【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于色谱检测，具体涉及一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法。
技术介绍
1、在半导体器件制造过程中，光组成的涂敷、曝光和成像对元器件的图案制造来说是必要的工艺步骤，在图案化的最后和下一工艺步骤之前，光阻层材料的残留物需彻底除去，其一般采用湿法清洗工艺。由于精密的半导体器件不能直接用水清洗，会导致电气短路、加速部件的氧化和生锈，因此需要采用专用的电子级清洗液，而在电子级清洗液中用的最多的清洗液是含有羟胺类和/或醇胺类的清洗液。为了实现更好的清洗效果，需要对电子级清洗液中羟胺和醇胺的含量进行评估。关于羟胺、醇胺的检测，目前主要有共振光散射法、气相色谱发、液相色谱法、滴定法等。
2、共振光散射法为常量光谱分析方法，对于微量物质无法达到检测的要求。衷明华发表的《共振光散射法测定盐酸羟胺》中公开了使用共振光散射法检测盐酸羟胺的方法，其检测限为0.04μg/ml，对于限度很低的样品，灵敏度无法达到要求，只适用于限度较高的样品的分析。丁宏伟发表的《利培酮中盐酸羟胺的柱前衍生化-gc法测定》公开了一种用气相色谱法检测盐酸羟胺的方...
【技术保护点】
1.一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：步骤（1）和步骤（4）所述衍生化试剂与混标储备液或待测样品溶液的质量比大于等于8：1；衍生化反应温度为室温，反应时间大于等于20min。
3.根据权利要求2所述的一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：所述衍生化试剂为环己酮。
4.根据权利要求1所述的一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：步骤（2）和步骤（5）所述的气相色谱检测参数为：
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：步骤（1）和步骤（4）所述衍生化试剂与混标储备液或待测样品溶液的质量比大于等于8：1；衍生化反应温度为室温，反应时间大于等于20min。
3.根据权利要求2所述的一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，其特征在于：所述衍生化试剂为环己酮。
4.根据权利要求1所述的一种电子级清洗液中羟胺和醇胺的检测方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：李少平，叶瑞，贺兆波，谭小龙，李琴，王欢，
申请(专利权)人：湖北兴福电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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