定多个扫描行的行信息，包括：
18、根据起始行位置、终止行位置和行间距，确定扫描行的数量；
19、根据起始行位置、终止行位置、扫描行的数量、行起始点连线斜率和行终止点连线斜率，确定除起始行和终止行之外的各扫描行的位置。
20、在其中一个实施例中，上述根据描述数据和各扫描行的行信息，确定各扫描行中扫描点的点信息，包括：
21、对于首行，根据首行的起始点位置、首行的终止点位置和点间距，确定首行中的扫描点的数量以及各扫描点的位置；
22、对于非首行，根据扫描行的行信息和点间距，确定扫描行中的扫描点的数量以及各扫描点的位置。
23、在其中一个实施例中，上述基于目标版图获取扫描数据序列，包括：
24、根据预设图形对目标版图进行分割处理，得到多个描述数据；
25、将多个描述数据按照扫描时序排列，得到扫描数据序列。
26、在其中一个实施例中，上述根据扫描填充信号序列控制电子束进行目标版图的扫描处理，包括：
27、对于扫描填充信号序列中的各扫描填充信号，根据扫描填充信号生成各扫描点的标量信号；
28、根据各扫描点的标量信号输出电子束的控制信号，控制电子束进行目标版图的扫描处理。
29、第二方面，本申请还提供了一种电子束扫描的控制装置。该装置包括：
30、获取模块，用于基于目标版图获取扫描数据序列；扫描数据序列由多个预设图形的描述数据按照扫描时序组成；
31、生成模块，用于根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列；扫描填充信号序列包括与各预设图形对应的扫描填充信号；
32、处理模块，用于根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。
33、第三方面，本申请还提供了一种电子设备。电子设备包括存储器和处理器，存储器存储有计算机程序，处理器执行计算机程序时实现以下步骤：
34、基于目标版图获取扫描数据序列；扫描数据序列由多个预设图形的描述数据按照扫描时序组成；
35、根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列；扫描填充信号序列包括与各预设图形对应的扫描填充信号；
36、根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。
37、第四方面，本申请还提供了一种计算机可读存储介质。计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
38、基于目标版图获取扫描数据序列；扫描数据序列由多个预设图形的描述数据按照扫描时序组成；
39、根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列；扫描填充信号序列包括与各预设图形对应的扫描填充信号；
40、根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。
41、第五方面，本申请还提供了一种计算机程序产品。计算机程序产品，包括计算机程序，该计算机程序被处理器执行时实现以下步骤：
42、基于目标版图获取扫描数据序列；扫描数据序列由多个预设图形的描述数据按照扫描时序组成；
43、根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列；扫描填充信号序列包括与各预设图形对应的扫描填充信号；
44、根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。
45、上述电子束扫描的控制方法、装置、设备、介质和程序产品，先基于目标版图获取扫描数据序列，然后根据扫描数据序列生成扫描填充信号序列，最后根据扫描填充信号序列，控制电子束进行目标版图的扫描处理。通过本申请实施例，形成了一种新的扫描填充方式，与现有的填充方式相比，本申请实施例中生成的扫描数据序列数据量较小，便于传输、存储以及扫描信号的填充处理，因此可以极大地提高曝光的工作效率。
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1.一种电子束扫描的控制方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述扫描数据序列生成扫描填充信号序列，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述扫描数据包括起始行位置、终止行位置、行间距、行起始点连线斜率、行终止点连线斜率、首行的起始点位置、首行的终止点位置、各所述扫描行中的点间距和所述扫描停留时长；所述行信息包括所述扫描行的数量和各所述扫描行的位置；所述点信息包括各所述扫描行中扫描点的数量和各所述扫描点的位置。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述描述数据中的扫描停留时长和所述点信息进行扫描点填充处理，得到所述预设图形对应的扫描填充信号，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述点信息对各所述扫描点进行所述时长计数的填充处理，得到所述预设图形对应的扫描填充信号，包括：
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述描述数据确定多个扫描行的行信息，包括：
7.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述
8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述基于目标版图获取扫描数据序列，包括：
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据所述扫描填充信号序列控制电子束进行所述目标版图的扫描处理，包括：
10.一种电子束扫描的控制装置，其特征在于，所述装置包括：
11.一种电子设备，包括存储器和处理器，所述存储器存储有计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现权利要求1至9中任一项所述的方法的步骤。
12.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至9中任一项所述的方法的步骤。
13.一种计算机程序产品，包括计算机程序，其特征在于，该计算机程序被处理器执行时实现权利要求1至9中任一项所述的方法的步骤。
...【技术特征摘要】
1.一种电子束扫描的控制方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述扫描数据序列生成扫描填充信号序列，包括：
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述扫描数据包括起始行位置、终止行位置、行间距、行起始点连线斜率、行终止点连线斜率、首行的起始点位置、首行的终止点位置、各所述扫描行中的点间距和所述扫描停留时长；所述行信息包括所述扫描行的数量和各所述扫描行的位置；所述点信息包括各所述扫描行中扫描点的数量和各所述扫描点的位置。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述描述数据中的扫描停留时长和所述点信息进行扫描点填充处理，得到所述预设图形对应的扫描填充信号，包括：
5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述根据所述点信息对各所述扫描点进行所述时长计数的填充处理，得到所述预设图形对应的扫描填充信号，包括：
6.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述描述数据确定多个扫描...
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