【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体集成电路制造，具体涉及一种光源衰减监测方法、系统、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、在半导体芯片制造工艺中，光刻是必不可少的关键环节，光刻技术是一种精密的微细加工技术。目前，基于紫外线光源的光刻机大多以高压汞灯作为曝光光源。随着汞灯的使用时间的增加，其输出光的能量会逐渐减弱，即光强衰减，从而导致在光刻形成的图形关键尺寸产生偏差并逐渐增大，直接影响光刻精度。
2、为确保光刻质量，工程师需要定期对曝光装置光源的光强度进行测试，以监控光源的均匀性和光强度变化情况。当测试测量的光强度低于预定阈值时，可以判断该光源已衰减至需要更换的水平。但是，这种定期进行的人工作业测试方法，不仅费时费力，且不利于提高机台的产能，无法满足半导体制造对光刻质量与效率的高标准要求。
3、因此，亟需一种新的光源衰减监测方法，该方法可以自动、连续地对光源的衰减状态进行监测与判断，当光源衰减至临界水平时，能够及时发出更换提示，从而指导光源的使用与维护，保证光刻过程中的质量与效率。
技术实现思路
1、本申请提供一种光源衰减监测方法、系统、电子设备及存储介质，用实时监测光源衰减情况，及时更换已衰减至需要更换的水平的光源设备，提高光刻过程中的质量与效率。
2、第一方面，本申请提供了一种光源衰减监测方法，方法包括：
3、获取训练完备的光源衰减预测模型；
4、获取光源设备的设备信息和光源设备的运行数据；
5、将设备信息和运行数据输入光源衰减
6、根据衰减预测值，确定光源设备的剩余使用时长；
7、当剩余使用时长小于预设的阈值时，发出预警信号；
8、获取光源设备每次使用时的使用功耗，并基于使用功耗和预设的功耗阈值，发出预警信号。
9、通过采用上述技术方案，通过获取训练完备的光源衰减预测模型，并实时输入光源设备的运行数据，可以实现对光源衰减状态的实时监测与评估。具体来说，光源设备运行数据与设备信息被输入预测模型，以获得光源当前的衰减预测值。该预测值可以反映光源衰减状态，并据此计算出光源的剩余使用时长。同时，也可以检测光源的实时功耗。当预测剩余使用时长或检测功耗低于对应预设阈值时，可立即发出预警信号。相较于传统的定期人工测试光源衰减的方式，该光源衰减监测方法通过构建预测模型并实时输入运行数据，实现了对光源衰减的实时连续监测和预警。这种实时监测方式不依赖定期人工测试，降低了测试成本和设备占用，且可以随时评估光源状态，及时发出预警。这样既确保了光源使用质量，也提高了检测效率。
10、可选的，获取训练完备的光源衰减预测模型，包括：
11、根据预设的光源衰减样本数据，通过最小二乘法以及多项式回归算法对光源衰减样本数据进行拟合处理，得到拟合处理后的光源衰减样本数据，并基于拟合处理后的光源衰减样本数据，构建光源衰减预测模型，其中，光源衰减样本数据包括：光源设备运行样本数据、多个光源设备的设备信息和设备光源衰减数据。
12、通过采用上述技术方案，根据预设的光源衰减样本数据，应用最小二乘法和多项式回归算法对样本数据进行拟合处理，以获得拟合后的样本数据。然后基于拟合处理后的数据构建光源衰减预测模型。其中，光源衰减样本数据可以包含光源设备的运行数据、设备信息以及光源衰减数据。通过对实际的光源衰减样本数据进行拟合和模型构建，可以使所建立的预测模型更加准确地反映真实光源的衰减规律。相较于直接建立理论模型，这种基于样本数据拟合的方法能够构建出更贴近实际情况的预测模型。在获取训练完备并且拟合精度高的预测模型后，将光源的实时运行数据输入该模型，可以实现对光源当前衰减状态的准确预测。相比传统的人工测试，这种模型预测方式，既省去了大量人力物力，又实现了对光源衰减过程的持续评估、监控和预警。因此，该种基于样本数据拟合和模型预测的监测方式，可以大幅提高光源衰减判断的效率和质量，既降低了成本，又使评估更加及时，对保证光源使用寿命和性能具有重要作用。
13、可选的，根据预设的光源衰减样本数据，通过最小二乘法以及多项式回归算法对光源衰减样本数据进行拟合处理，得到拟合处理后的光源衰减样本数据，并基于拟合处理后的光源衰减样本数据，构建光源衰减预测模型，包括：
14、将预设的光源衰减样本数据基于变压器设备信息进行分类，将变压器设备信息相同的光源衰减样本数据归为一类；
15、通过最小二乘法以及多项式回归算法对设备信息相同的光源衰减样本数据进行拟合处理，得到拟合处理后的光源衰减样本数据；
16、根据拟合处理后的光源衰减样本数据，构建设备信息对应的光源衰减预测模型。
17、通过采用上述技术方案，将预设的光源衰减样本数据按照设备信息进行分类，使同一类型设备信息的样本数据归为一类。然后对各类设备的样本数据分别进行拟合处理，以获取拟合后的样本数据。基于不同设备类型拟合后的数据，可以构建相应的、适用于该设备的光源衰减预测模型。这种按设备信息分类建模的方法，可以使构建的预测模型更加符合不同类型光源设备的实际衰减规律。相较直接对全部样本建模，这种分类方式使每个型号设备都拥有专属的预测模型，能够实现对不同光源衰减特征的精确拟合。在获得针对各设备的衰减预测模型后，输入实时运行数据，可以准确监测各型号光源的实时衰减状态，评估剩余寿命，并在达到预警条件时发出提示。这种基于设备特定模型的监测方式，实现了对复杂光源中每个器件的可靠预测，既确保了检测质量，又提高了效率。
