【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及pmut测试，尤其涉及一种测试系统。
技术介绍
1、现有技术中，需要工作人员对pmut芯片进行人工测试，测试手段无法满足生产发展的需求，测试效率较低。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种测试系统，以提高测试效率。
2、根据本专利技术的一方面，提供了一种测试系统，测试系统包括：
3、pmut振动板、第一连接板、第一超声接收装置和信号驱动接收模块；
4、第一连接板的信号接收端与信号驱动接收模块的信号发射端连接，第一连接板用于固定pmut振动板，并接收信号驱动接收模块发射的第一驱动信号，并根据第一驱动信号驱动pmut振动板中的pmut器件发射第一超声波信号；
5、第一超声接收装置与信号驱动接收模块的信号接收端连接，第一超声接收装置用于接收pmut器件发射的第一超声波信号，并根据第一超声波信号生成超声检测信号，并将超声检测信号传输给信号驱动接收模块；
6、信号驱动接收模块用于根据驱动信号和超声检测信号确定pmut器件的发射灵敏度。
7、进一步的，信号驱动接收模块包括第一波形产生器、前置放大器、二级放大器和第一示波器；
8、第一波形产生器的第一信号发射端与第一连接板的信号接收端连接，第一波形产生器的第二信号发射端与第一示波器的第一端连接，第一波形产生器用于将第一驱动信号分别传输至第一连接板和第一示波器；
9、第一连接板用于根据驱动信号驱动pmut振动板中的pmut器件发射第一超声
10、第一超声接收装置与前置放大器的第一端连接，第一超声接收装置用于接收pmut器件发射的第一超声波信号，并根据第一超声波信号生成超声检测信号，并将超声检测信号传输给前置放大器；
11、前置放大器的第二端与二级放大器的第一端连接，前置放大器用于对超声检测信号进行第一次放大处理，生成第一放大信号，并将第一放大信号传输给二级放大器；
12、二级放大器的第二端与第一示波器的第二端连接，二级放大器用于对第一放大信号进行第二次放大处理，生成第二放大信号，并将第二放大信号传输给第一示波器；
13、第一示波器用于根据第一驱动信号和第二放大信号确定pmut器件的发射灵敏度。
14、进一步的，第一超声接收装置的垂直中心线与pmut器件中发射单元的垂直中心线共线。
15、进一步的，测试系统还包括：
16、可替换夹具和三轴移动平台；三轴移动平台包括三轴移动框架和底座；
17、第一连接板固定在三轴移动平台的底座上；
18、可替换夹具设置在三轴移动框架的夹具槽内，可替换夹具用于固定第一超声接收装置。
19、进一步的，第一波形产生器包括多个波形发射通道；
20、波形发射通道与pmut器件一一对应设置。
21、根据本专利技术的另一方面，提供了一种测试系统，测试系统包括：
22、pmut振动发射模块、第二连接板、pmut超声接收装置、第二超声接收装置、第二波形产生器和信号接收模块；
23、第二连接板的信号接收端与第二波形产生器的第一端连接，第二波形产生器的第二端与信号接收模块的驱动接收端连接，第二波形产生器用于将第二驱动信号分别传输至第二连接板和信号接收模块；
24、第二连接板用于固定pmut振动发射模块，并接收第二波形产生器发射的第二驱动信号，并根据第二驱动信号驱动pmut振动发射模块中的pmut器件发射第二超声波信号；
25、第二超声接收装置与信号接收模块的第一端连接，第二超声接收装置用于接收第二超声波信号，并根据第二超声波信号生成第一超声检测信号，并将第一超声检测信号传输给信号接收模块；
26、pmut超声接收装置与信号接收模块的第二端连接，pmut超声接收装置用于接收第二超声波信号，并根据第二超声波信号生成第二超声检测信号，并将第二超声检测信号传输给信号接收模块；
27、信号接收模块用于根据第二驱动信号、第一超声检测信号和第二超声检测信号确定pmut超声接收装置中pmut器件的接收灵敏度。
28、进一步的，信号接收模块包括pmut超声放大模块、第一超声放大模块和第二示波器；
29、第二波形产生器的第二端与第二示波器的驱动接收端连接，第二波形产生器用于将第二驱动信号分别传输至第二连接板和第二示波器；
