【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光刻胶喷涂，具体涉及一种光刻胶喷涂装置。
技术介绍
1、光刻胶又称光致抗蚀剂，是指通过紫外光、电子束、离子束、x射线等的照射或辐射，其溶解度发生变化的耐蚀剂刻薄膜材料，由感光树脂、增感剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体
2、目前公开号cn215656056u公开了一种光刻胶均匀的喷涂装置，包括上箱体以及下箱体、所述上箱体包括喷涂舱、密封门、控制器以及操作键，所述喷涂舱内设有横向移动板、竖向导板以及竖向移动板，通过将产品安装在安装轴上，之后通过喷涂管上的抽料泵将料箱内的光刻胶抽到喷涂管上，并通过喷嘴喷到安装轴上的产品上，安装轴通过转动电机实现转动，使光刻胶在喷涂时更加均匀，通过第一滑动电机控制喷涂管上横向移动板上左右移动，通过第三滑动电机控制横向移动板在竖向移动板上前后移动，通过第二滑动电机控制竖向移动板在竖向导板上下移动，方便喷涂管调节适当的位置，提高光刻胶在喷涂时的均匀性。
3、为了解决喷涂的问题，现有技术是采用将喷涂管调节适当的位置的方式进行处理，但是还会出现喷头与外部接触内部的光刻胶容易堵塞喷头的情况，进而导致喷胶的均匀度和喷胶质量较差的问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种光刻胶喷涂装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案是：
3、一种光刻胶喷涂装置，包括支撑腿，所述支撑腿的顶面固定连接有固定机构，所述固定机构的顶面设置有喷涂机构，所述固定机构的顶面
4、所述喷涂机构包括工作箱和挡料组件，所述工作箱固定连接在固定机构的顶面，所述挡料组件设置在工作箱的内部，所述挡料组件的侧面设置有调节组件。
5、所述挡料组件包括储料箱，所述储料箱设置在工作箱的内侧，所述储料箱的内侧转动连接有连接杆，所述连接杆的表面内侧设置有挡料板，所述挡料板的侧面设置有填充块，所述储料箱的底面套接有喷头。
6、所述调节组件包括伸缩杆，所述伸缩杆固定连接在储料箱的侧面，所述储料箱的伸缩端固定连接有齿条，所述齿条的一侧啮合连接有齿轮，所述齿轮的一侧与连接杆的一端转动连接。
7、本技术技术方案的进一步改进在于：所述固定机构包括底板，所述底板固定连接在支撑腿的顶面，所述底板的内侧螺纹连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端传动连接有电机，所述底板的内侧设置有滑杆一，所述螺纹杆与滑杆一的表面内侧设置有放置板，所述放置板的顶面固定连接有气缸一，所述气缸一的伸缩端固定连接有固定板，所述固定板的内侧设置有侧边夹持组件。
8、采用上述技术方案，通过气缸一与固定板的相互配合，达到了对工件进行快速夹持的效果。
9、本技术技术方案的进一步改进在于：所述侧边夹持组件包括滑杆二，所述滑杆二设置在固定板的内侧，所述滑杆二的表面滑动连接有夹持板，所述夹持板的顶面设置有限位块，所述夹持板的背面固定连接有弹簧。
10、采用上述技术方案，通过滑杆二、夹持板与限位块的相互配合，达到了对工件的侧面进行夹持的效果。
11、本技术技术方案的进一步改进在于：所述工作箱的顶面固定连接有混合箱，所述混合箱的一侧套接有软管，所述软管的表面内侧套接有泵机，所述泵机的一端贯穿设置在工作箱的内部且套接有滑动块，所述滑动块的内侧滑动连接有滑杆三，所述滑动块的一侧固定连接有气缸二。
12、采用上述技术方案，通过混合箱、软管和泵机的相互配合，达到了对光刻胶喷涂原材料进行传输的效果。
13、本技术技术方案的进一步改进在于：所述烘干单元包括连接箱，所述连接箱设置在喷涂机构的顶面，所述连接箱的内侧卡接有防尘网。
14、采用上述技术方案，通过防尘网的设计，达到了对吸入的风进行过滤的效果。
15、本技术技术方案的进一步改进在于：所述连接箱的一侧固定连接有加热器，所述加热器的一侧设置有加热棒。
16、采用上述技术方案，通过加热器、加热棒的相互配合，达到了对风进行加热的功能。
17、本技术技术方案的进一步改进在于：所述连接箱的底面固定连接有安装架，所述安装架的底面固定连接有风机，所述连接箱的底面套接有储风箱，所述储风箱的一侧套接有出风管，所述出风管的末端套接有出风口。
18、采用上述技术方案，通过安装架、风机、储风箱、出风管和出风口的相互配合，达到了将加热完成的风吹至喷涂完成的工件进行烘干的效果。
19、由于采用了上述技术方案，本技术相对现有技术来说，取得的技术进步是：
20、1、本技术提供一种光刻胶喷涂装置，通过伸缩杆、伸缩杆、齿轮与连接杆的相互配合，解决了喷头内部的光刻胶容易堵塞结晶的问题，达到了对喷头内部的阻挡的材料进行清理的效果，另一方面达到了将原材料阻隔防止产生结晶的效果，同时使其喷涂出的原材料更均匀，喷涂的效果更好，通过滑杆二、夹持板与限位块的相互配合，解决了工件两侧夹持固定不稳定的问题，达到了对工件的侧面进行夹持的效果。