18、可选的，根据衰减预测值，确定光源设备的剩余使用时长，包括：
19、获取光源设备的光源强度阈值，并根据衰减预测值和光源强度阈值，确定光源设备的剩余使用时长。
20、通过采用上述技术方案，获取光源设备的光源强度阈值，并将该阈值与模型预测得到的当前光源衰减预测值结合，根据二者的数值确定光源的剩余使用时长。这里通过预先规定光源强度的容许最小阈值，并结合模型对当前光强度的预测，可以直接计算出光源从当前到最小可用状态的剩余时间。这种基于预测模型和预设阈值的剩余时间计算，实现了对光源使用寿命的量化评估。相较于传统的等待光源损坏再更换方式，这种主动评估剩余使用时长的监测机制，可以让设备在光源衰减至下限之前，有充分的时间安排更换。这样既避免了光源突然损坏的风险，也确保了光源在丢弃前的充分利用，降低了更换成本，对保证设备正常运行非常关键。
21、可选的，获取光源设备每次使用时的使用功耗，并基于使用功耗和预设的功耗阈值，发出预警信号，包括：
22、当光源设备每次使用时的使用功耗，小于预设的功耗阈值时，发出预警信号；
23、当剩余使用时长小于预设的剩余使用时长时，发出预警信号。
24、通过采用上述技术方案，在监测光源衰减的同时，还可以实时监测光源的使用功耗。具体来说，每次使用光源设备后，获取其使用功耗；并与预设的功耗阈值进行比较，当使用功耗低于阈值本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述获取训练完备的光源衰减预测模型，包括：
3.根据权利要求2所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述根据预设的光源衰减样本数据，通过最小二乘法以及多项式回归算法对所述光源衰减样本数据进行拟合处理，得到拟合处理后的光源衰减样本数据，并基于所述拟合处理后的光源衰减样本数据，构建光源衰减预测模型，包括：
4.根据权利要求1所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述根据所述衰减预测值，确定光源设备的剩余使用时长，包括：
5.根据权利要求1所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述获取所述光源设备每次使用时的使用功耗，并基于所述使用功耗和预设的功耗阈值，发出预警信号，包括：
6.根据权利要求5所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，确定所述预设的功耗阈值，包括：
7.根据权利要求4所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述光源强度阈值为光刻最低要求光源强度。
8.一种光源衰减监测系统，其
9.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储有多条指令，所述指令适用于由处理器加载并执行如权利要求1~7任意一项所述的方法。
10.一种电子设备，其特征在于，包括处理器、存储器、用户接口及网络接口，所述存储器用于存储指令，所述用户接口和所述网络接口用于给其他设备通信，所述处理器用于执行所述存储器中存储的指令，以使电子设备执行如权利要求1-7任意一项所述的方法。
...【技术特征摘要】
1.一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述获取训练完备的光源衰减预测模型，包括：
3.根据权利要求2所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述根据预设的光源衰减样本数据，通过最小二乘法以及多项式回归算法对所述光源衰减样本数据进行拟合处理，得到拟合处理后的光源衰减样本数据，并基于所述拟合处理后的光源衰减样本数据，构建光源衰减预测模型，包括：
4.根据权利要求1所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述根据所述衰减预测值，确定光源设备的剩余使用时长，包括：
5.根据权利要求1所述的一种光源衰减监测方法，其特征在于，所述获取所述光源设备每次使用时的使用功耗，并基于所述使用功耗和预设的功...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶胜寿，李锋，邱光富，
申请(专利权)人：深圳市光脉电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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