【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，特别是涉及应用于炉管领域的一种提升硼扩散炉管寿命的方法。
技术介绍
1、常压硼扩散预沉积过程中，由于反应产物b2o3的沸点在1600℃以上，扩散过程中始终处于液态，只能以大量氮气稀释分散分布到硅片表面，扩散均匀性难于控制。反应产物b与b2o3对石英器件的腐蚀严重，在恒温区外快速冷却凝固，易造成尾管堵塞，引起常压扩散石英炉门与石英炉管的粘连，维护成本高。
2、为解决上述问题，中国专利cn103194801b公开了《硼扩散炉管尾气处理方法及处理设备》，在该说明书中公开了通过携水气体的通入，从而使硼尾气溶解于携水气体并随携水气体一起排放，可以有效避免硼尾气中的硼氧化物和硼硅玻璃对尾气管的阻塞，进而达到提高硼扩散炉管尾气处理速度的效果，减少相同时间内对硼扩散炉管尾气处理部分的维护清洗次数，提高炉管寿命。
3、然而在此过程中，携水气体在输送过程中，由于硼尾气的溶解以及在移动过程中的液化等，导致携水气体中的含水量会有所损失，在对硼尾气处理过程中，存在因含水量变少，导致部分硼尾气仍然存在在恒温区外凝固的问题，仍然存在导致尾气管堵塞的问题。
技术实现思路
1、针对上述现有技术，本专利技术要解决的技术问题是在对尾气处理过程中携水气体存在损耗，容易出现硼尾气不能充分溶于携水气体，导致尾气管仍然存在堵塞的问题。
2、为解决上述问题，本专利技术提供了一种提升硼扩散炉管寿命的方法，包括以下步骤：
3、s1、首先将炉
4、s2、向尾气管中通入携水气体，使得尾气管中的硼尾气溶解于携水气体中并与携水气体一起排出尾气管，并进入到残液罐内，其中硼扩散尾气中的物质在残液罐中慢慢沉淀下来；
5、s3、通过水补偿管组对尾气管内的携水气体和硼尾气的混合气体进行自动实时取样检测含水量，当含水量低于湿度传感器的输入阈值时，通过水补偿管组对携水气体进行补偿，实现含水量进行补偿，然后使硼尾气与携水气体一同朝向残液罐移动；
6、s4、进行后处理步骤，后处理步骤包括：继续向尾气管中通入携水气体，当硼尾气全部处理完毕之后，停止向尾气管通入携水气体，再对炉管进行降温处理；最后对硼扩散炉管尾气处理方法用到的设备进行净化处理；
7、尾气处理设备包括密封水槽和残液罐，密封水槽内盛放有水，尾气管连接在炉管的炉尾和残液罐之间，密封水槽上端分别安装有进气管和气体入口管，炉管的炉口和气体入口管之间连接有炉口出气管，炉口出气管上安装有抽气泵，炉口出气管靠近气体入口管的端部与尾气管之间安装有水补偿管组，水补偿管组与残液罐之间连接有排气管，水补偿管组包括与炉口出气管连接并相通的导气管、固定连接在导气管上端的取样横管以及固定连接在取样横管与尾气管之间的取样竖管和多个补偿管，取样横管内部安装有湿度传感器，导气管上同样安装有抽气泵，取样竖管上安装有单向阀，导气管和排气管上分别安装有补偿电磁阀和排气电磁阀，且二者不同时开启。
8、在上述提升硼扩散炉管寿命的方法中，通过水补偿管组的作用，可对硼尾气中的含水量进行监测，并及时进行携水气体补偿，进而有效保证硼氧化物和硼硅玻璃充分被水带走，有效保证尾气管不易被堵塞，进而达到提高硼扩散炉管尾气处理速度的效果，减少相同时间内对硼扩散炉管尾气处理部分的维护清洗次数，提高炉管寿命。
9、作为本申请的进一步改进，携水气体为携水的惰性气体，惰性气体为氮气，携水气体通过将惰性气体充入至水中，而后从水中排出后得到的气体即为携水气体。
10、作为本申请的进一步改进，气体入口管为不与携水气体以及硼尾气反应的材料制成，进气管和气体入口管的端部均延伸至密封水槽内，且进气管的端部位于密封水槽内液面以下，气体入口管位于密封水槽内液面上方。
11、作为本申请的又一种改进，步骤s3中，当对携水气体和硼尾气的混合气体进行取样时，补偿电磁阀处于关闭状态、排气电磁阀处于开启状态，且排气管的内径大于取样竖管内径；
12、当取样后，检测到含水量低于湿度传感器的输入阈值后，控制补偿电磁阀开启、排气电磁阀关闭，导气管上的抽气泵抽取携水气体进入到取样横管内，使取样横管内气压增大，使补偿管被导通，使携水气体向尾气管内补充，实现对尾气管内气体含水量的补偿。
13、作为本申请的又一种改进的补充，补偿管包括外管壳、固定连接在外管壳内的定口衬节以及放置在外管壳内的改口衬节，定口衬节上开凿有定补偿孔，改口衬节位于定口衬节下方，且改口衬节上下两端分别与定口衬节下端、外管壳内底部边缘接触。
14、作为本申请的又一种改进的补充，改口衬节内部开凿有平动补偿孔，平动补偿孔内壁固定贴附有衬口管，改口衬节为弹性密封结构，衬口管为硬质定型的锥面壳体结构，平动补偿孔上方口部小、下方口部大，且定补偿孔与平动补偿孔相互错位。
15、作为本申请的再一种改进，定口衬节与改口衬节之间通过自复位转轴连接，改口衬节底部开凿有多个螺旋槽，其中一个螺旋槽内顶端开凿有转动补偿孔，转动补偿孔与定补偿孔相互错位，多个螺旋槽均呈螺旋扭转状。
16、作为本申请的再一种改进的补充，外管壳内底端固定连接有多个分别与多个螺旋槽对应的限位杆，限位杆延伸至螺旋槽内，且螺旋槽下方口部的跨度与转动补偿孔和外管壳之间的夹角跨度相同。
