System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 半导体器件制造技术_技高网

半导体器件制造技术

技术编号:40782097 阅读:13 留言:0更新日期:2024-03-25 20:26
半导体器件包括:第1导电型的第1半导体区域,其在芯片内形成在第1主面侧的区域;第2导电型的第2半导体区域,其在所述芯片内形成在第2主面侧的区域;第1槽结构,其包含以在剖视时将所述第1半导体区域划分成第1区域和第2区域的方式贯通所述第1半导体区域地形成在所述第1主面的第1槽、覆盖所述第1槽的内壁的控制绝缘膜和以能够控制所述第2半导体区域中的沟道的方式隔着所述控制绝缘膜地埋设于所述第1槽中的控制电极;第1电极,其在所述第1区域中与所述第1半导体区域电连接;第2槽结构,其包含在所述第2区域中贯通所述第1半导体区域地形成在所述第1主面的第2槽和以在与所述第1电极之间形成经由所述沟道的电流路径的方式埋设于所述第2槽中的第2电极。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本申请与2021年8月5日向日本特许厅提出的日本专利申请特愿2021-128850号对应,本申请的所有公开通过引用而并入本文中。本专利技术涉及一种半导体器件


技术介绍

1、专利文献1中公开有一种半导体器件,其包含p型半导体层、第1沟槽结构、多个n型漂移层和多个n型漏极源极区域。第1沟槽结构形成在p型半导体层的主面。多个n型漂移层在p型半导体层的主面的表层部中分别形成在第1沟槽结构的两侧。多个n型漏极源极区域分别形成在多个漂移层的表层部。晶体管的沟道形成在沿着第1沟槽结构的底部的区域。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1:美国专利申请公开第2007/0145474号说明书。


技术实现思路

1、专利技术要解决的问题

2、一实施方式提供一种具有新颖结构的半导体器件。

3、用在解决问题的技术手段

4、一实施方式提供一种半导体器件,其包括:芯片,其具有一侧的第1主面和另一侧的第2主面;第1导电型的第1半导体区域,其在所述芯片内形成在所述第1主面侧的区域;第2导电型的第2半导体区域,其在所述芯片内形成在比所述第1半导体区域靠所述第2主面侧的区域;第1槽结构,其包含第1槽、控制绝缘膜和控制电极,所述第1槽以在剖视时将所述第1半导体区域划分成一侧的第1区域和另一侧的第2区域的方式,贯通所述第1半导体区域地形成在所述第1主面,所述控制绝缘膜覆盖所述第1槽的内壁,所述控制电极以能够控制所述第2半导体区域中的沟道的方式隔着所述控制绝缘膜地埋设于所述第1槽中;第1电极,其在所述第1区域中与所述第1半导体区域电连接;和第2槽结构,其包含第2槽和第2电极,所述第2槽在所述第2区域中贯通所述第1半导体区域地形成在所述第1主面,所述第2电极以在与所述第1电极之间形成经由所述沟道的电流路径的方式埋设于所述第2槽中。

5、上述以及此外的其他目的、特征和效果能够通过参照随附的附图所说明的实施方式而明确。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体器件,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于:

3.如权利要求1或2所述的半导体器件,其特征在于:

4.如权利要求1~3中任一项所述的半导体器件,其特征在于,还包括:

5.如权利要求4所述的半导体器件,其特征在于:

6.如权利要求4或5所述的半导体器件,其特征在于:

7.如权利要求4~6中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

8.如权利要求1~7中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

9.如权利要求8所述的半导体器件,其特征在于:

10.如权利要求8或9所述的半导体器件,其特征在于:

11.如权利要求10所述的半导体器件,其特征在于:

12.如权利要求1~11中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

13.如权利要求12所述的半导体器件,其特征在于:

14.如权利要求12或13所述的半导体器件,其特征在于:

15.如权利要求1~14中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

16.如权利要求1~15中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

17.如权利要求16所述的半导体器件,其特征在于:

18.如权利要求1~17中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

19.如权利要求1~18中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

20.如权利要求1~19中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种半导体器件,其特征在于,包括:

2.如权利要求1所述的半导体器件,其特征在于:

3.如权利要求1或2所述的半导体器件,其特征在于:

4.如权利要求1~3中任一项所述的半导体器件,其特征在于,还包括:

5.如权利要求4所述的半导体器件,其特征在于:

6.如权利要求4或5所述的半导体器件,其特征在于:

7.如权利要求4~6中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

8.如权利要求1~7中任一项所述的半导体器件,其特征在于:

9.如权利要求8所述的半导体器件,其特征在于:

10.如权利要求8或9所述的半导体器件,其特征在于:

11.如权利要求10所述的半...

【专利技术属性】
技术研发人员:那须贤太郎
申请(专利权)人:罗姆股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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