30、pmut超声放大模块的第一端与pmut超声接收装置连接，pmut超声放大模块的第二端与第二示波器的第一端连接，pmut超声放大模块用于对第二超声检测信号进行放大处理，生成第二超声放大信号，并将第二超声放大信号传输给第二示波器；
31、第一超声放大模块的第一端与第二超声接收装置连接，第一超声放大模块的第二端与第二示波器的第二端连接，第一超声放大模块用于对第一超声检测信号进行放大处理，生成第一超声放大信号，并将第一超声放大信号传输给第二示波器；
32、第二示波器用于根据第二驱动信号、第一超声放大信号和第二超声放大信号确定pmut超声接收装置中pmut器件的接收灵敏度。
33、进一步的，pmut超声接收装置的信号接收端与第二超声接收装置的信号接收端在同一水平面上。
34、进一步的，pmut振动发射模块包括pmut振动板、测试溶液和环形器件；
35、pmut振动板与第二连接板连接，第二连接板用于固定pmut振动板；
36、环形器件环绕pmut振动板设置，且环形器件与第二连接板粘合形成密闭容器，测试溶液设置在密闭容器中；
37、pmut振动板中的pmut器件用于通过测试溶液发射第二超声波信号。
38、进一步的，测试系统还包括：
39、第一可替换夹具、第二可替换夹具和三轴移动平台；三轴移动平台包括三轴移动框架和底座；
40、第二连接板固定在三轴移动平台的底座上；
41、第一可替换夹具设置在三轴移动框架的第一夹具槽内，第一可替换夹具用于固定第二超声接收装置；
42、第二可替换夹具设置在三轴移动框架的第二夹具槽内，第二可替换夹具用于固定pmut超声接收装置。
43、本专利技术是实施例设计的测试系统，包括pmut振动板、第一连接板、第一超声接收装置和信号驱动接收模块，通过将pmut振动板固定在第一连接板上，第一连接板的信号接收端与信号驱动接收模块的信号发射端连接，第一超声接收装置与信号驱动接收模块的信号接收端连接，使得第一连接板在接收到信号驱动接收模块发射的第一驱动信号后，根据第一驱动信号驱动pmut振动板中的pmut器件发射第一超声波信号，第一超声接收装置根据第一超声波信号生成超声检测信号，并将超声检测信号传输给信号驱动接收模块，信号驱动接收模块根据驱动信号和超声检测信号确定pmut器件的发射灵敏度，使得本专利技术实施例只需要将pmut振动板安装在第一连接板，即可实现对pmut振动板中本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种测试系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述信号驱动接收模块包括第一波形产生器、前置放大器、二级放大器和第一示波器；
3.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，
6.一种测试系统，其特征在于，包括：
7.根据权利要求6所述的测试系统，其特征在于，所述信号接收模块包括PMUT超声放大模块、第一超声放大模块和第二示波器；
8.根据权利要求6所述的测试系统，其特征在于，
9.根据权利要求6所述的测试系统，其特征在于，
10.根据权利要求6所述的测试系统，其特征在于，还包括：
【技术特征摘要】
1.一种测试系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，所述信号驱动接收模块包括第一波形产生器、前置放大器、二级放大器和第一示波器；
3.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的测试系统，其特征在于，还包括：
5.根据权利要求2所述的测试系统，其特征在于，
【专利技术属性】
技术研发人员：刘子仪，费跃，葛斌，王焕焕，陈思奇，蔡金东，全雪，范文轩，
申请(专利权)人：常州元晶摩尔微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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