17、综上所述，在通过携水气体对硼尾气进行排放处理的过程中，通过水补偿管组的设置，可以对尾气管内对携水气体以及硼尾气的混合气体进行含水量检测，当含水量较低时，可自动对尾气管内及时进行携水气体的补偿，进而有效保证硼氧化物和硼硅玻璃充分被水带走，相较于现有技术，进一步保证尾气管不易被堵塞，进而达到提高硼扩散炉管尾气处理速度的效果，减少相同时间内对硼扩散炉管尾气处理部分的维护清洗次数，提高炉管寿命。
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1.一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述携水气体为携水的惰性气体，所述携水气体通过将惰性气体充入至水中，而后从水中排出后得到的气体即为携水气体。
3.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述气体入口管（22）为不与携水气体以及硼尾气反应的材料制成，所述进气管（21）和气体入口管（22）的端部均延伸至密封水槽（31）内，且进气管（21）的端部位于密封水槽（31）内液面以下，所述气体入口管（22）位于密封水槽（31）内液面上方。
4.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述步骤S3中，当对携水气体和硼尾气的混合气体进行取样时，补偿电磁阀（401）处于关闭状态、排气电磁阀（402）处于开启状态，且排气管（44）的内径大于取样竖管（43）内径；
5.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述补偿管（6）包括外管壳（61）、固定连接在外管壳（61）内的定口衬节（62）以及放置在
6.根据权利要求5所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述改口衬节（63）内部开凿有平动补偿孔（602），所述平动补偿孔（602）内壁固定贴附有衬口管（64），所述改口衬节（63）为弹性密封结构，所述衬口管（64）为硬质定型的锥面壳体结构，所述平动补偿孔（602）上方口部小、下方口部大，且定补偿孔（601）与平动补偿孔（602）相互错位。
7.根据权利要求5所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述定口衬节（62）与改口衬节（63）之间通过自复位转轴连接，所述改口衬节（63）底部开凿有多个螺旋槽（603），其中一个螺旋槽（603）内顶端开凿有转动补偿孔（604），所述转动补偿孔（604）与定补偿孔（601）相互错位，多个螺旋槽（603）均呈螺旋扭转状。
8.根据权利要求7所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述外管壳（61）内底端固定连接有多个分别与多个螺旋槽（603）对应的限位杆（7），所述限位杆（7）延伸至螺旋槽（603）内，且螺旋槽（603）下方口部的跨度与转动补偿孔（604）和外管壳（61）之间的夹角跨度相同。
...【技术特征摘要】
1.一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述携水气体为携水的惰性气体，所述携水气体通过将惰性气体充入至水中，而后从水中排出后得到的气体即为携水气体。
3.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述气体入口管（22）为不与携水气体以及硼尾气反应的材料制成，所述进气管（21）和气体入口管（22）的端部均延伸至密封水槽（31）内，且进气管（21）的端部位于密封水槽（31）内液面以下，所述气体入口管（22）位于密封水槽（31）内液面上方。
4.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述步骤s3中，当对携水气体和硼尾气的混合气体进行取样时，补偿电磁阀（401）处于关闭状态、排气电磁阀（402）处于开启状态，且排气管（44）的内径大于取样竖管（43）内径；
5.根据权利要求1所述的一种提升硼扩散炉管寿命的方法，其特征在于：所述补偿管（6）包括外管壳（61）、固定连接在外管壳（61）内的定口衬节（62）以及放置在外管壳（61）内的改口衬节（63），所述定口衬节（62）上开凿有定补偿孔（601），所述改口衬节（63）位于定口...
【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，何为晋，姚猛，
申请(专利权)人：合肥西长信新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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