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本申请提供一种阻抗匹配电路以及射频电源设备，阻抗匹配电路具有与射频电源可选择地连接的检测节点，还包括阻抗匹配单元、电容值检测单元和电压值获取单元；阻抗匹配单元包括与检测节点连接的第一匹配电容；电容值检测单元包括检测电容模块和检测电源，检测电...
该专利属于深圳市瀚强科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市瀚强科技股份有限公司授权不得商用。

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