一种电子级丙二醇甲醚醋酸酯生产方法技术

本发明专利技术的提供了一种电子级丙二醇甲醚醋酸酯生产方法，所述方法是以工业级丙二醇甲醚醋酸酯作为进料来制得电子级丙二醇甲醚醋酸酯，具体依次包括如下步骤：通过精密精馏塔脱除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中有机杂质和少部分水，通过微过滤器(4)脱除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中的大颗粒，通过阴阳离子脱除器(6)脱除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中阴离子和/或阳离子，通过脱水处理器(2)脱除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中的大部分水分，通过纳过滤器(12)脱除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中微小颗粒。本发明专利技术的有益效果在于：提供了一种流程短、能耗低、分离效果好、工艺连续性强、纯度高的超净丙二醇甲醚醋酸酯生产方法。

【技术实现步骤摘要】

本申请是2022年04月25日递交中国专利局，申请号为2022104417973，专利技术创造名称为“一种高纯电子级丙二醇甲醚醋酸酯生产方法及装置”的专利申请的分案。

技术介绍

1、随着半导体和液晶显示技术的迅速发展，对化学品试剂的要求越来越高。在集成电路和液晶显示加工过程中，高洁净化学试剂主要用于芯片、硅圆和液晶显示表面的清洗和刻蚀，其纯度和洁净度对成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响，超净丙二醇甲醚醋酸酯(pgmea)作为一种重要的电子化学品已经广泛用于半导体和液晶显示，随着集成电路和液晶显示的加工尺寸进入纳米时代，对与之配套的超净丙二醇甲醚醋酸酯(pgmea)提出了更高的要求，需要达到国际半导体设备和材料组织制定的semi c12标准，其中金属阳离子含量小于100ppt，颗粒大小控制在0.2μm以下，颗粒个数与电子化学品需求企业协商。

2、国内高品质、度试剂的研究报道不多，能检索到的资料多停留在基础技术和专利方面的报道方面，国际上试剂工艺路线属于行业机密，一些基础技术也都申请了专利保护。

3、目前，我国仅有的电子级丙二醇甲本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子级丙二醇甲醚醋酸酯生产方法，其特征在于：所述方法是以工业级丙二醇甲醚醋酸酯作为进料来制得高纯电子级丙二醇甲醚醋酸酯，具体包括如下步骤中的一种或多种：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用精密精馏塔除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中有机杂质和少部分水，所述精密精馏塔包括精密精馏用常规精馏塔串或精密精馏用隔壁塔串，其中：

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述精密精馏用隔壁塔串包括至少一个进料侧和产品采出侧面积比范围1:9至9:1、理论板数为20-100的精密精馏用隔壁塔，所述精密精馏用隔壁塔的塔顶压力为0.005Mpa-0.3Mpa，塔顶温度为...

【技术特征摘要】

1.一种电子级丙二醇甲醚醋酸酯生产方法，其特征在于：所述方法是以工业级丙二醇甲醚醋酸酯作为进料来制得高纯电子级丙二醇甲醚醋酸酯，具体包括如下步骤中的一种或多种：

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于：采用精密精馏塔除所述工业级丙二醇甲醚醋酸酯中有机杂质和少部分水，所述精密精馏塔包括精密精馏用常规精馏塔串或精密精馏用隔壁塔串，其中：

3.如权利要求1所述的方法，其特征在于：所述精密精馏用隔壁塔串包括至少一个进料侧和产品采出侧面积比范围1:9至9:1、理论板数为20-100的精密精馏用隔壁塔，所述精密精馏用隔壁塔的塔顶压力为0.005mpa-0.3mpa，塔顶温度为43℃-177℃，回流比1-10；优选的是：所述进料侧和产品采出侧面积比范围4:6至6:4、理论板数为50-90，回...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙津，
申请(专利权)人：北京袭明科技有限公司，
类型：发明
国别省市：