热式流量传感器的封装结构制造技术

本技术涉及一种热式流量传感器的封装结构，包括热式流量传感器、密封件以及将热式流量传感器固定在被安装部件上的固定组件，热式流量传感器包括相互插接配合的传感器插头和传感器插座，在被安装部件上设置传感器安装面，在传感器安装面上设置贯穿被安装部件的内壁且与内腔连通的测试孔，在传感器插头的前端设置传感器晶圆，传感器插头的前端安装在测试孔内，传感器晶圆位于靠近内腔处用于感知气体流量变化，密封件位于传感器插头与被安装部件之间用于密封测试孔。本技术的设置测试孔尺寸小，使得热式流量传感器安装在管径小的管道上。另一方面，热式流量传感器的传感器晶圆靠近被安装部件的内壁，检测数据稳定。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于传感器，特别涉及一种热式流量传感器的封装结构。

技术介绍

1、现有热式流量传感器安装时需要的开孔尺寸大，不便于安装在管径小的管道上。另一方面有的热式流量传感器的传感器芯片距离管道内壁远，检测的数据不稳定。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题在于，提供一种热式流量传感器的封装结构，减少安装热式流量传感器的开孔尺寸，同时，热式流量传感器的传感器芯片靠近被安装部件的内壁，检测数据稳定。

2、本技术是这样实现的，提供一种热式流量传感器的封装结构，包括热式流量传感器、密封件以及将热式流量传感器固定在被安装部件上的固定组件，密封件设置在热式流量传感器与被安装部件之间，在被安装部件内设置空气流动的内腔，热式流量传感器监测内腔内气体的流量，所述热式流量传感器包括相互插接配合的传感器插头和传感器插座，在被安装部件上设置传感器安装面，在传感器安装面上设置贯穿被安装部件的内壁且与内腔连通的测试孔，在传感器插头的前端设置传感器晶圆，传感器插头的前端安装在测试孔内，传感器晶圆位于靠近内腔处用于感知气体流量变化，密封件位于传感器插头与被安装部件之间用于密封测试孔。

3、进一步地，所述传感器插头包括插头座、插头架和多个插针，多个插针穿设在插头座内，插头架套接在插头座的外周缘，传感器晶圆位于插头座的前端面，每个插针的前端分别通过信号线与传感器晶圆信号连接，每个插针的后端延伸到插头座的末端外；所述传感器插座包括底座、多个插针套以及pcb板，每个插针套分别包括相互信号连接的针套和弯脚，每个针套设置在底座内，每个针套与其对应的插针相互插合并形成信号连接，每个弯脚位于底座的末端面且分别与pcb板信号连接。

4、进一步地，所述固定组件包括相互卡合连接的卡扣座和卡扣，两个卡扣设置在被安装部件上且分别位于测试孔的两侧，在卡扣座上分别设置卡扣孔和插头座孔，插头座的末端设置在插头座孔内，两个卡扣分别与相对应的卡扣孔相互卡合连接，将传感器插头与被安装部件固定在一起。

5、进一步地，所述卡扣座的制备材料为不锈钢。

6、进一步地，所述固定组件包括安装螺栓，在传感器安装面上设置螺纹孔，在插头架上设置螺栓通孔，安装螺栓穿过螺栓通孔与螺纹孔螺纹连接，将传感器插头固定在被安装部件上。

7、进一步地，所述被安装部件为管状体或箱体。

8、进一步地，在所述传感器插头的前端面设置凹槽，传感器晶圆放置在凹槽内。

9、进一步地，所述测试孔为圆孔，密封件为o形圈。

10、与现有技术相比，本技术的热式流量传感器的封装结构，包括热式流量传感器、密封件以及将热式流量传感器固定在被安装部件上的固定组件，热式流量传感器包括相互插接配合的传感器插头和传感器插座，在被安装部件上设置传感器安装面，在传感器安装面上设置贯穿被安装部件的内壁且与内腔连通的测试孔，在传感器插头的前端设置传感器晶圆，传感器插头的前端安装在测试孔内，传感器晶圆位于靠近内腔处用于感知气体流量变化，密封件位于传感器插头与被安装部件之间用于密封测试孔。本技术的设置测试孔尺寸小，使得热式流量传感器安装在管径小的管道上。另一方面，热式流量传感器的传感器晶圆靠近被安装部件的内壁，检测数据稳定。

