【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及质量流量检测领域，具体涉及一种质量流量检验设备及检验方法。
技术介绍
1、目前，质量流量检测方式包括上升速率测量技术和临界流喷头测量技术，其中上升速率测量技术包括一容纳流体的已知体积的，其测量的量程受腔体体积的大小限制。面对大流量流体检测时候，上升速率测量技术需要大的腔体，但是在某些设备中由于受空间的限制，腔体太大势必造成空间的拥挤。同时，由于腔体体积的限制，其量程也受到限制。
2、因此应对在大流量流体时候，需要使用临界流喷头测量技术，但是该技术需要知道待检测流体的气体性质函数。应对未知气体性质函数时，亦无法采用该种检测技术。
3、为了应对大流量流体检验或可选量程以及流体的气体性质函数未知的情形，亟需专利技术一种体积小且检测精度高的质量流量检测技术。
技术实现思路
1、为了解决未知气体性质函数的大流量流体的检测，本专利技术提出了一种质量流量检验设备，包括：
2、腔体，用于接收流体；
3、上游管路，所述上游管路与所述腔体连接，用于向所述腔体输送流体；
4、下游管路，所述下游管路与所述腔体连接，用于排出所述腔体内的流体；
5、至少一旁路管路，所述旁路管路连接所述上游管路与所述下游管路；
6、第一临界流喷头，所述第一临界流喷头设置在所述上游管路；
7、至少一旁路临界流喷头，所述旁路临界流喷头设置于所述旁路管路；
8、第一压力检测组件，设置在所述第一临界流喷头的上游，用
9、控制模块，所述控制模块与所述第一压力检测组件连接，用于在第一阶段获得所述流体的气体性质函数及在第二阶段获得流体的总流量；其中，所述第一阶段为仅有流体通过第一临界流喷头，所述第二阶段为流体通过至少一旁路临界流喷头。
10、进一步地，所述质量流量检验设备还包括：第二压力检测组件、温度检测组件，所述第二压力检测组件、温度检测组件均设置于所述腔体，分别用于检测腔体内流体的压力和温度。
11、进一步地，所述质量流量检验设备还包括：第一阀，所述第一阀设置于所述上游管路，用于控制所述上游管路的启闭。
12、进一步地，所述质量流量检验设备还包括：至少一旁路阀，所述旁路阀设置于所述旁路管路，用于控制所述旁路管路的启闭。
13、进一步地，所述质量流量检验设备还包括：第二阀，所述第二阀设置于所述下游管路，用于控制所述下游管路的启闭。
14、进一步地，所述控制模块分别与所述第一阀、旁路阀、第二阀连接，用于控制所述第一阀、旁路阀、第二阀。
15、进一步地，所述第一临界流喷头的横截面面积小于所述旁路临界流喷头的横截面面积。
16、进一步地，所述第一压力检测组件和所述第二压力检测组件均为真空规。
17、进一步地，根据第一临界流喷头的横截面面积，第一临界流喷头的排出系数，第二压力检测组件获得的压力值，温度检测组件获得的温度值，第一压力检测组件获得的压力值确定流体的气体性质函数；以及，
18、根据所述气体性质函数，各个临界流喷头的横截面面积，各个临界流喷头的排出系数，第一压力检测组件获得的压力值，温度检测组件获得的温度值t确定流体的总流量。
19、本专利技术还提出一种质量流量检验方法，采用所述的质量流量检验设备实现，包含以下步骤：
20、s1、在第一阶段，配置流体仅通过第一临界流喷头及腔体，控制模块获取气体性质函数；
21、s2、在第二阶段，配置流体通过至少一旁路临界流喷头，控制模块获取流体的总流量。
22、进一步地，所述步骤s1具体为：在第一阶段，获取腔体内流体的第一温度值t1和腔体内流体的第一腔体压力值pd1，以及腔体上游的第一上游压力值pu1，根据公式
23、
24、计算获得气体性质函数f(m，y)；
25、所述步骤s2具体为：在第二阶段，获取腔体内流体的第二温度值t2及腔体上游的第二上游压力值pu2，根据公式
26、计算获得总流量q总；
27、其中，q1是第一阶段的流量，c′i是第i个临界流喷头的排出系数，ai是第i个临界流喷头的横截面面积，i＝1，2，…n，n是临界流量喷头的数量，v是腔体的体积。
28、本专利技术采用小流量临界流喷头和不同大流量临界流喷头并联的方式，通过两步骤实现了未知气体性质函数的大流量流体的流量检验；同时，并联多个旁路临界流喷头提高了流量检测量程及精度。
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1.一种质量流量检验设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：第二压力检测组件、温度检测组件，所述第二压力检测组件、温度检测组件均设置于所述腔体，分别用于检测腔体内流体的压力和温度。
3.如权利要求2所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：第一阀，所述第一阀设置于所述上游管路，用于控制所述上游管路的启闭。
4.如权利要求3所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：至少一旁路阀，所述旁路阀设置于所述旁路管路，用于控制所述旁路管路的启闭。
5.如权利要求4所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：第二阀，所述第二阀设置于所述下游管路，用于控制所述下游管路的启闭。
6.如权利要求5所述的质量流量检验设备，其特征在于，所述控制模块分别与所述第一阀、旁路阀、第二阀连接，用于控制所述第一阀、旁路阀、第二阀。
7.如权利要求1-6任一所述的质量流量检验设备，其特征在于，所述第一临界流喷头的横截面面积小于所述旁路临界流喷头的横截面面积。
8.如权利要求2-6任一
9.如权利要求2-6任一所述的质量流量检验设备，其特征在于，根据第一临界流喷头的横截面面积，第一临界流喷头的排出系数，第二压力检测组件获得的压力值，温度检测组件获得的温度值，第一压力检测组件获得的压力值确定流体的气体性质函数；以及，
10.一种质量流量检验方法，采用如权利要求1至9任一项所述的质量流量检验设备实现，其特征在于，包含以下步骤：
11.如权利要求10所述的质量流量检验方法，其特征在于，
...【技术特征摘要】
1.一种质量流量检验设备，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：第二压力检测组件、温度检测组件，所述第二压力检测组件、温度检测组件均设置于所述腔体，分别用于检测腔体内流体的压力和温度。
3.如权利要求2所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：第一阀，所述第一阀设置于所述上游管路，用于控制所述上游管路的启闭。
4.如权利要求3所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：至少一旁路阀，所述旁路阀设置于所述旁路管路，用于控制所述旁路管路的启闭。
5.如权利要求4所述的质量流量检验设备，其特征在于，还包括：第二阀，所述第二阀设置于所述下游管路，用于控制所述下游管路的启闭。
6.如权利要求5所述的质量流量检验设备，其特征在于，所述控制模块分别与所述第一阀、旁...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴春龙，
申请(专利权)人：江苏天芯微半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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