【技术实现步骤摘要】
本技术涉及吸附装置,更具体地,涉及吸附装置。
技术介绍
1、在芯片的生产过程中,需要对原料进行切割。随着对定制化设计和小型化的需求的增加,为了满足不同的装配需求,需要生产异形的芯片。异形芯片可以包括直边和弧边,需要通过激光切割和物理切割来共同切割。在进行物理切割的过程中,需要通过吸附装置对原料进行吸附。然而由于异形芯片的形状不规则,导致切割后有很多大块的废料产生,由于现有的吸附装置采用平面设计,导致切割后的大块废料难以从芯片之间冲洗排出,导致废料挤压、损害芯片,严重的甚至会损伤切割用的刀片。
技术实现思路
1、本技术提供一种吸附装置的新技术方案,至少能够解决现有技术中的吸附装置难以排出切割后的废料的问题。
2、本技术提供了一种吸附装置,包括:底座;多个第一支撑件,所述多个第一支撑件分别设于所述底座的第一侧面,每个所述第一支撑件远离所述底座的一端具有第一承载面,所述第一承载面用于承载待加工件,所述第一承载面上设有吸附口,所述吸附口用于吸附所述待加工件;与每个所述第一支撑件对应的至
...【技术保护点】
1.一种吸附装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述第一支撑件为沿所述底座厚度方向延伸的柱形件,每个所述活动件设于对应的所述第一支撑件的外周侧。
3.根据权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,还包括:
4.根据权利要求3所述的吸附装置,其特征在于,多个所述第二支撑件与多个所述活动件一一对应,每个所述第二支撑件内设有安装通道,所述安装通道的第一端贯穿所述第二承载面,所述活动件可活动地设于对应的所述安装通道,
5.根据权利要求4所述的吸附装置,其特征在于,所述安装通道沿底座的厚度方向延伸,
...【技术特征摘要】
1.一种吸附装置,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,所述第一支撑件为沿所述底座厚度方向延伸的柱形件,每个所述活动件设于对应的所述第一支撑件的外周侧。
3.根据权利要求1所述的吸附装置,其特征在于,还包括:
4.根据权利要求3所述的吸附装置,其特征在于,多个所述第二支撑件与多个所述活动件一一对应,每个所述第二支撑件内设有安装通道,所述安装通道的第一端贯穿所述第二承载面,所述活动件可活动地设于对应的所述安装通道,
5.根据权利要求4所述的吸附装置,其特征在于,所述安装通道沿底座的厚度方向延伸,所述活动件沿所述底座的厚度方向可活动。
6.根据权利要求5所述的吸附装置,其特征在于,所述活动件为杆件,在所述底座的厚度方向上,所述杆件的第一端与所述底座活动连接,所述杆件的第二端形成为所述顶升端。
7.根据权利要求3...
【专利技术属性】
技术研发人员:段明瑞,王俊惠,张宏,尹保冠,詹新明,宋晓丽,
申请(专利权)人:青岛歌尔微电子研究院有限公司,
类型:新型
国别省市:
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