下载一种提升硼扩散炉管寿命的方法的技术资料

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本发明涉及应用于炉管领域的一种提升硼扩散炉管寿命的方法,在通过携水气体对硼尾气进行排放处理的过程中,通过水补偿管组的设置,可以对尾气管内对携水气体以及硼尾气的混合气体进行含水量检测,当含水量较低时,可自动对尾气管内及时进行携水气体的补偿,进...
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