【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及oled蒸镀用具，尤其涉及一种防泄露石墨坩埚。
技术介绍
1、当前oled制备器件主要采用蒸镀的方式，通过加热装载在各型坩埚中的有机和金属材料使其升华或气化后逸出坩埚，再沉积玻璃基板上遇冷凝结，形成所需要的功能膜层。
2、点源坩埚目前主流采用石墨坩埚进行制备，由于石墨是化学稳定性极好的物质，在还原条件下几乎呈化学惰性，在高温下与其他的液相、固相熔渣接触时，很难被熔渣浸润、熔解，且石墨坩埚内壁平滑，被熔解的金属液体不易渗漏和粘附在坩埚内壁。石墨的高导热率、低热膨胀系数，具有优异的抗热震性能，制作成石墨坩埚可成功的用于800℃～1300℃有色金属的周期性熔解过程。
3、故在蒸镀设备上，金属膜层材料多采用石墨坩埚对材料进行熔解升华或气化后进行蒸镀。石墨坩埚在高温使用过程中，热胀系数小，对急冷、急热具有一定抗应变性能。且石墨坩埚内壁平滑，被熔的金属液体不易渗漏和粘附在坩埚内壁。但是石墨坩埚由于碰撞或热胀冷缩产生的热应力出现破裂的现象，导致坩埚内被熔解的金属液体泄露，流入在加热设备中，对设备造成损害。从而增加生产成本以及设备的宕机成本。
4、近些年有部分厂商使用钽坩埚替代石墨坩埚，钽坩埚采用钽金属制造，虽然具有很好的金属延展性及强度，但是由于钽金属的价格昂贵，且钽金属在多次加热后会出现钽金属逸出的情况，造成对被熔解金属材料的污染，故钽坩埚也具有一定的使用寿命限制，需要定期换新。
技术实现思路
1、本专利技术要解决的技术问题，在于提供一种防泄露
2、本专利技术是这样实现的：
3、本专利技术提供了一种防泄露石墨坩埚，包括有石墨坩埚主体，所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层，所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭，所述石墨外层套设在石墨内层的外侧，在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层，所述金属层将石墨内层包裹。
4、进一步的，所述金属层包括有呈直筒状的下壳体，所述下壳体的侧面和底部均为封闭式结构，所述下壳体的顶端连接有上增强部，所述上增强部为网状结构。
5、进一步地，所述下壳体和上增强部为一体成型。
6、进一步的，所述下壳体的外壁设置有复数个凸起台阶，所述凸起台阶呈环形结构，且每一所述凸起台阶的轴线与下壳体的轴线相重合。
7、进一步地，所述下壳体高度高于被熔解在石墨内层的金属液体的液位高度。
8、进一步的，所述石墨外层的外壁设置有复数个加强筋，所述加强筋呈长条形结构，且每一所述加强筋的中心线与石墨外层的轴线平行。
9、进一步的，所述金属层的材质为钽。
10、本专利技术的优点在于：本专利技术可解决现有点源石墨坩埚在使用过程中破裂导致内部被熔解金属液体泄露，造成材料的流失及设备的宕机问题。在提高石墨坩埚的使用寿命的同时，造价成本低于钽坩埚，且消除了钽坩埚长时间使用后钽金属逸出到蒸发材料中的风险，节约产品的投入成本。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：包括有石墨坩埚主体，所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层，所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭，所述石墨外层套设在石墨内层的外侧，在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层，所述金属层将石墨内层包裹。
2.如权利要求1所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述金属层包括有呈直筒状的下壳体，所述下壳体的侧面和底部均为封闭式结构，所述下壳体的顶端连接有上增强部，所述上增强部为网状结构。
3.如权利要求2所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述下壳体和上增强部为一体成型。
4.如权利要求2所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述下壳体的外壁设置有复数个凸起台阶，所述凸起台阶呈环形结构，且每一所述凸起台阶的轴线与下壳体的轴线相重合。
5.如权利要求2所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述下壳体高度高于被熔解在石墨内层的金属液体的液位高度。
6.如权利要求1所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述石墨外层的外壁设置有复数个加强筋，所述加强筋呈长条形结构，且每一所述加强筋的中
7.如权利要求1所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述金属层的材质为钽。
...【技术特征摘要】
1.一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：包括有石墨坩埚主体，所述石墨坩埚主体包括有呈直筒状的石墨内层和石墨外层，所述石墨内层和石墨外层的底部均封闭，所述石墨外层套设在石墨内层的外侧，在所述石墨内层和石墨外层之间还设置有金属层，所述金属层将石墨内层包裹。
2.如权利要求1所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述金属层包括有呈直筒状的下壳体，所述下壳体的侧面和底部均为封闭式结构，所述下壳体的顶端连接有上增强部，所述上增强部为网状结构。
3.如权利要求2所述的一种防泄露石墨坩埚，其特征在于：所述下壳体和上增强部为一体成型。
【专利技术属性】
技术研发人员：吴晟远，林志斌，张麒麟，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：发明
国别省市：
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