一种高纯电子级乙二醇生产方法及装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及高纯电子级乙二醇生产方法及装置，装置选自如下任意一种：第一种装置包括串接的阴阳离子脱除器和精馏组；其中，阴阳离子脱除器和精馏组之前串接微过滤器时，阴阳离子脱除器和精馏组之后串接脱水和纳滤组或脱水器或只串接纳过滤器；阴阳离子脱除器和精馏组之前不串接任何部件时，阴阳离子脱除器和精馏组之后串接纳滤器；第二种装置包括串接的微过滤器、精馏、阴阳离子脱除器和脱水组；微过滤器、精馏、阴阳离子脱除器和脱水组之后串接精馏和纳过滤器组或只串接纳过滤器；精密精馏用常规精馏塔串包括至少两个理论板数为10‑100的精密精馏用常规精馏塔，连续性强，纯度高，杂质含量低的超净高纯乙二醇生产方法及装置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体芯片、显示面板、太阳能电池制造等所需要的高纯电子化学品乙二醇的制备领域，特别是涉及一种高效、节能、灵活利用工业级乙二醇生产高纯电子级乙二醇的方法及装置。

技术介绍

1、随着半导体技术的迅速发展，对高纯化学品试剂的要求越来越高。在集成电路加工过程中，高纯高洁净化学试剂主要用于芯片及硅圆表面的清洗和刻蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。高纯超净乙二醇作为一种重要的电子化学品已经广泛用于半导体，大规模集成电路加工等过程中的清洗、剥离，干燥等方面。随着集成电路的加工尺寸进入纳米时代，对与之配套的高纯超净乙二醇提出了更高的要求，需要达到国际半导体设备和材料组织制定的semi c12(g4)标准，其中金属阳离子含量小于100ppt，颗粒大小控制在0.2μm以下，颗粒个数与电子化学品需求企业协商。

2、目前，我国高纯电子级乙二醇通常以工业级乙二醇原料纯化而成。目前生产的纯度仅能达到semi c1(g1)标准，在半导体行业应用中仅能达到mos级，距离g5级(semi c12及以上)还有较大差距。没有自主技本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种高纯电子级乙二醇生产装置，其特征在于：所述装置选自如下任意一种：

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述微过滤器、精馏、阴阳离子脱除器和脱水组包括按工业级乙二醇进料到高纯电子级乙二醇出料的方向串接的微过滤器、精密精馏塔、阴阳离子脱除器和脱水器，其中，

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述脱水器包括脱水剂脱水器，膜分离脱水器和吸附脱水器中的至少一种；

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述纳过滤器包括孔径为50nm及以下、孔径均一系数为1.25及以下的纳过滤器膜；优选的是，所述纳过滤器膜的孔径为10nm、20nm、30nm...

【技术特征摘要】

1.一种高纯电子级乙二醇生产装置，其特征在于：所述装置选自如下任意一种：

2.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述微过滤器、精馏、阴阳离子脱除器和脱水组包括按工业级乙二醇进料到高纯电子级乙二醇出料的方向串接的微过滤器、精密精馏塔、阴阳离子脱除器和脱水器，其中，

3.如权利要求1或2所述的装置，其特征在于：所述脱水器包括脱水剂脱水器，膜分离脱水器和吸附脱水器中的至少一种；

4.如权利要求1所述的装置，其特征在于：所述纳过滤器包括孔径为50nm及以下、孔径均一系数为1.25及以下的纳过滤器膜；优选的是，所述纳过滤器膜的孔径为10nm、20nm、30nm或50nm。

5.一种高纯电子级乙二醇生产方法，所述方法是以工业级乙二醇作为进料来制得高纯电子级乙二醇，具体包括如下步骤中的一种或...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙津，
申请(专利权)人：北京袭明科技有限公司，
类型：发明
国别省市：