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【技术保护点】

1.一种热式流量传感器的封装结构，其特征在于，包括热式流量传感器、密封件以及将热式流量传感器固定在被安装部件上的固定组件，密封件设置在热式流量传感器与被安装部件之间，在被安装部件内设置空气流动的内腔，热式流量传感器监测内腔内气体的流量，所述热式流量传感器包括相互插接配合的传感器插头和传感器插座，在被安装部件上设置传感器安装面，在传感器安装面上设置贯穿被安装部件的内壁且与内腔连通的测试孔，在传感器插头的前端设置传感器晶圆，传感器插头的前端安装在测试孔内，传感器晶圆位于靠近内腔处用于感知气体流量变化，密封件位于传感器插头与被安装部件之间用于密封测试孔。

2.如权利要求1所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述传感器插头包括插头座、插头架和多个插针，多个插针穿设在插头座内，插头架套接在插头座的外周缘，传感器晶圆位于插头座的前端面，每个插针的前端分别通过信号线与传感器晶圆信号连接，每个插针的后端延伸到插头座的末端外；所述传感器插座包括底座、多个插针套以及PCB板，每个插针套分别包括相互信号连接的针套和弯脚，每个针套设置在底座内，每个针套与其对应的插针相互插合并形成信号连接，每个弯脚位于底座的末端面且分别与PCB板信号连接。

3.如权利要求2所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述固定组件包括相互卡合连接的卡扣座和卡扣，两个卡扣设置在被安装部件上且分别位于测试孔的两侧，在卡扣座上分别设置卡扣孔和插头座孔，插头座的末端设置在插头座孔内，两个卡扣分别与相对应的卡扣孔相互卡合连接，将传感器插头与被安装部件固定在一起。

4.如权利要求3所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述卡扣座的制备材料为不锈钢。

5.如权利要求2所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述固定组件包括安装螺栓，在传感器安装面上设置螺纹孔，在插头架上设置螺栓通孔，安装螺栓穿过螺栓通孔与螺纹孔螺纹连接，将传感器插头固定在被安装部件上。

6.如权利要求1所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述被安装部件为管状体或箱体。

7.如权利要求1所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，在所述传感器插头的前端面设置凹槽，传感器晶圆放置在凹槽内。

8.如权利要求1所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述测试孔为圆孔，密封件为O形圈。

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【技术特征摘要】

1.一种热式流量传感器的封装结构，其特征在于，包括热式流量传感器、密封件以及将热式流量传感器固定在被安装部件上的固定组件，密封件设置在热式流量传感器与被安装部件之间，在被安装部件内设置空气流动的内腔，热式流量传感器监测内腔内气体的流量，所述热式流量传感器包括相互插接配合的传感器插头和传感器插座，在被安装部件上设置传感器安装面，在传感器安装面上设置贯穿被安装部件的内壁且与内腔连通的测试孔，在传感器插头的前端设置传感器晶圆，传感器插头的前端安装在测试孔内，传感器晶圆位于靠近内腔处用于感知气体流量变化，密封件位于传感器插头与被安装部件之间用于密封测试孔。

2.如权利要求1所述的热式流量传感器的封装结构，其特征在于，所述传感器插头包括插头座、插头架和多个插针，多个插针穿设在插头座内，插头架套接在插头座的外周缘，传感器晶圆位于插头座的前端面，每个插针的前端分别通过信号线与传感器晶圆信号连接，每个插针的后端延伸到插头座的末端外；所述传感器插座包括底座、多个插针套以及pcb板，每个插针套分别包括相互信号连接的针套和弯脚，每个针套设置在底座内，每个针套与其对应的插针相互插合并形成信号连接，每个弯脚位于底座...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄恩浩，黄双勇，
申请(专利权)人：东莞市视博自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：