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本技术提供了一种吸附装置，包括：底座；多个第一支撑件，分别设于底座的第一侧面，第一支撑件远离底座的一端具有承载待加工件的第一承载面，第一承载面上设有用于吸附待加工件的吸附口；至少一个活动件，每个活动件设于底座，每个活动件具有与第一侧面相对的...
该专利属于青岛歌尔微电子研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛歌尔微电子研究院有限公司授权不得商用。

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