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本申请提供了一种光源衰减监测方法、系统、电子设备及存储介质，涉及半导体集成电路制造技术领域。该方法通过获取训练完备的光源衰减预测模型，并实时输入光源设备的运行数据，以获得光源当前的衰减预测值。该预测值可以反映光源衰减状态，并据此计算出光源的...
该专利属于深圳市光脉电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市光脉电子有限公司授权不得商用。

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