【技术实现步骤摘要】
本申请属于惯性微系统，尤其涉及惯性微系统传感器及其减振装置。
技术介绍
1、惯性微系统传感器，例如加速度传感器和陀螺仪，具有小型化、低功耗、性能高等特点，在军工装备、新能源汽车、智能制造等相关领域具有广泛的应用。然而在某些特定领域的应用过程中，使用环境中伴有高频振动，高频振动噪声可能会严重影响惯性微系统的性能指标和准确性。
2、现有的惯性微系统减振单元，通过内外部橡胶减振垫组合实现，利用橡胶的大阻尼性、高滞后性以及强可逆变性实现对振动的缓冲。对于高频振动而言，橡胶减振垫组不能充分隔离。且长时间使用后，惯性微系统内部的发热效应，会使橡胶减振垫温度特性发生改变，减少减振性能。故现有橡胶减振垫组不能满足惯性微系统隔离高频振动的要求。
技术实现思路
1、为克服相关技术中存在的问题，本申请实施例提供了惯性微系统传感器及其减振装置。
2、本申请是通过如下技术方案实现的：
3、第一方面，本申请实施例提供了一种惯性微系统传感器减振装置，包括：包括减振单元和夹具，所述减振单元和所述夹具的材质为石墨烯；
4、所述夹具的中部设置有第一凹槽，所述第一凹槽的外围台面上设置有多个柱体，所述多个柱体与惯性微系统传感器壳体的安装孔对应，惯性微系统传感器壳体能够设置在所述夹具上，惯性微系统传感器芯片能够设置在所述第一凹槽中；
5、所述减振单元设置在所述夹具的第一凹槽中，且一侧与惯性微系统传感器壳体接触，另一侧包裹所述惯性微系统传感器芯片的外围边沿。
...【技术保护点】
1.一种惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，包括减振单元和夹具，所述减振单元和所述夹具的材质为石墨烯；
2.如权利要求1所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，所述第一凹槽为矩形凹槽，所述减振单元的形状为截面为三角形或梯形的柱体；所述减振单元的远离所述第一凹槽槽壁的侧面中部设置有第二凹槽，惯性微系统传感器芯片的外围边沿插入所述第二凹槽中。
3.如权利要求1所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，所述第一凹槽为矩形凹槽，所述减振单元的形状为长方体；所述减振单元的远离所述第一凹槽槽壁的侧面中部设置有第二凹槽，惯性微系统传感器芯片的外围边沿插入所述第二凹槽中。
4.如权利要求1至3任一项所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，所述夹具和所述减振单元均包括多层石墨烯薄膜，每层石墨烯薄膜之间通过原子间键连接。
5.如权利要求4所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，每层石墨烯薄膜中的碳原子呈预设规律排列的蜂窝状，多层石墨烯薄膜之间的蜂窝状构成蜂窝状空腔。
6.如权利要求1至3任一项所述的惯性微系统传感器减振装置，
7.一种惯性微系统传感器，其特征在于，包括：芯片、壳体、减振单元和夹具，所述减振单元和所述夹具的材质为石墨烯；
8.如权利要求7所述的惯性微系统传感器，其特征在于，所述多个柱体与所述多个安装孔一一对应配装在一起之后，通过固定螺丝将所述壳体与所述夹具固定，且所述固定螺丝与所述壳体之间设置有石墨烯垫圈。
9.如权利要求7所述的惯性微系统传感器，其特征在于，所述第一凹槽为矩形凹槽，所述减振单元的形状为截面为三角形或梯形的柱体；所述减振单元的远离所述第一凹槽槽壁的侧面中部设置有第二凹槽，惯性微系统传感器芯片的外围边沿插入所述第二凹槽中。
10.如权利要求7所述的惯性微系统传感器，其特征在于，所述夹具和所述减振单元均包括多层石墨烯薄膜，每层石墨烯薄膜之间通过原子间键连接；每层石墨烯薄膜中的碳原子呈预设规律排列的蜂窝状，多层石墨烯薄膜之间的蜂窝状构成蜂窝状空腔。
...【技术特征摘要】
1.一种惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，包括减振单元和夹具，所述减振单元和所述夹具的材质为石墨烯；
2.如权利要求1所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，所述第一凹槽为矩形凹槽，所述减振单元的形状为截面为三角形或梯形的柱体；所述减振单元的远离所述第一凹槽槽壁的侧面中部设置有第二凹槽，惯性微系统传感器芯片的外围边沿插入所述第二凹槽中。
3.如权利要求1所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，所述第一凹槽为矩形凹槽，所述减振单元的形状为长方体；所述减振单元的远离所述第一凹槽槽壁的侧面中部设置有第二凹槽，惯性微系统传感器芯片的外围边沿插入所述第二凹槽中。
4.如权利要求1至3任一项所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，所述夹具和所述减振单元均包括多层石墨烯薄膜，每层石墨烯薄膜之间通过原子间键连接。
5.如权利要求4所述的惯性微系统传感器减振装置，其特征在于，每层石墨烯薄膜中的碳原子呈预设规律排列的蜂窝状，多层石墨烯薄膜之间的蜂窝状构成蜂窝状空腔。
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【专利技术属性】
技术研发人员：于翔，周浩，金明路，张佳寅，马连杰，
申请(专利权)人：河北美泰电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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