21、2、本技术提供一种光刻胶喷涂装置，通过防尘网的设计，达到了对吸入的风进行过滤的效果，通过加热器、加热棒的相互配合，达到了对风进行加热的功能，通过安装架、风机、储风箱、出风管和出风口的相互配合，达到了将加热完成的风吹至喷涂完成的工件进行快速烘干的效果。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种光刻胶喷涂装置，包括支撑腿(1)，其特征在于：所述支撑腿(1)的顶面固定连接有固定机构(2)，所述固定机构(2)的顶面设置有喷涂机构(3)，所述固定机构(2)的顶面设置有烘干单元(4)；
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述固定机构(2)包括底板(21)，所述底板(21)固定连接在支撑腿(1)的顶面，所述底板(21)的内侧螺纹连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)的一端传动连接有电机(23)，所述底板(21)的内侧设置有滑杆一(24)，所述螺纹杆(22)与滑杆一(24)的表面内侧设置有放置板(25)，所述放置板(25)的顶面固定连接有气缸一(26)，所述气缸一(26)的伸缩端固定连接有固定板(27)，所述固定板(27)的内侧设置有侧边夹持组件(28)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述侧边夹持组件(28)包括滑杆二(281)，所述滑杆二(281)设置在固定板(27)的内侧，所述滑杆二(281)的表面滑动连接有夹持板(282)，所述夹持板(282)的顶面设置有限位块(283)，所述夹持板(282)
4.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述工作箱(31)的顶面固定连接有混合箱(32)，所述混合箱(32)的一侧套接有软管(33)，所述软管(33)的表面内侧套接有泵机(34)，所述泵机(34)的一端贯穿设置在工作箱(31)的内部且套接有滑动块(35)，所述滑动块(35)的内侧滑动连接有滑杆三(36)，所述滑动块(35)的一侧固定连接有气缸二(39)。
5.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述烘干单元(4)包括连接箱(41)，所述连接箱(41)设置在喷涂机构(3)的顶面，所述连接箱(41)的内侧卡接有防尘网(42)。
6.根据权利要求5所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述连接箱(41)的一侧固定连接有加热器(43)，所述加热器(43)的一侧设置有加热棒(44)。
7.根据权利要求5所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述连接箱(41)的底面固定连接有安装架(45)，所述安装架(45)的底面固定连接有风机(46)，所述连接箱(41)的底面套接有储风箱(47)，所述储风箱(47)的一侧套接有出风管(48)，所述出风管(48)的末端套接有出风口(49)。
...【技术特征摘要】
1.一种光刻胶喷涂装置，包括支撑腿(1)，其特征在于：所述支撑腿(1)的顶面固定连接有固定机构(2)，所述固定机构(2)的顶面设置有喷涂机构(3)，所述固定机构(2)的顶面设置有烘干单元(4)；
2.根据权利要求1所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述固定机构(2)包括底板(21)，所述底板(21)固定连接在支撑腿(1)的顶面，所述底板(21)的内侧螺纹连接有螺纹杆(22)，所述螺纹杆(22)的一端传动连接有电机(23)，所述底板(21)的内侧设置有滑杆一(24)，所述螺纹杆(22)与滑杆一(24)的表面内侧设置有放置板(25)，所述放置板(25)的顶面固定连接有气缸一(26)，所述气缸一(26)的伸缩端固定连接有固定板(27)，所述固定板(27)的内侧设置有侧边夹持组件(28)。
3.根据权利要求2所述的一种光刻胶喷涂装置，其特征在于：所述侧边夹持组件(28)包括滑杆二(281)，所述滑杆二(281)设置在固定板(27)的内侧，所述滑杆二(281)的表面滑动连接有夹持板(282)，所述夹持板(282)的顶面设置有限位块(283)，所述夹持板(282)的背面固定连接有弹簧(284)。
4...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐锦标，钱园，张炳融，
申请(专利权)人：福建准信新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。