对射传感器电路、对射传感器控制方法和传输机技术

本发明专利技术提供一种对射传感器电路、对射传感器控制方法和传输机，属于半导体技术领域，对射传感器电路包括对射杆、对射杆发射端、对射杆接收端、位置传感器和控制电路，对射杆发射端和对射杆接收端均固定在对射杆上，待检测目标设在对射杆发射端和对射杆接收端之间；对射杆接收端包括用于获取第一光通量变化信号和第二光通量变化信号的第一接收电路和第二接收电路；控制电路根据第一光通量变化信号、第二光通量变化信号和位移，确定待检测目标的检测结果。本发明专利技术通过光源、第二接收电路和位置传感器配合可实现晶圆突出检测功能，可精确定位发生问题的位置，第一接收电路和第二接收电路对应同一个光源，降低了成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体，尤其涉及一种对射传感器电路、对射传感器控制方法和传输机。

技术介绍

1、半导体晶圆在制造过程中需要在生产线上不同的工艺模块之间进行高效的传输和定位，晶圆传输机(wafer sorter)是完成该任务的关键装备，能够使晶圆在不受污染的条件下被准确的传输。

2、晶圆传输机至少包括用于存储晶圆的晶圆盒(front opening unifiedpod，简称foup)、用于承载晶圆盒的装载端口(load port)以及用于将晶圆从晶圆盒内取出和收纳至晶圆盒内的操作机械手，该装载端口包括开门器和设置在开门器上的承载机构，当半导体生产线上的运输小车将晶圆盒移至装载端口前，通过人工或机械手将晶圆盒放置到装载端口的承载机构上，然后由开门器执行晶圆盒的开盒动作，装载端口在对晶圆盒开盒后首先要通过对射传感器(mapping传感器)对盒内进行晶圆的扫描，判断盒内的晶圆片是否有叠片、斜片、摆放突出等问题，进而由操作机械手取出晶圆盒内的晶圆并在不同的装载端口之间进行相互传输。

3、现有对射传感器大多包括一对水平设置的发射光纤和接收光纤，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种对射传感器电路，其特征在于，包括对射杆、对射杆发射端、对射杆接收端、位置传感器和控制电路，所述对射杆发射端和所述对射杆接收端均固定在所述对射杆上，待检测目标设在所述对射杆发射端和所述对射杆接收端之间；所述对射杆发射端、所述对射杆接收端和所述位置传感器分别与所述控制电路电连接；

2.根据权利要求1所述的对射传感器电路，其特征在于，所述第二接收电路和所述光源之间的连接线与所述待检测目标的外切线重合，对应的，根据所述第一光通量变化信号、所述第二光通量变化信号和所述位移，确定所述待检测目标的检测结果，包括：

3.根据权利要求1所述的对射传感器电路，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种对射传感器电路，其特征在于，包括对射杆、对射杆发射端、对射杆接收端、位置传感器和控制电路，所述对射杆发射端和所述对射杆接收端均固定在所述对射杆上，待检测目标设在所述对射杆发射端和所述对射杆接收端之间；所述对射杆发射端、所述对射杆接收端和所述位置传感器分别与所述控制电路电连接；

2.根据权利要求1所述的对射传感器电路，其特征在于，所述第二接收电路和所述光源之间的连接线与所述待检测目标的外切线重合，对应的，根据所述第一光通量变化信号、所述第二光通量变化信号和所述位移，确定所述待检测目标的检测结果，包括：

3.根据权利要求1所述的对射传感器电路，其特征在于，所述控制电路包括发射端控制单元、接收端控制单元和数据处理单元；

4.根据权利要求3所述的对射传感器电路，其特征在于，所述位置传感器包括编码器，对应的，所述数据处理单元还用于获取所述编码器输出的脉冲信号，并对所述脉冲信号进行锁存处理，还用于对所述第一光通量变化信号和所述第二光通...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁金龙，陈杰，杨子臣，毛焕，邓博雅，吕维迪，周亮，廖博轩，
申请(专利权)人：北京京仪自动化装备技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：