【技术实现步骤摘要】
本申请涉及射频，尤其涉及一种阻抗匹配电路以及具有阻抗匹配电路的射频电源设备。
技术介绍
1、目前，随着射频（radio frequency，rf）技术的普及，射频电源越来越多的应用于各个领域。在利用射频电源对负载进行输出时，对射频电源与负载进行阻抗匹配是必不可少的，在射频电源与负载阻抗匹配时，能够有效减少反射功率的发生，获得更好地输出效果。
2、然而，在采用阻抗匹配电路对射频电源与负载进行阻抗匹配时，往往无法得知阻抗匹配电路中电容器件的电容值，也很难准确检测阻抗匹配电路中电容器件的电容值，进而更无法对射频电源与负载进行较为准确地阻抗匹配，因此，如何在阻抗匹配电路对射频电源与负载进行阻抗匹配前，如何检测阻抗匹配电路中电容器件的电容值，成为了需要考虑的问题。
技术实现思路
1、本申请提供一种阻抗匹配电路以及射频电源设备，可检测阻抗匹配电路中电容器件的电容值。
2、第一方面，提供一种阻抗匹配电路，所述阻抗匹配电路用于对射频电源与负载进行阻抗匹配，所述阻抗匹配电路具有检测节...
【技术保护点】
1.一种阻抗匹配电路，用于对射频电源与负载进行阻抗匹配，其特征在于，所述阻抗匹配电路具有检测节点，所述阻抗匹配电路还包括：
2.根据权利要求1所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述阻抗匹配电路还具有工作状态，在所述工作状态，所述检测节点与所述射频电源连接，所述检测电容模块与所述检测节点断开，所述阻抗匹配电路至少通过所述阻抗匹配单元的所述第一匹配电容对所述射频电源与所述负载进行阻抗匹配。
3.根据权利要求2所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第一匹配电容为具有第一电容值范围的可调电容，所述阻抗匹配电路还包括第一调节单元，所述第一调节单元与所述第一匹...
【技术特征摘要】
1.一种阻抗匹配电路，用于对射频电源与负载进行阻抗匹配，其特征在于，所述阻抗匹配电路具有检测节点，所述阻抗匹配电路还包括：
2.根据权利要求1所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述阻抗匹配电路还具有工作状态，在所述工作状态，所述检测节点与所述射频电源连接，所述检测电容模块与所述检测节点断开，所述阻抗匹配电路至少通过所述阻抗匹配单元的所述第一匹配电容对所述射频电源与所述负载进行阻抗匹配。
3.根据权利要求2所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第一匹配电容为具有第一电容值范围的可调电容，所述阻抗匹配电路还包括第一调节单元，所述第一调节单元与所述第一匹配电容配合，用于调节所述第一匹配电容的电容值；
4.根据权利要求3所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述阻抗匹配电路还包括控制单元以及开关单元，所述开关单元至少用于导通或断开所述检测节点与所述射频电源之间的连接，以及导通或断开所述检测电容模块的另一端与所述检测节点之间的连接，所述控制单元至少用于控制所述开关单元导通或断开所述检测节点与所述射频电源之间的连接，以及控制所述开关单元导通或断开所述检测电容模块的另一端与所述检测节点之间的连接；
5.根据权利要求4所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第一匹配电容连接于所述检测节点与地之间，所述开关单元包括第一开关以及第二开关；
6.根据权利要求4所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第一匹配电容连接于所述射频电源与所述检测节点之间，所述开关单元包括第一开关、第二开关以及第三开关，所述阻抗匹配电路还具有屏蔽节点，所述屏蔽节点设置于所述射频电源与所述第一匹配电容之间；
7.根据权利要求3所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第一匹配电容与所述检测节点可选择地连接，所述阻抗匹配单元还包括第二匹配电容，所述第二匹配电容与所述检测节点可选择地连接；
8.根据权利要求7所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第二匹配电容为具有第二电容值范围的可调电容，所述阻抗匹配电路还包括第二调节单元，所述第二调节单元与所述第二匹配电容配合，用于调节所述第二匹配电容的电容值；
9.根据权利要求8所述的阻抗匹配电路，其特征在于，所述第一调节单元和所述第二调节单元均为步进电机，所述第一调节单...
【专利技术属性】
技术研发人员：王树晓，林炯康，陈亚梯，
申请(专利权)人：深圳市瀚强科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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