【技术实现步骤摘要】
本技术涉及干蚀刻机，尤其涉及一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构。
技术介绍
1、液晶面板干蚀刻机上部电极由24块电极板组成，每块电极板之间用铁氟龙块隔开，如图1所示。每块上部电极板通过螺丝来固定电极板外围的固定孔进行锁紧，再通过上部陶瓷片对螺丝孔位7进行覆盖，避免金属螺丝裸露造成蚀刻异常。
2、其中16块梯形陶瓷片均仅有1个孔位进行定位，陶瓷片无法完全固定，存在可轻微移动的情况，如图2所示，即陶瓷片的一端会绕孔位的中心线滑动，导致上部陶瓷片无法全面掩盖住上部电极板螺丝，螺丝裸露与腔室内的制程气体发生反应，造成产品异常，影响良率。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题，在于提供一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，使陶瓷片固定在上部电极板上，不会发生滑动，可完全覆盖住螺丝。
2、本技术是这样实现的：
3、本技术提供了一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，包括有具有一个定位孔的陶瓷片，所述陶瓷片的另一侧设置有凹槽，所述防滑结构还包括由聚四氟...
【技术保护点】
1.一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，包括有具有一个定位孔的陶瓷片，其特征在于：所述陶瓷片的另一侧设置有凹槽，所述防滑结构还包括由聚四氟乙烯材质制成的封帽，所述封帽套设在与干蚀刻机上部电极板螺旋连接的固定螺丝的端部。
2.如权利要求1所述的一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，其特征在于：所述凹槽的槽壁由两个弧形侧壁和两个直线侧壁组成，两个所述直线侧壁分别设置在凹槽的上下两侧，且两个所述直线侧壁的间距与封帽的外径相匹配，使所述封帽的外壁与直线侧壁相接触，两个所述弧形侧壁设置在凹槽的左右两侧，且两个所述弧形侧壁的间距大于封帽的外径。
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【技术特征摘要】
1.一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，包括有具有一个定位孔的陶瓷片，其特征在于：所述陶瓷片的另一侧设置有凹槽，所述防滑结构还包括由聚四氟乙烯材质制成的封帽，所述封帽套设在与干蚀刻机上部电极板螺旋连接的固定螺丝的端部。
2.如权利要求1所述的一种液晶面板干蚀刻机上部陶瓷片的防滑结构，其特征在于：所述凹槽的槽壁由两个弧形侧壁和两个直线侧壁组成，两个所述直线侧壁分别设置在凹槽的上下两侧，且两个所述直线侧壁的间距与封帽的外径相匹配，使所述封帽...
【专利技术属性】
技术研发人员：李世雄，吾继明，杨志帅，程辉，陈聪，
申请(专利权)人：福建华佳彩有限公司，
类型：新型
国别省市：
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